The preparation method of photovoltaic device surface nanometer dry-process velvet relates to the technical field of photovoltaic device velvet-making. The preparation method of the silicon wafer includes the following steps: first, pretreatment of the silicon wafer; second, surface nano-treatment of the pretreated silicon wafer; third, alkali polishing of the surface nano-treatment silicon wafer; fourth, dry etching of the alkali polished silicon wafer; fifth, etching of the etched silicon. The surface of the chip is removed by residue treatment. The beneficial effect of the invention is that the surface energy band, crystal orientation and nano-surface structure of solar single crystal silicon cell, polycrystalline silicon cell and amorphous silicon cell sheet can be changed, and the photoelectric characteristics of solar absorption band can be enhanced. In addition, the photoelectric characteristics of solar absorption band can be achieved with traditional single crystal and polycrystalline silicon electronic hole junction devices such as solid silicon photovoltaic electricity. Compared with the cell, the cell has a larger cross-sectional area of the electron hole junction, which greatly improves the photoelectric conversion efficiency.
【技术实现步骤摘要】
光伏器件表面纳米化干法制绒制备方法
本专利技术涉及光伏器件制绒工艺
,具体涉及光伏器件表面纳米化干法制绒制备方法。
技术介绍
太阳能光伏发电系统是利用太阳电池半导体材料的光伏效应,将太阳光辐射能直接转换为电能的一种新型发电系统,有独立运行和并网运行两种方式。独立运行的光伏发电系统需要有蓄电池作为储能装置,主要用于无电网的边远地区和人口分散地区,整个系统造价很高;在有公共电网的地区,光伏发电系统与电网连接并网运行,省去蓄电池,不仅可以大幅度降低造价,而且具有更高的发电效率和更好的环保性能。在各种能源形式中,电能无疑是用处最为广泛的能源,它几乎应用于人类生活的各个方面。随着人们对环境保护的不断重视,如何利用清洁无污染的方法获得电能成为当今社会的重要课题。与煤、石油、天然气等储量有限且不可再生资源不同,太阳能取之不尽,用之不竭,清洁无污染,是理想的能源来源。随着太阳能光伏器件的出现,人类获得了一种直接从太阳能产生高质量能源的方法。近年来,半导体太阳能光伏器件已应用于从太阳能电站到路灯光伏照明系统等许多方面,未来半导体太阳能光伏器件将扮演着越来越重要的角色。半导体太阳能光伏器件种类繁多,本书对最为常见和成熟的半导体太阳能光伏器件进行了详细介绍,包括晶体硅太阳能电池、非晶硅基薄膜太阳能电池、Ⅲ-Ⅴ族单结及多结太阳能电池、Cu(InGa)Se2太阳能电池、CdTe太阳能电池、染料敏化电池和有机太阳能电池。这些半导体太阳能光伏器件具有代表性,掌握了这些器件的结构、原理和制作工艺,对于其他类型的半导体太阳能光伏器件的理解也就比较容易了。光伏太阳能行业已进入一个快速发 ...
【技术保护点】
1.光伏器件表面纳米化干法制绒制备方法,其特征在于它的制备方法包含以下步骤:步骤一、将硅片进行预处理;步骤二、将预处理过的硅片进行表面纳米化处理;步骤三、对表面纳米化处理的硅片进行碱抛光;步骤四、对碱抛光后的硅片进行干法刻蚀;所述干法刻蚀包含以下步骤:步骤一、在干法制绒机内采用刻蚀SF6气体在1200‑1500W功率条件下在硅片表面形成平坦的绒面;气体流量为350‑380sccm,压力为30‑50pa,时间为60s‑150s;步骤二、采用刻蚀气体在硅片表面反应形成尖锐的绒面结构,气体为 Cl2、O2、SF6,流量分别为250‑280sccm、400‑460sccm、650‑680sccm,压力为30‑80pa,功率为1100‑1300W,时间为450s‑500s;步骤三、采用刻蚀气体优化绒面结构;气体为 Cl2、O2、SF6,流量分别为120‑150sccm、250‑270sccm、600‑680sccm,压力为25‑50pa,功率为2300‑2800W,时间为200s‑260s;步骤四、在反应腔内通氧气在硅片表面形成氧化膜保护层,O2流量为900‑1200sccm,压力为20‑30p ...
【技术特征摘要】
1.光伏器件表面纳米化干法制绒制备方法,其特征在于它的制备方法包含以下步骤:步骤一、将硅片进行预处理;步骤二、将预处理过的硅片进行表面纳米化处理;步骤三、对表面纳米化处理的硅片进行碱抛光;步骤四、对碱抛光后的硅片进行干法刻蚀;所述干法刻蚀包含以下步骤:步骤一、在干法制绒机内采用刻蚀SF6气体在1200-1500W功率条件下在硅片表面形成平坦的绒面;气体流量为350-380sccm,压力为30-50pa,时间为60s-150s;步骤二、采用刻蚀气体在硅片表面反应形成尖锐的绒面结构,气体为Cl2、O2、SF6,流量分别为250-280sccm、400-460sccm、650-680sccm,压力为30-80pa,功率为1100-1300W,时间为450s-500s;步骤三、采用刻蚀气体优化绒面结构;气体为Cl2、O2、SF6,流量分别为120-150sccm、250-270sccm、600-680sccm,压力为25-50pa,功率为2300-2800W,时间为200s-260s;步骤四、在反应腔内通氧气在硅片表面形成氧化膜保护层,O2流量为900-1200sccm,压力为20-30pa,功率为650-680W,时间为450s-500s;步骤五、对刻蚀后的硅片的表面进行残余物去除处理。2.根据权利要求1所述光伏器件表面纳米化干法制绒制备方法,其特征在于,所述的硅片预处理的步骤包含:步骤一、将硅片浸入清洗剂如丙酮,或SCl(氨水和双氧水混合溶液)中对硅片表面的油污、颗粒等进行清洗;步骤二、将其浸泡2~3分钟;步骤三...
【专利技术属性】
技术研发人员:边心田,左芬,程菊,翟章印,
申请(专利权)人:淮阴师范学院,
类型:发明
国别省市:江苏,32
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