一种抽真空除气工艺制造技术

本发明专利技术公开了一种抽真空除气工艺，包括对被抽产品进行氦质谱检漏后充入高纯热氮气，并辅以内、外温对产品彻底进行加热，再按热氮气充气、闷气、排气热冲洗工艺抽低真空，最后按间断排气抽空工艺抽高真等工序；通过上述工序的设置并结合上述工艺工序设置特有的工艺参数，使得经过本申请抽真空除气工艺处理后的真空绝热低温泵池、真空绝热低温管以及真空绝热低温阀箱类产品等的夹层内残余气体清除效果极佳，进而使得被抽处理后的产品在使用过程中的漏热量大大降低，提高了产品的使用性能和使用寿命。

A vacuum vacuum degassing process

The invention discloses a vacuum degassing process, which includes filling the extracted product with high purity hot nitrogen after leak detection by helium mass spectrometry, heating the product thoroughly at internal and external temperatures, then pumping low vacuum according to hot nitrogen gas charging, suffocating and exhaust hot flushing process, and finally pumping high purity according to intermittent exhaust and exhaust process. Combining the above process with the process parameters, the effect of eliminating residual gases in the interlayer of vacuum adiabatic cryopump tank, vacuum adiabatic cryopump tube and vacuum adiabatic cryopumber products treated by the vacuum degassing process is excellent, and then the effect of eliminating residual gases in the interlayer of vacuum adiabatic cryopump tank, vacuum adiabatic cryopumber tube and vacuum adiabatic cryopumvalve box products is excellent The leakage heat of the product is greatly reduced during the use process, and the service performance and service life of the product are improved.

