一种固定载台及其操作方法技术

本发明专利技术提供了一种固定载台及其操作方法，用于在连续性退火工艺中承载玻璃基板，固定载台包括：承载模块、固定围护模块、操作模块；所述承载模块包括承载板；所述固定围护模块包括设置在承载板四周的侧壁和设置在侧壁的上方用于覆盖侧壁的盖板，承载板、侧壁和盖板形成封闭腔体。本发明专利技术通过在固定载台上增设侧壁和盖板以确保在玻璃基板在连续式退火工艺中的位置不发生偏移，通过盖板、侧壁和承载板形成的密闭空间以防止玻璃基板在工艺中受到环境微粒的污染，确保玻璃基板所处环境温度的均一性，进而在提升产品品质的同时提高了产品的生产效率。

A fixed carrier and its operation method

The invention provides a fixed platform and its operation method for carrying glass substrate in continuous annealing process. The fixed platform comprises a load bearing module, a fixed enclosure module and an operation module; the load bearing module comprises a load bearing plate; the fixed enclosure module comprises a side wall arranged around the load bearing plate and a side wall arranged around the load bearing plate. The upper part of the wall is used for covering the side wall, and the loading plate, the side wall and the cover plate form a closed cavity. The invention adds side walls and cover plates on a fixed platform to ensure that the position of the glass substrates in the continuous annealing process does not shift, and prevents the glass substrates from being polluted by environmental particles in the process and ensures the uniformity of the environmental temperature of the glass substrates through the closed space formed by the cover plates, side walls and support plates. It further improves product quality and improves production efficiency.

