等离子发生装置制造方法及图纸

在等离子发生装置中，反应室(140)被划分为用于供一对电极插入的一对插入部(106)和连接该一对插入部的连结部(108)。并且，连结部被设为宽度比一对插入部的宽度窄。因此，沿连结部的全部区域及从插入部与连结部连续的壁面产生放电。另外，连结部被设为宽度比插入部的宽度窄，从而连结部的容积较小。因此，较小容积的处理气体沿连结部的全部区域及从插入部与连结部连续的壁面被等离子化，从而处理气体被高效地等离子化。另外，一对插入部各自与连结部的连结部位分别被设为圆滑面(110)。由此，因放电产生的热量在整个圆滑面上分散，因放电产生的碳化被抑制。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】等离子发生装置
本专利技术涉及一种在反应室的内部使处理气体等离子化的等离子发生装置。
技术介绍
在等离子发生装置中，例如下述专利文献所记载的那样，在反应室配置有多个电极，通过向该多个电极间施加电压而将处理气体等离子化。专利文献1：日本特开2012-14927号公报专利文献2：日本特开平3-290928号公报
技术实现思路
专利技术所要解决的课题在处理气体被等离子化时，需要施加较高的电压，由于是通过该施加来产生放电，因此存在反应室的壁面碳化的隐患。另外，为了高效地产生等离子，需要在被供给处理气体的反应室的内部恰当地放电。这样，在等离子发生装置中存在各种问题，通过解决该各种问题来提高等离子发生装置的实用性。本专利技术就是鉴于这样的实际情况而作成的，本专利技术的课题在于提供一种实用性高的等离子发生装置。用于解决课题的技术方案为了解决上述课题，本申请所记载的等离子发生装置的特征在于，具备：第一块，具有反应室；一对电极，插入于所述反应室，用于使处理气体在所述反应室内等离子化；及喷嘴，用于将在所述反应室内等离子化后的气体向被处理体喷出，所述反应室被划分为：一对第一插入部，用于供所述一对电极插入；及第一连结部，连结所述一对第一插入部，并且宽度比所述一对第一插入部的宽度窄，所述一对第一插入部各自与所述第一连结部的连结部位分别为圆滑面。专利技术效果在本申请所记载的等离子发生装置中，一对插入部各自与连结部的连结部位分别被设为圆滑面。由此，因放电产生的热量在整个圆滑的面上分散，因放电产生的碳化被抑制。附图说明图1是表示大气压等离子发生装置的立体图。图2是表示分解状态下的大气压等离子发生装置的立体图。图3是表示分解状态下的大气压等离子发生装置的立体图。图4是图1的AA线的剖视图。图5是图1的BB线的剖视图。图6是缓冲部件的俯视图。图7是第一连结块的俯视图。图8是反应室块的俯视图。图9是第二连结块的俯视图。图10是喷嘴块的俯视图。图11是表示喷嘴块层叠于反应室块的下表面的状态的剖视图。图12是比较例的反应室块的俯视图。具体实施方式以下，作为用于实施本专利技术的方式，参照附图详细地说明本专利技术的实施例。＜大气压等离子发生装置的结构＞在图1～图5中示出本专利技术的实施例的大气压等离子发生装置10。大气压等离子发生装置10是用于在大气压下产生等离子的装置。大气压等离子发生装置10具备主体块20、一对电极22、缓冲部件26、第一连结块28、反应室块30、第二连结块32及喷嘴块34。此外，图1是在从斜上方观察的视角下表示大气压等离子发生装置10的立体图。图2是在从斜上方观察的视角下表示分解状态下的大气压等离子发生装置10的立体图。图3是在从斜下方观察的视角下表示分解状态下的大气压等离子发生装置10的立体图。图4是图1的AA线的剖视图。图5是图1的BB线的剖视图。另外，将大气压等离子发生装置10的宽度方向称为X方向，将大气压等离子发生装置10的进深方向称为Y方向，将与X方向和Y方向正交的方向、即上下方向称为Z方向。主体块20形成为大致立方体形状，由耐热树脂制的材料制成。在主体块20形成有四个螺栓孔50，该四个螺栓孔50沿上下方向贯通，并在上表面及下表面的大致四个角开口。另外，在主体块20形成有两个插入孔52，该两个插入孔52形成为，沿上下方向贯通，且分别位于四个螺栓孔50中的沿Y轴方向并排形成的两个螺栓孔50之间及剩余的两个螺栓孔50之间。圆筒状的上部支架54以从主体块20的上表面延伸出的状态固定地嵌合于各插入孔52的上端部。另一方面，圆筒状的下部支架56以从主体块20的下表面延伸出的状态固定地嵌合于各插入孔52的下端部。棒状的导电部58插入于圆筒形状的上部支架54，并被上部支架54固定地保持。导电部58的上端部从上部支架54的上端延伸出，导电部58的下端插通插入孔52并延伸至圆筒状的下部支架56的内部。另外，棒状的电极22与导电部58同轴地固定于导电部58的下端，电极22从下部支架56的下端向下方延伸出。