薄膜输送装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种薄膜输送装置，该薄膜输送装置包括：一处理槽，具有一底部与邻接该底部的多个侧面，该侧面与该底部界定一容纳空间；多个上轮轴模块，每一上轮轴模块包含：两支撑杆；一上轮轴，安装于两支撑杆的一上端部之间；以及，一撑臂，安装于两支撑杆的一下端部之间；以及，多个下轮轴模块，每一下轮轴模块包含：两支撑杆；以及，一下轮轴，安装于两支撑杆的一下端部之间；其中，该上、下轮轴模块彼此交错且独立安装于该容纳空间之内，该上轮轴位于该下轮轴的上方，且相邻的两上轮轴的间距小于该下轮轴的外直径，相邻的两下轮轴的间距小于该上轮轴的外直径。本实用新型专利技术通过个别独立安装的多个上、下轮轴，提升了装置维修效率。

【技术实现步骤摘要】
薄膜输送装置
本技术关于一种薄膜输送装置，更明确地说明，本技术是一种在一化学镀膜装置中输送一薄膜经过一处理液的薄膜输送装置。
技术介绍
中国台湾技术第M532953号专利揭露一种薄片处理装置。请参考图1，该薄片处理装置包含一处理槽(图未式)用以储存一处理液、一第一输送模块1包含多个第一导引管2、以及一第二输送模块3包含多个第二导引管4，其中该多个第一导引管2及该多个第二导引管4沿水平方向交错设置，并使一薄膜5于该多个第一导引管2及第二导引管4所定义的一弯折路径上输送。然而，第一输送模块1的多个第一导引管2彼此固定安装，第二输送模块3的多个第二导引管4彼此固定安装。因此，一旦其中一第一导引管2或第二导引管4需要维修时，导引管2、4无法个别被快速拆卸下来，需要将整个输送模块1、3拆下维修，而影响维修效率。此外，在处理槽的容纳空间内，导引管2、4的数量及彼此间距将影响薄膜5在处理槽的作用面积。因此，如何在处理槽的容纳空间内设置上、下导引管的数量及彼此间距，将涉及薄膜的作用面积或有效缩减该处理槽的体积。
技术实现思路
本技术的目的之一是提供一种薄膜输送装置，通过个别独立安装的多个上、下轮轴，以提升输本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种薄膜输送装置，其特征在于，包括：一处理槽，具有一底部与邻接该底部的多个侧面，该侧面与该底部界定一容纳空间；多个上轮轴模块，每一上轮轴模块包含：两支撑杆；一上轮轴，安装于两支撑杆的一上端部之间；以及，一撑臂，安装于两支撑杆的一下端部之间；以及多个下轮轴模块，每一下轮轴模块包含：两支撑杆；以及，一下轮轴，安装于两支撑杆的一下端部之间；其中，该上、下轮轴模块彼此交错且独立安装于该容纳空间之内，该上轮轴位于该下轮轴的上方，且相邻的两上轮轴的间距小于该下轮轴的外直径，相邻的两下轮轴的间距小于该上轮轴的外直径。

【技术特征摘要】
1.一种薄膜输送装置，其特征在于，包括：一处理槽，具有一底部与邻接该底部的多个侧面，该侧面与该底部界定一容纳空间；多个上轮轴模块，每一上轮轴模块包含：两支撑杆；一上轮轴，安装于两支撑杆的一上端部之间；以及，一撑臂，安装于两支撑杆的一下端部之间；以及多个下轮轴模块，每一下轮轴模块包含：两支撑杆；以及，一下轮轴，安装于两支撑杆的一下端部之间；其中，该上、下轮轴模块彼此交错且独立安装于该容纳空间之内，该上轮轴位于该下轮轴的上方，且相邻的两上轮轴的间距小于该下轮轴的外直径，相邻的两下轮轴的间距小于该上轮轴的外直径。2.根据权利要求1所述的薄膜输送装置，其特征在于，其中该处理槽的其中一对相面对的侧面之间容置该上、下轮轴模块，且靠近该对侧面的该底部设有多对定位孔，每对定位孔分别定位该上轮轴模块的两支撑杆的下端部或该下轮轴模块的两支撑杆的下端部。3.根据权利要求2所述的薄膜输送装置，其特征在于，其中该相面对的两侧面分别设有多个平行的导引槽，一个导引槽对应一个定位孔。4.根据权利要求1所述的薄膜输送装置，其特征在于，其中每一上轮轴模块包含：两个C形环，分别套接在该上轮轴上且靠近该上轮轴的两端部。5.根据权利要求4所述的薄膜输送装置，其特征在于，其中相邻的两上轮...

【专利技术属性】
技术研发人员：许志浩，
申请(专利权)人：联策科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：中国台湾,71