【技术实现步骤摘要】
一种固定载台及其操作方法
本专利技术涉及显示面板制造
，具体涉及一种固定载台及其操作方法。
技术介绍
在显示面板的制作过程中，需要将玻璃基板放置在机台上进行一系列的加工工序，最终才能制造出符合要求的显示面板，在现有制作工艺中，对放置在机台上的基材进行取放、传送操作时，容易造成基材的损坏。在对玻璃基板进行连续式退火工艺的过程中，连续式退火设备极易发生滑片现象，进而导致在工艺工程中玻璃基板的位置发生偏移，在机械手臂取片过程中发生破片现象，由于工艺中的一系列故障，进而降低了生产设备的稼动率。如图1和图2所示，现有的连续式退火设备中的固定载台包括：承载板22和定位片21，主要原理是通过设置在承载板22四角的直角型定位片21来固定玻璃基板1的位置，使得玻璃基板1不发生偏移，但是在经过连续式退火工艺中的高温环境后，玻璃基板1的四周会发生翘曲，如图3所示，使得玻璃基板1的翘曲高度高于定位片21的高度，使得定位片21的定位作用失效，进而发生玻璃基板1的偏移。因此，目前亟需一种固定载台以及操作方法以解决上述问题。
技术实现思路
本专利技术提供了一种固定载台及其操作方法，以解决现有连续式退火工艺中，固定载台因玻璃基板的翘曲无法固定玻璃基板的问题。为实现上述目的，本专利技术提供的技术方案如下：根据本专利技术的一个方面，提供了一种固定载台，用于在连续性退火工艺中承载玻璃基板，所述固定载台包括：承载模块、固定围护模块、操作模块；所述承载模块包括用于支撑所述玻璃基板的承载板；所述固定围护模块包括设置在所述承载板四周的侧壁和设置在所述侧壁的上方用于覆盖所述侧壁的盖板，所述承载板、所述侧壁和所述盖板形成封闭腔体，以在连续性退火工艺中固定所述玻璃基板的位置；所述操作模块包括设置于所述封闭腔体外侧的用于控制所述盖板开合的第一支撑杆，所述盖板上设置有与所述第一支撑杆相对应的支撑点。根据本专利技术一优选实施例，所述侧壁与所述承载板在接触处形成的平面角的度数为100°至110°。根据本专利技术一优选实施例，所述承载板的面积大于所述玻璃基板的面积。根据本专利技术一优选实施例，所述操作模块还包括设置于所述承载板下方的第二支撑杆，所述承载板上有圆孔，所述第二支撑杆在控制所述玻璃基板的升降时，穿过所述圆孔。根据本专利技术一优选实施例，所述圆孔在所述盖板四周的边缘部分均匀分布。根据本专利技术一优选实施例，所述侧壁与所述盖板接触的地方设置有开关部件。根据本专利技术一优选实施例，所述开关部件包括相互匹配的凸起体和卡槽；所述凸起体位于所述侧壁表面与所述盖板接触处，所述卡槽位于所述盖板表面于所述凸起体接触处。根据本专利技术的另一个方面，提供了一种固定载台的操作方法，用于在连续性退火工艺中承载玻璃基板，所述固定载台包括：承载模块、固定围护模块、操作模块；所述承载模块包括用于支撑所述玻璃基板的承载板；所述固定围护模块包括设置在所述承载板四周的侧壁和设置在所述侧壁的上方用于覆盖所述侧壁的盖板，所述承载板、所述侧壁和所述盖板形成封闭腔体，以在连续性退火工艺中固定所述玻璃基板的位置；所述操作模块包括设置于所述封闭腔体外侧的用于控制所述盖板开合的第一支撑杆，所述盖板上设置有与所述第一支撑杆相对应的支撑点；所述固定载台的操作方法包括：步骤S10、所述第一支撑杆上升，通过所述支撑点支撑所述盖板上移，所述盖板开启；步骤S20、机械手臂将所述玻璃基板放置于所述承载板表面的预定位置，并对所述玻璃基板的位置进行校正；步骤S30、所述第一支撑杆下降，所述盖板失去支撑，所述盖板与所述侧壁闭合。根据本专利技术一优选实施例，所述操作模块还包括设置于所述承载板下方的第二支撑杆，所述承载板上有圆孔，所述第二支撑杆在控制所述玻璃基板的升降时，穿过所述圆孔；所述步骤S20具体包括：所述第二支撑杆上移穿过所述圆孔支撑所述承载板上移到预定位置，所述机械手臂将所述玻璃基板放置于所述承载板表面的预定位置，并对所述玻璃基板的位置进行校正，所述第二支撑杆下降致使所述承载板下降至原始位置。根据本专利技术一优选实施例，所述侧壁与所述承载板在接触处形成的平面角的度数为100°至110°。本专利技术的优点是，提供了一种固定载台及其操作方法，通过在固定载台上增设侧壁和盖板以确保在玻璃基板在连续式退火工艺中的位置不发生偏移，通过盖板、侧壁和承载板形成的密闭空间以防止玻璃基板在工艺中受到环境微粒的污染，确保玻璃基板所处环境温度的均一性，进而在提升产品品质的同时提高了产品的生产效率。附图说明为了更清楚地说明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为现有技术中固定载台的结构的俯视图；图2为现有技术中固定载台的结构的正视图；图3为现有技术中发生玻璃基板翘曲的示意图；图4为本专利技术实施例中固定载台的结构的俯视图；图5为本专利技术实施例中固定载台的结构的正视图；图6为本专利技术实施例中固定载台的操作方法的操作方法的流程示意图。具体实施方式以下各实施例的说明是参考附加的图示，用以例示本专利技术可用以实施的特定实施例。本专利技术所提到的方向用语，例如[上]、[下]、[前]、[后]、[左]、[右]、[内]、[外]、[侧面]等，仅是参考附加图式的方向。因此，使用的方向用语是用以说明及理解本专利技术，而非用以限制本专利技术。在图中，结构相似的单元是用以相同标号表示。本专利技术针对现有连续式退火工艺中，固定载台因玻璃基板的翘曲无法固定玻璃基板的问题，提出了一种固定载台及其操作方法，本实施例能够改善该缺陷。下面结合附图和具体实施例对本专利技术做进一步的说明：图4为本专利技术实施例中固定载台的结构的俯视图；图5为本专利技术实施例中固定载台的结构的正视图；如图4和图5所示，本专利技术提供了一种固定载台，用于在连续性退火工艺(简称RTA)中承载玻璃基板1，所述固定载台包括：承载模块、固定围护模块、操作模块；所述承载模块包括用于支撑所述玻璃基板的承载板31；其中，承载板31的面积大于玻璃基板1的面积。进一步的，所述承载板上设置有规则分布的圆孔31a，所述圆孔31a用以为第二支撑杆(未标出)支撑玻璃基板的上升和下降提供通道。所述固定围护模块包括设置在所述承载板四周的侧壁32和设置在所述侧壁32的上方用于覆盖所述侧壁的盖板33，所述承载板31、所述侧壁32和所述盖板33形成封闭腔体，以在连续性退火工艺中固定所述玻璃基板1的位置。和现有技术最大的区别在于，本专利技术采用侧壁32和盖板33搭配的结构，用以形成封闭的环境，在RTA工艺中既固定了玻璃基板1的位置，又能避免玻璃基板被环境中的微粒污染。进一步的，为了确保侧壁32和盖板33形成闭合结构的稳定性，本专利技术在所述侧壁与所述盖板接触的地方设置有开关部件。具体的，如图5所示，所述开关部件包括相互匹配的凸起体32b和卡槽33b；在一优选实施例中，所述凸起体32b位于所述侧壁32表面与所述盖板33接触处，所述卡槽33b位于所述盖板33表面于所述凸起体32b接触处。在一优选实施例中，所述凸起体32b位于所述盖板33表面与所述侧壁32接触处，所述卡槽33b位于所述侧壁33表面于所述凸起体32b接触处。当需要对所述玻璃基板1本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种固定载台，用于在连续性退火工艺中承载玻璃基板，其特征在于，所述固定载台包括：承载模块、固定围护模块、操作模块；所述承载模块包括用于支撑所述玻璃基板的承载板；所述固定围护模块包括设置在所述承载板四周的侧壁和设置在所述侧壁的上方用于覆盖所述侧壁的盖板，所述承载板、所述侧壁和所述盖板形成封闭腔体，以在连续性退火工艺中固定所述玻璃基板的位置；所述操作模块包括设置于所述封闭腔体外侧的用于控制所述盖板开合的第一支撑杆，所述盖板上设置有与所述第一支撑杆相对应的支撑点。

