低溶出性聚乙烯系纤维及使用其的不织布制造技术

本发明专利技术的课题在于提供极力抑制自聚乙烯溶出金属的聚乙烯系纤维。本发明专利技术涉及一种聚乙烯系纤维，其包含至少一种聚乙烯树脂，纤维内部所含的Na、K、Ca、Fe、Cu、Mg、Mn、Li、Al、Cr、Ni及Zn的金属元素的含量合计为40ppm以下。而且，本发明专利技术涉及一种不织布，其使用所述聚乙烯系纤维。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】低溶出性聚乙烯系纤维及使用其的不织布
本专利技术涉及一种使自纤维溶出的金属减低的聚乙烯系纤维。
技术介绍
半导体产业的下一代技术革新不断进展。现在，在制作半导体图案的情况下，使用波长为248nm的KrF准分子激光，进而使用波长为193nm的ArF液浸准分子激光等。然而，正在以进一步的微细化为目标而研究利用波长为13.5nm的极紫外线微影术的目标线宽为7nm的加工。在制作此种微细图案的情况下，仅于作业环境中混入稍许的粒子或金属离子便成为缺陷，因此多数情况下通过孔径为数纳米～数十纳米的极细孔径的过滤器对所使用的抗蚀液等进行过滤。此种过滤器为了避免金属离子溶出而多使用聚合物制过滤器。在先前，自化学性稳定、且容易进行热加工考虑，在此种过滤器的原料中使用聚丙烯。然而，聚丙烯具有容易氧化分解的缺点，存在如下情况：氧化分解而产生的稍许的微粒子混入至滤液中，或为了防止氧化分解而添加于聚丙烯中的抗氧化剂混入至滤液中。为了改良该问题，使用远比聚丙烯难以氧化的聚乙烯的情况变多。聚乙烯在难以氧化分解的方面比聚丙烯优异，但掺入数百ppm的含金属物质作为聚合触媒的残渣或凝胶抑制剂的情况较多。此种含金属物质通常情本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种聚乙烯系纤维，其包含至少一种聚乙烯树脂，纤维内部所含的Na、K、Ca、Fe、Cu、Mg、Mn、Li、Al、Cr、Ni及Zn的金属元素的含量合计为40ppm以下。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2016.03.11 JP 2016-0486691.一种聚乙烯系纤维，其包含至少一种聚乙烯树脂，纤维内部所含的Na、K、Ca、Fe、Cu、Mg、Mn、Li、Al、Cr、Ni及Zn的金属元素的含量合计为40ppm以下。2.根据权利要求1所述的聚乙烯系纤维，其是包含聚乙烯树脂的鞘芯型复合纤维，芯成分包含密度为0.94g/cm3以上的聚乙烯树脂，鞘成分包含密度为0.90g/cm3以上的聚乙烯树脂，所述芯成分的密度比所述鞘成分的密度高。3.根据权利要求2所述的聚...

【专利技术属性】
技术研发人员：松田康志，筒井聡彦，
申请(专利权)人：ES飞博比琼斯株式会社，ES飞博比琼斯香港有限公司，ES飞博比琼斯LP公司，ES飞博比琼斯APS公司，
类型：发明
国别省市：日本,JP