此外，在插入孔52的上下方向上的中央部形成有直径较小的小径部60，小径部60的内径被设为与导电部58的外径大致相同。插入孔52的上部在小径部60被导电部58封闭，在比插入孔52的小径部60靠下方的部分，在插入孔52的内周面与导电部58的外周面之间存在间隙。另外，导电部58的外径及电极22的外径比下部支架56的内径小。因此，下部支架56的内周面与导电部58及电极22的外周面之间也存在间隙。另外，在主体块20，以沿X方向延伸的方式形成有两条第一气体流路(在图1及图4中仅示出一条第一气体流路)62。两条第一气体流路62中的一方在一端部在主体块20的沿X方向相对的一对侧面中的一方开口，在另一端部在两条插入孔52中的一方的小径部60的下方开口。另外，两条第一气体流路62中的另一方在一端部在主体块20的沿X方向相对的一对侧面中的另一方开口，在另一端部在两条插入孔52中的另一方的小径部60的下方开口。而且，在主体块20形成有第二气体流路66，该第二气体流路66沿上下方向贯通，在从上表面及下表面的大致中央沿Y轴方向偏离的位置开口。并且，在主体块20的下表面形成有连结槽68，该连结槽68形成为从第二气体流路66的开口沿Y方向延伸至主体块20的下表面的大致中央。另外，缓冲部件26形成为大致板状，由硅树脂制的材料制成。如图6所示，在缓冲部件26，沿缓冲部件26的厚度方向贯通的四个螺栓孔70形成于大致四个角。此外，图6是在从上方观察的视角下表示缓冲部件26的俯视图。另外，四个螺栓孔70的形成间距被设为与主体块20的四个螺栓孔50的形成间距相同的间距。而且，在缓冲部件26形成有被切除为大致哑铃形状的切除部72。切除部72沿缓冲部件26的厚度方向贯通，并被划分为一对插入部76和连结部78。插入部76被切除为大致圆形，且插入部76的内径与下部支架56的外径大致相同。此外，一对插入部76以彼此分离的状态沿X方向并排形成。另外，连结部78被切除为大致矩形，连结一对插入部76。此外，连结部78被设为宽度比插入部76的宽度窄，连结部78的Y方向上的长度尺寸被设为插入部76的内径的大致1/4。顺带一提，插入部76与连结部78的连结部位并未圆滑地连续，而是形成角部79。此外，角部79是插入部76与连结部78的连结部位形成线而未形成面的部分。如图4所示，这样的形状的缓冲部件26以使四个螺栓孔70与主体块20的四个螺栓孔50重叠的方式层叠于主体块20的下表面。另外，主体块20的两个下部支架56插通层叠于主体块20的下表面的缓冲部件26的一对插入部76，并在缓冲部件26的下表面侧延伸出。而且，如图5所示，层叠于主体块20的下表面的缓冲部件26的连结部78与主体块20的连结槽68连通。另外，第一连结块28形成为大致板厚形状，由陶瓷制的材料制成。此外，第一连结块28的厚度为大致10mm左右。如图7所示，在第一连结块28形成有四个螺纹孔80，该四个螺纹孔80沿上下方向延伸，并且在上表面的大致四个角开口。此外，图7是在从上方的视角下表示第一连结块28的俯视图。另外，四个螺纹孔80的形成间距被设为与缓冲部件26的四个螺栓孔70的形成间距相同的间距。而且，在第一连结块28形成有四个螺纹孔82，该四个螺纹孔82在与上本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种等离子发生装置，其特征在于，具备：第一块，具有反应室；一对电极，插入于所述反应室，用于使处理气体在所述反应室内等离子化；及喷嘴，用于将在所述反应室内等离子化后的气体向被处理体喷出，所述反应室被划分为：一对第一插入部，用于供所述一对电极插入；及第一连结部，连结所述一对第一插入部，并且宽度比所述一对第一插入部的宽度窄，所述一对第一插入部各自与所述第一连结部的连结部位分别为圆滑面。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种等离子发生装置，其特征在于，具备：第一块，具有反应室；一对电极，插入于所述反应室，用于使处理气体在所述反应室内等离子化；及喷嘴，用于将在所述反应室内等离子化后的气体向被处理体喷出，所述反应室被划分为：一对第一插入部，用于供所述一对电极插入；及第一连结部，连结所述一对第一插入部，并且宽度比所述一对第一插入部的宽度窄，所述一对第一插入部各自与所述第一连结部的连结部位分别为圆滑面。2.根据权利要求1所述的等离子发生装置，其特征在于，所述喷嘴具有狭缝状的喷嘴口，所述等离子发生装置具备板状部件，所述板状部件具有连通所述反应室与所述喷嘴口的多个连通孔、且配设于所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：神藤高广，池户俊之，
申请(专利权)人：株式会社富士，
类型：发明
国别省市：日本,JP