【技术实现步骤摘要】
一种抽真空除气工艺
本专利技术涉及真空产品处理工艺
，特别是一种抽真空除气工艺。
技术介绍
高真空多层绝热产品在使用过程中，由于自身材料放气或真空泄漏等多种因素都可能导致其真空度下降，绝热性能降低，漏热率增加，从而引发管内介质的能源消耗且可能带来安全隐患。真空多层绝热是一种绝热性能非常好的绝热方式。目前,低温储罐一般都采用此方式。这种绝热结构要求绝热夹层真空度要达到1.33×10-2Pa以上。但是由于绝热材料、支承结构和储罐内外壁材料放气,致使将夹层真空度从一个大气压(1.02×105Pa)抽到1.33×10-2Pa真空度以上需要的时间较长。为加速抽气,通常对储罐内外壁进行烘烤,因此夹层抽空是一件费时、花费颇高的工作。最为重要的是,在采用常规的抽空工艺时,储罐夹层间的气体由于巨大的抽气阻力很难被抽除,致使夹层内残余气体导致的漏热量较大。
技术实现思路
本专利技术的专利技术目的在于：针对上述存在的问题，提供一种抽真空除气工艺，通过上述工序的设置并结合上述工艺工序设置特有的工艺参数，使得经过本申请抽真空除气工艺处理后的真空绝热低温泵池、真空绝热低温管以及真空绝热低温阀箱类产品等的夹层内残余气体清除效果极佳，进而使得被抽处理后的产品在使用过程中的漏热量大大降低，提高了产品的使用性能和使用寿命。本专利技术采用的技术方案如下：本专利技术的一种抽真空除气工艺，包括以下步骤：步骤1、将被抽产品进行氦质谱检漏；步骤2、对检漏合格的被抽产品安装抽空机组、温度监控装置、真空联程表以及内、外架加热装置装；启动内、外加热装置，对被抽产品进行内、外加热；步骤3、第一次充氮：利用抽空机组中的抽真空主管道对被抽产品缓慢充入高纯热氮气，观察真空联程表上的读数，当其显示值大于或等于0时，停止充气；步骤4、第一次闷气：对被抽产品的内、外表面及夹层全面加热至100℃-180℃，加热时间为15h-18h；步骤5、第一次预抽真空：在被抽产品内、外表面加热持续的状态下，开启抽空机组中的机械泵和罗茨泵，对抽真空主管道和被抽产品进行排气；步骤6、第二次充氮：关闭机械泵和罗茨泵，并在吹除充气管内残余空气后，将步骤3中同样的高纯热氮气缓慢充入抽空机组的管道系统及被抽产品的夹层中，观察真空联程表的读数，当其上显示的充气压强大于或等于大气压强，即0位略偏上时，停止充气；步骤7、第二次闷气：充气结束后，使被抽产品在充入的热氮气中持续加热升温至100℃-180℃，闷气时间0.5h-2h；步骤8、第二次预抽真空，开启机械泵、罗茨泵，对管道系统和被抽产品排气，排气时间为0.5h-2h；步骤9、按照步骤3进行第三次充氮，按照步骤7进行三次闷气，按照步骤8进行第三次预抽真空；步骤10、重复步骤9的操作，进行第四次充氮、第四次闷气和第四次预抽真空；待排气结束后，准备抽高真空，按照油扩散泵的工作条件，提前开启油扩散泵的电炉加热，备用；步骤11、利用机械泵、罗茨泵对管道系统抽低真空，当测量抽空管道的真空度P＜10Pa时，开启油扩散泵不间断抽高真空；当测量抽空管道的真空度P＜5×10-1Pa时，开始间断抽高真空；步骤12、循环步骤11的抽空过程，当被抽产品抽真空5-7天后，测量产品夹层的静态压强回升值，并计算出漏放气速率，连续两次计算值应小于或等于5×10-6Pa·m3/S，其中静态瞬间极限真空度P1应小于或等于2.2Pa，再静置17h后测量出夹层的真空度P2；步骤13、提前对被抽产品的内、外表面加热，待被抽产品内、外表面热冷却后，封结被抽产品。封结采用热封口封结法处理。其中，在步骤3和步骤6中，充入的所述高纯热氮气的温度均为80℃-100℃，并均在10-15min内完成充氮；所述高纯热氮气的氮含量为大于或等于99.999%。在步骤4中，优选地，对被抽产品的内、外表面及夹层全面加热至140℃-155℃，加热时间为16h；在步骤5中，所述抽真空主管道的末端压强为5Pa-1Pa；排气时间为2h。在步骤7中，充气结束后，使被抽产品在充入的热氮气中持续加热升温至140℃-155℃，闷气时间1h。在步骤8中，排气时间优选为1h。在步骤10中，第四次闷气时间控制为4h，第四次预抽真空的排气时间为2h。在步骤11中，优选地，油扩散泵不间断抽高真空5h；所述间断抽高真空的过程中，前两次间断抽高真空时，采用停抽6h，抽气4h循环;第三次、第四次间断抽高真空时，采用停抽8h，抽气4h；第五次、第六次间断抽高真空时，采用停抽10h，抽气3h；第七次、第八次间断抽高真空时，采用停抽12h，抽气3h；第九次间断抽高真空时，采用停抽17h，抽气3h。在步骤12中，若连续两次漏放气速率的测量计算值不能满足步骤12中的条件时，则进行第三次检测计算，要求热态下的漏放气速率应小于9×10-6Pa·m3/S，其中静态瞬间极限真空度P1＇应≤2.2Pa，同时要求相邻两次漏放气速率的差值△Q≤2×10-6Pa·m3/S，再抽高真空3h后，停止内、外加热并快速降温至内、外表面温度低于70℃-80℃，最后抽高真空2h-3h后逐一间断压下各台被抽产品的封结阀芯对被抽产品进行封结。进一步地，上述检测计算过程中，所述静态压强回升值测量是在被测产品内、外持续加热140℃～150℃的状态下进行的。综上所述，由于采用了上述技术方案，本专利技术的有益效果是：1、本专利技术的抽真空除气工艺操作工艺简单，抽空处理效果好；2、该工艺操作使用机组的成本低，被抽产品检测合格率高；3、经过本专利技术抽真空除气工艺处理后的产品使用性能好，使用寿命长；4、除气处理效果佳，可实施性强。具体实施方式下面结合实施例对本专利技术作详细的说明。为了使专利技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合实施例，对本专利技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本专利技术，并不用于限定本专利技术。实施例1一种抽真空除气工艺，包括以下步骤：步骤1、将被抽产品进行氦质谱检漏；步骤2、对检漏合格的被抽产品安装抽空机组、温度监控装置、真空联程表以及内、外架加热装置装；启动内、外加热装置，对被抽产品进行内、外加热；步骤3、第一次充氮：利用抽空机组中的抽真空主管道对被抽产品缓慢充入高纯热氮气，观察真空联程表上的读数，当其显示值大于或等于0时，停止充气；步骤4、第一次闷气：对被抽产品的内、外表面及夹层全面加热若小时；步骤5、第一次预抽真空：在被抽产品内、外表面加热持续的状态下，开启抽空机组中的机械泵和罗茨泵，对抽真空主管道和被抽产品进行排气；步骤6、第二次充氮：关闭机械泵和罗茨泵，并在吹除充气管内残余空气后，将步骤3中同样的高纯热氮气缓慢充入抽空机组的管道系统及被抽产品的夹层中，观察真空联程表的读数，当其上显示的充气压强大于或等于大气压强，即0位略偏上时，停止充气；步骤7、第二次闷气：充气结束后，使被抽产品在充入的热氮气中持续加热至一定温度，闷气时间若干小时；步骤8、第二次预抽真空，开启机械泵、罗茨泵，对管道系统和被抽产品排气；步骤9、按照步骤3进行第三次充氮，按照步骤7进行三次闷气，按照步骤8进行第三次预抽真空；步骤10、重复步骤9的操作，进行第四次充氮、第四次闷气和第四次预抽真空；待排气结束后，准备抽高真空，按照油扩散泵的工作条件，提前开启油扩散泵的电炉加热，备用；步骤11、利用机械本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种抽真空除气工艺，其特征在于，包括以下步骤：步骤1、将被抽产品进行氦质谱检漏；步骤2、对检漏合格的被抽产品安装抽空机组、温度监控装置、真空联程表以及内、外架加热装置装；启动内、外加热装置，对被抽产品进行内、外加热；步骤3、第一次充氮：利用抽空机组中的抽真空主管道对被抽产品缓慢充入高纯热氮气，观察真空联程表上的读数，当其显示值大于或等于0时，停止充气；步骤4、第一次闷气：对被抽产品的内、外表面及夹层全面加热至100℃‑180℃，加热时间为15h‑18h；步骤5、第一次预抽真空：在被抽产品内、外表面加热持续的状态下，开启抽空机组中的机械泵和罗茨泵，对抽真空主管道和被抽产品进行排气；步骤6、第二次充氮：关闭机械泵和罗茨泵，并在吹除充气管内残余空气后，将步骤3中同样的高纯热氮气缓慢充入抽空机组的管道系统及被抽产品的夹层中，观察真空联程表的读数，当其上显示的充气压强大于或等于大气压强，即0位略偏上时，停止充气；步骤7、第二次闷气：充气结束后，使被抽产品在充入的热氮气中持续加热升温至100℃‑180℃，闷气时间0.5h‑2h；步骤8、第二次预抽真空，开启机械泵、罗茨泵，对管道系统和被抽产品排气，排气时间为0.5h‑2h；步骤9、按照步骤3进行第三次充氮，按照步骤7进行三次闷气，按照步骤8进行第三次预抽真空；步骤10、重复步骤9的操作，进行第四次充氮、第四次闷气和第四次预抽真空；待排气结束后，准备抽高真空，按照油扩散泵的工作条件，提前开启油扩散泵的电炉加热，备用；步骤11、利用机械泵、罗茨泵对管道系统抽低真空，当测量抽空管道的真空度P＜10Pa时，开启油扩散泵不间断抽高真空；当测量抽空管道的真空度P＜5×10‑1Pa时，开始间断抽高真空；步骤12、循环步骤11的抽空过程，当被抽产品抽真空5‑7天后，测量产品夹层的静态压强回升值，并计算出漏放气速率，连续两次计算值应小于或等于5×10‑6Pa·m3/S，其中静态瞬间极限真空度P1应小于或等于2.2Pa，再静置17h后测量出夹层的真空度P2；步骤13、提前对被抽产品的内、外表面加热，待被抽产品内、外表面热冷却后，封结被抽产品。...

