The utility model provides a cleaning device for solar silicon wafer which combines bubbling and ultrasonic wave. The bubbling device and bubbling tube are arranged to promote the flow of cleaning liquid in the cleaning tank, increase the contact area between cleaning liquid and solar silicon wafer, thereby improving the cleaning efficiency. Compared with a single ultrasonic cleaning device, the device needs to be used. Ultrasound power is small, and the combination of ultrasound and bubbling ensures cleaning efficiency. In order to reduce vibration and friction of solar silicon wafers, the cleaning device is equipped with a cleaning basket.
【技术实现步骤摘要】
一种太阳能硅片的清洗装置
本技术涉及清洗装置，尤其涉及一种太阳能硅片的清洁清洗装置。
技术介绍
太阳能硅片的清洗很重要，它影响电池的转换效率，如器件的性能中反向电流迅速加大及器件失效等，因此硅片的清洗很重要，太阳能硅片的清洗的作用有：1）在太阳能材料制备过程中，在硅表面涂有一层具有良好性能的减反射薄膜，有害的杂质离子进入二氧化硅层，会降低绝缘性能，清洗后绝缘性能会更好。2）在等离子边缘腐蚀中，如果有油污、水气、灰尘和其它杂质存在，会影响器件的质量，清洗后质量大大提高。3）硅片中杂质离子会影响P-N结的性能，引起P-N结的击穿电压降低和表面漏电，影响P-N结的性能。4）在硅片外延工艺中，杂质的存在会影响硅片的电阻率不稳定。目前在半导体生产清洗过程中已经广泛采用超声波清洗技术。超声波清洗有以下优点：1）清洗效果好，清洗手续简单，减少了由于复杂的化学清洗过程中而带来的杂质的可能性；2）对一些形状复杂的容器或器件也能清洗。超声波产生的原理：高频震荡器产生超声频电流，传给换能器，当换能器产生超声震动时，超声震动就通过与换能器连接的液体容器底部而传播到液体内，在液体中产生超声...
【技术保护点】
1.一种太阳能硅片的清洗装置，其特征在于，包括工装篮搁架、清洗槽和底架，两个工装篮搁架分别设置在清洗槽的两端，清洗槽内包括鼓泡超声清洗槽和超声清洗槽，超声清洗槽和超声清洗槽内均设有超声波发生器，清洗槽分为三段，依次分别为第一段的两个鼓泡超声清洗槽、第二段的两个超声清洗槽和第三段的两个鼓泡超声清洗槽，第一段和第三段均分别设有一个鼓泡器，且鼓泡超声清洗槽的周围绕有鼓泡管；第二段的两个超声清洗槽之间设有电加热管；还包括放置在工装篮搁架内的清洗花篮，清洗花篮包括两块固定板，一块固定板上开设有圆形孔，另一块固定板上开设有U形孔，圆形孔内的设置是便于太阳能硅片推杆穿过圆形孔伸入到清洗花...
【技术特征摘要】
1.一种太阳能硅片的清洗装置，其特征在于，包括工装篮搁架、清洗槽和底架，两个工装篮搁架分别设置在清洗槽的两端，清洗槽内包括鼓泡超声清洗槽和超声清洗槽，超声清洗槽和超声清洗槽内均设有超声波发生器，清洗槽分为三段，依次分别为第一段的两个鼓泡超声清洗槽、第二段的两个超声清洗槽和第三段的两个鼓泡超声清洗槽，第一段和第三段均分别设有一个鼓泡器，且鼓泡超声清洗槽的周围绕有鼓泡管；第二段的两个超声清洗槽之间设有电加热管；还包括放置在工装篮搁架内的清洗花篮，清洗花篮包括两块固定板，一块固定板上开设有圆形孔，另一块固定板上开设有U形孔，圆形孔内的设置是便于太阳能硅片推杆穿过圆形孔伸入到清洗花篮内，推动悬挂在清洗花篮内的太阳能硅片至靠近另一块固定板一侧；而U形孔的设置则是方便从上方取出靠近该固定板侧的太阳能硅片，两块固定板上均设有定位孔，定位孔的设...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘庆，
申请(专利权)人：湖南康盛庆丰新能源科技有限公司，
类型：新型
国别省市：湖南,43
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