臭氧气体生成装置及臭氧气体生成装置的制造方法制造方法及图纸

一种臭氧气体生成装置包括：第1电极部(11)，包含第1电极(111)；及第2电极部(12)，与第1电极部相对置，并且在与第1电极部之间隔着能够放电的指定间隔而配置，且包含第2电极(121)；第1电极部及第2电极部中的至少一个包括设置在相对置的一侧的第1电极或第2电极的表面的电介质(112、122)，并且至少一个包括设置在相对置的一侧的第1电极、第2电极或电介质的表面的至少一部分，且包含金属或金属化合物中的至少1个的层(113、123)；第1电极部及第2电极部构成为相对置的表面的间隔的精度为±3％以上且±50％以下。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】臭氧气体生成装置及臭氧气体生成装置的制造方法
本专利技术涉及一种臭氧气体生成装置及臭氧气体生成装置的制造方法。
技术介绍
以往已知有一种臭氧气体生成装置。该种臭氧气体生成装置已公开于例如日本特开2012-126614号公报中。在上述日本特开2012-126614号公报中公开有一种具备隔着放电间隙所配置的接地电极管及高电压电极管的臭氧生成装置(臭氧气体生成装置)。该臭氧生成装置为了稳定地生成臭氧气体，而组装有接地电极管及高电压电极管，以使放电间隙变得均匀。以往技术文献专利文献专利文献1：日本特开2012-126614号公报专利技术的概要专利技术要解决的技术课题然而，在上述日本特开2012-126614号公报的臭氧生成装置中，为了稳定地生成臭氧气体，而组装有接地电极管及高电压电极管，以使放电间隙变得高精度且均匀。因此，需要以良好精度组装接地电极管及高电压电极管，因此存在难以制造臭氧生成装置的问题。特别是放电间隙小时，由于允许的误差的绝对值变得极小，因此更难以以良好精度将放电间隙设成均匀。因此，放电间隙小时，存在更难以制造臭氧生成装置的问题。
技术实现思路
本专利技术是为了解决上述问题而完成的专利技术，该专利技术的目的之一在于提供一种能够稳定地生成臭氧气体，而且能够容易地制造的臭氧气体生成装置及该种臭氧气体生成装置的制造方法。用于解决技术课题的手段本申请的专利技术人等为了解决上述问题而进行深入研究的结果，发现在具备包含第1电极的第1电极部、及与第1电极部相对置而配置且包含第2电极的第2电极部的臭氧气体生成装置中，相对置的一侧的第1电极部或第2电极部的表面的至少一部分由包含金属或金属化合物中的至少1个的层所构成，且通过将第1电极部及第2电极部的相对置的表面的间隔(以下也称为放电间隙)的精度构成为±3％以上且±50％以下，能够稳定地生成臭氧气体。即，本申请的专利技术人获得了下述见解：在设置有包含金属或金属化合物中的至少1个的层时，若以往被认为要求高精度的放电间隙的精度为±50％以下，则能够稳定地生成臭氧气体。另外，金属化合物是包含金属元素的化合物。例如为金属氧化物、金属氮化物等。本专利技术的第1方面的臭氧气体生成装置具备：第1电极部，包含第1电极；及第2电极部，与第1电极部相对置，并且在与第1电极部之间隔着能够放电的指定间隔而配置，且包含第2电极；第1电极部及第2电极部中的至少一个包括设置在相对置的一侧的第1电极或第2电极的表面的电介质，并且至少一个包括设置在相对置的一侧的第1电极、第2电极或电介质的表面的至少一部分，且包含金属或金属化合物中的至少1个的层；第1电极部及第2电极部构成为相对置的表面的间隔的精度为±3％以上且±50％以下。在本专利技术的第1方面的臭氧气体生成装置中，如上所述，通过构成为设置包含金属或金属化合物中的至少1个的层，且放电间隙的精度成为±3％以上且±50％以下，能够稳定地生成臭氧气体，并且能够容易地制造臭氧气体生成装置。即，通过将放电间隙的精度(误差)设为±3％以上(比±3％更为放宽)，可以不用严格要求组装第1电极部及第2电极部的精度，因此能够容易地制造臭氧气体生成装置。而且，通过设置包含金属或金属化合物中的至少1个的层，且将放电间隙的精度(误差)设为±50％以下(比±50％更严格)，能够稳定地生成臭氧气体。认为其理由为：对于臭氧气体的生成效率，因包含金属或金属化合物中的至少1个的层所导致的臭氧气体生成效率提升的影响，比放宽放电间隙的精度所导致的影响还大。即，更优选金属或金属化合物是能够更有效率地生成臭氧气体的材料。并且，如上述的效果在放电间隙小时特别有效。即，放电间隙小时，若严格要求其精度，则允许的误差的绝对值会变得极小，因此制造臭氧气体生成装置变得很难。另一方面，在本申请专利技术中，由于无需严格要求放电间隙的精度，因此即使在放电间隙小的臭氧气体生成装置中也能够容易地制造。在上述第1方面的臭氧气体生成装置中，优选为第1电极部及第2电极部构成为放电的有效面积的30％以上的相对置的表面的间隔的精度为±3％以上且±50％以下。在此，本申请的臭氧气体生成装置是对第1电极部与第2电极部之间的间隙供给原料气体，且使该间隙产生放电，由此生成臭氧气体的装置。所谓放电的有效面积，是指第1电极部及第2电极部的相对置的表面的面积中的第1电极及第2电极的相对置的表面的面积。如此，通过管理第1电极部及第2电极部的放电的有效面积的30％以上的相对置的间隔的精度，能够抑制臭氧气体生成效率的降低。