【技术特征摘要】
1.一种抽真空除气工艺，其特征在于，包括以下步骤：步骤1、将被抽产品进行氦质谱检漏；步骤2、对检漏合格的被抽产品安装抽空机组、温度监控装置、真空联程表以及内、外架加热装置装；启动内、外加热装置，对被抽产品进行内、外加热；步骤3、第一次充氮：利用抽空机组中的抽真空主管道对被抽产品缓慢充入高纯热氮气，观察真空联程表上的读数，当其显示值大于或等于0时，停止充气；步骤4、第一次闷气：对被抽产品的内、外表面及夹层全面加热至100℃-180℃，加热时间为15h-18h；步骤5、第一次预抽真空：在被抽产品内、外表面加热持续的状态下，开启抽空机组中的机械泵和罗茨泵，对抽真空主管道和被抽产品进行排气；步骤6、第二次充氮：关闭机械泵和罗茨泵，并在吹除充气管内残余空气后，将步骤3中同样的高纯热氮气缓慢充入抽空机组的管道系统及被抽产品的夹层中，观察真空联程表的读数，当其上显示的充气压强大于或等于大气压强，即0位略偏上时，停止充气；步骤7、第二次闷气：充气结束后，使被抽产品在充入的热氮气中持续加热升温至100℃-180℃，闷气时间0.5h-2h；步骤8、第二次预抽真空，开启机械泵、罗茨泵，对管道系统和被抽产品排气，排气时间为0.5h-2h；步骤9、按照步骤3进行第三次充氮，按照步骤7进行三次闷气，按照步骤8进行第三次预抽真空；步骤10、重复步骤9的操作，进行第四次充氮、第四次闷气和第四次预抽真空；待排气结束后，准备抽高真空，按照油扩散泵的工作条件，提前开启油扩散泵的电炉加热，备用；步骤11、利用机械泵、罗茨泵对管道系统抽低真空，当测量抽空管道的真空度P＜10Pa时，开启油扩散泵不间断抽高真空；当测量抽空管道的真空度P＜5×10-1Pa时，开始间断抽高真空；步骤12、循环步骤11的抽空过程，当被抽产品抽真空5-7天后，测量产品夹层的静态压强回升值，并计算出漏放气速率，连续两次计算值应小于或等于5×10-6Pa·m3/S，其中静态瞬间极限真空度P1应小于或等于2.2Pa，再静置17h后测量出夹层的真空度P2；步骤13、提前对被抽产品的内、外表面加热，待被抽产品内、外表面热冷却后，封结被抽产品。2.根据权利要求1...

【专利技术属性】
技术研发人员：明长友，邹波，邹琴，雒川，
申请(专利权)人：成都科瑞尔低温设备有限公司，
类型：发明
国别省市：四川,51