【技术特征摘要】
1.一种固定载台，用于在连续性退火工艺中承载玻璃基板，其特征在于，所述固定载台包括：承载模块、固定围护模块、操作模块；所述承载模块包括用于支撑所述玻璃基板的承载板；所述固定围护模块包括设置在所述承载板四周的侧壁和设置在所述侧壁的上方用于覆盖所述侧壁的盖板，所述承载板、所述侧壁和所述盖板形成封闭腔体，以在连续性退火工艺中固定所述玻璃基板的位置；所述操作模块包括设置于所述封闭腔体外侧的用于控制所述盖板开合的第一支撑杆，所述盖板上设置有与所述第一支撑杆相对应的支撑点。2.根据权利要求1所述的固定载台，其特征在于，所述侧壁与所述承载板在接触处形成的平面角的度数为100°至110°。3.根据权利要求1所述的固定载台，其特征在于，所述承载板的面积大于所述玻璃基板的面积。4.根据权利要求1所述的固定载台，其特征在于，所述操作模块还包括设置于所述承载板下方的第二支撑杆，所述承载板上有圆孔，所述第二支撑杆在控制所述玻璃基板的升降时，穿过所述圆孔。5.根据权利要求4所述的固定载台，其特征在于，所述圆孔在所述盖板四周的边缘部分均匀分布。6.根据权利要求1所述的固定载台，其特征在于，所述侧壁与所述盖板接触的地方设置有开关部件。7.根据权利要求6所述的固定载台，其特征在于，所述开关部件包括相互匹配的凸起体和卡槽；所述凸起体位于所述侧壁表面与所述盖板接触处，所述卡槽位于所述盖板表面于所述凸起体接触处。8.一种固定载台的操作方法，用于在连续性退火工...

【专利技术属性】
技术研发人员：江艺，
申请(专利权)人：武汉华星光电半导体显示技术有限公司，
类型：发明
国别省市：湖北,42