激光刻蚀机及超硬材料加工方法技术

本发明专利技术提供了一种激光刻蚀机及超硬材料加工方法。激光刻蚀机，包括：机座；光路系统，所述光路系统包括激光器、相机、同轴光路组件、振镜以及场镜，所述同轴光路组件与所述激光器以及所述相机连接，所述振镜固定在所述同轴光路组件远离所述激光器的一端，所述场镜固定连接在所述振镜的底部；摆臂组件，所述摆臂组件安装在所述机座上以带动所述同轴光路组件摆动；工作台，所述工作台可移动地安装在所述机座上并位于所述场镜的底部。本发明专利技术能够避免机械损伤层的出现，不受材料导电性能的约束，能够进行精准、高效的整平和减薄。

Laser etching machine and superhard material processing method

The invention provides a laser etching machine and a superhard material processing method. The laser etcher includes a base and an optical path system, which comprises a laser, a camera, a coaxial optical path assembly, a galvanometer and a field mirror. The coaxial optical path assembly is connected with the laser and the camera, and the galvanometer is fixed at one end of the coaxial optical path assembly far from the laser, and the field mirror is fixed at the end of the coaxial optical path assembly. Fixed to the bottom of the mirror; swing arm assembly, which is mounted on the base to drive the coaxial optical path assembly to swing; worktable, which is movably mounted on the base and located at the bottom of the field mirror. The invention can avoid the appearance of mechanical damage layer, is not subject to the restriction of material conductivity, and can carry out accurate and efficient leveling and thinning.

【技术实现步骤摘要】
激光刻蚀机及超硬材料加工方法
本专利技术设涉及硬质材料加工
，具体而言，涉及一种激光刻蚀机及超硬材料加工方法。
技术介绍
以金刚石为代表的超硬材料，由于其极高的硬度、耐磨性，使得表面平整化及厚度减薄变得尤为费时、费力。传统整平加工工艺如机械磨削以及新型的化学辅助磨削都要经由在一定压力作用下通过磨粒在材料表面的相对运动、挤压产生微裂纹，随经裂纹扩展产生脱落而去除材料。由此带来的磨料损耗、摩擦压力产生的机械损伤层、磨削液处理产生的环境污染成为不可回避的问题。电火花铣削，则是利用非接触的火花放电原理产生瞬间高温、高压去除表面材料，通过铣削运动及电极损耗的在线补偿实现材料表面的整平、减薄。一方面，非接触的加工方式避免了压力损伤；另一方面，放电要求使得导电性差的材料及非导电的金刚石等难以进行加工。超声波辅助加工，则是将超声振动与机械磨削加工或电火花铣削加工相复合的加工方式。尽管对加工效率有一定的提升，但仍旧不能避免两种加工方式固有的弊端。为避免以上加工方式存在的弊端，各厂家急需要设计一种新型的加工设备。
技术实现思路
本专利技术的主要目的在于提供一种激光刻蚀机及超硬材料加工方法，能够避免机械本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种激光刻蚀机，其特征在于，包括：机座(10)；光路系统(20)，所述光路系统(20)包括激光器(21)、相机、同轴光路组件(22)、振镜(23)以及场镜(24)，所述同轴光路组件(22)与所述激光器(21)以及所述相机连接，所述振镜(23)固定在所述同轴光路组件(22)远离所述激光器(21)的一端，所述场镜(24)固定连接在所述振镜(23)的底部；摆臂组件(30)，所述摆臂组件(30)安装在所述机座(10)上以带动所述同轴光路组件(22)摆动；工作台(40)，所述工作台(40)可移动地安装在所述机座(10)上并位于所述场镜(24)的底部。

【技术特征摘要】
1.一种激光刻蚀机，其特征在于，包括：机座(10)；光路系统(20)，所述光路系统(20)包括激光器(21)、相机、同轴光路组件(22)、振镜(23)以及场镜(24)，所述同轴光路组件(22)与所述激光器(21)以及所述相机连接，所述振镜(23)固定在所述同轴光路组件(22)远离所述激光器(21)的一端，所述场镜(24)固定连接在所述振镜(23)的底部；摆臂组件(30)，所述摆臂组件(30)安装在所述机座(10)上以带动所述同轴光路组件(22)摆动；工作台(40)，所述工作台(40)可移动地安装在所述机座(10)上并位于所述场镜(24)的底部。2.根据权利要求1所述的激光刻蚀机，其特征在于，所述同轴光路组件(22)包括：镜筒(221)，所述镜筒(221)包括激光镜筒器和相机镜筒，所述激光器镜筒与所述激光器(21)连接，所述相机镜筒与所述相机连接；扩束器(222)，所述扩束器(222)安装在所述激光器镜筒内；光路同轴装置(223)，所述光路同轴装置(223)设置在所述激光器镜筒远离所述激光器(21)的一端；成像系统(224)，所述成像系统(224)安装在所述相机镜筒靠近所述相机的一端。3.根据权利要求1所述的激光刻蚀机，其特征在于，所述摆臂组件(30)包括：摆臂旋转机构(31)，所述摆臂旋转机构(31)可转动地安装在所述机座(10)上；摆臂(32)，所述摆臂(32)的第一端安装在所述摆臂旋转机构(31)上，所述同轴光路组件(22)安装在所述摆臂(32)的第二端。4.根据权利要求3所述的激光刻蚀机，其特征在于，所述摆臂旋转机构(31)还包括旋转轴和驱动电机，所述驱动电机安装在所述机座(10)上并与所述旋转轴驱动连接。5.根据权利要求1所述的激光刻蚀机，其特征在于，所述工作台(40)包括：三轴移动平台，所述三轴移动平台安装在所述机座(10)上；旋转平台(44)，所述旋转平台(44)安装在所述三轴移动平台上。6.根据权利要求5所述的激光刻蚀机，其特征在于，所述三轴移动平台包括：X轴平移台(41)，所述X轴平移台(41)安装在所述机座(10)上；Y轴平移台(42)...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴高华，段佳良，梁鹏飞，
申请(专利权)人：廊坊西波尔钻石技术有限公司，
类型：发明
国别省市：河北,13