另外，在管理第1电极部及第2电极部的放电的有效面积的小于30％的相对置的间隔的精度时，有时无法充分地抑制臭氧气体生成效率的降低。并且，在管理第1电极部及第2电极部的放电的有效面积的小于100％的相对置的间隔的精度时，相较于管理有效面积的100％(所有有效面积)的相对置的间隔的精度的情况，能够抑制制造臭氧气体生成装置时的作业的复杂化及组装作业时间的长时间化。在上述第1方面的臭氧气体生成装置中，优选为通过第1电极部及第2电极部构成的放电单元被设置有多个；多个放电单元的第1电极部及第2电极部分别构成为相对置的表面的间隔的精度为±3％以上且±50％以下。在此，若严格要求放电间隙的精度，制造1个放电单元本身变得困难。在设置有多个放电单元的臭氧气体生成装置，特别是在将多个放电单元一体化地设置在预定体积内的臭氧气体生成装置中，需要在制造了多个制造本身困难的放电单元之后进而将其一体化而进行组装，因此制造臭氧气体生成装置会变得很困难。该情况在放电间隙小的臭氧气体生成装置中特别明显。另一方面，在本申请专利技术中，将多个放电单元各自的放电间隙的精度管理在±3％以上且±50％以下，由此无需严格要求精度。由此，能够容易地制造具备多个放电单元的臭氧气体生成装置。该情况下，优选为多个放电单元的第1电极部及第2电极部分别构成为相对置的表面的间隔的精度相对于指定的基准间隔为±3％以上且±50％以下。若以该方式构成，则能够将多个放电单元的放电间隙，相对于共同的基准间隔，分别管理在±3％以上且±50％以下，因此能够抑制多个放电单元间的放电间隙的偏差。由此，能够抑制在多个放电单元间所生成的臭氧气体生成效率的偏差，因此作为具备多个放电单元的臭氧气体生成装置整体，能够稳定地生成臭氧气体。在上述第1方面的臭氧气体生成装置中，优选为第1电极部及第2电极部构成为放电的有效面积的相对置的表面的相对于间隔的平均的间隔的精度为±3％以上且±50％以下。若以该方式构成，则能够抑制相对于放电间隙的平均的偏差，因此能够稳定地生成臭氧气体。在上述第1方面的臭氧气体生成装置中，优选为第1电极部及第2电极部构成为相对置的表面的间隔的精度相对于300μm以下的指定的基准间隔为±3％以上且±50％以下。在此，很难精度良好地制造基准间隔为300μm以下的放电间隙小的臭氧气体生成装置。另一方面，在本申请专利技术中，因为无需严格要求精度，因此能够容易地制造基准间隔为300μm以下的放电间隙小的臭氧气体生成装置。在上述第1方面的臭氧气体生成装置中，优选为第1电极部及第2电极部构成为相对置的表面的间隔的精度为±3％以上且±30％以下。如此，通过将放电间隙的精度设为±30％以下，能够更稳定地生成臭氧气体。在上述第1方面的臭氧气体生成装置中，优选为包本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种臭氧气体生成装置，包括：第1电极部，包含第1电极；及第2电极部，与所述第1电极部相对置，并且在与所述第1电极部之间隔着能够放电的指定间隔而配置，且包含第2电极；所述第1电极部及所述第2电极部中的至少一个包括设置在相对置的一侧的所述第1电极或所述第2电极的表面的电介质，并且至少一个包括设置在相对置的一侧的所述第1电极、所述第2电极或所述电介质的表面的至少一部分，且包含金属或金属化合物中的至少1个的层；所述第1电极部及所述第2电极部构成为相对置的表面的间隔的精度为±3％以上且±50％以下。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2016.03.25 JP 2016-0613871.一种臭氧气体生成装置，包括：第1电极部，包含第1电极；及第2电极部，与所述第1电极部相对置，并且在与所述第1电极部之间隔着能够放电的指定间隔而配置，且包含第2电极；所述第1电极部及所述第2电极部中的至少一个包括设置在相对置的一侧的所述第1电极或所述第2电极的表面的电介质，并且至少一个包括设置在相对置的一侧的所述第1电极、所述第2电极或所述电介质的表面的至少一部分，且包含金属或金属化合物中的至少1个的层；所述第1电极部及所述第2电极部构成为相对置的表面的间隔的精度为±3％以上且±50％以下。2.根据权利要求1所述的臭氧气体生成装置，其中，所述第1电极部及所述第2电极部构成为放电的有效面积的30％以上的相对置的表面的间隔的精度为±3％以上且±50％以下。3.根据权利要求1或2所述的臭氧气体生成装置，其中，通过所述第1电极部及所述第2电极部构成的放电单元被设置有多个，多个所述放电单元的所述第1电极部及所述第2电极部分别构成为相对置的表面的间隔的精度为±3％以上且±50％以下。4.根据权利要求3所述的臭氧气体生成装置，其中，多个所述放电单元的所述第1电极部及所述第2电极部分别构成为相对置的表面的间隔的精度相对于指定的基准间隔为±3％以上且±50％以下。5.根据权利要求1至4中任一项所述的臭氧气体生成装置，其中，所述第1电极部及所述第2电极部构成为放电的有效面积的相对置的表面的相对于间隔...

【专利技术属性】
技术研发人员：松野敬，
申请(专利权)人：住友精密工业株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP