一种三维对位的方法技术

本发明专利技术提供一种三维对位的方法，包括提供待对位的第一部件和第二部件，第一部件及第二部件均为光透部件；确定第一及二部件的预置对位点的位置，并根据预置对位点的位置，实现第一及第二部件的水平对位；设定第一部件的预置对位点为光反射点及第二部件的预置对位点为遮光点，并待第一及第二部件实现水平对位后，调节第一与第二部件高度方向上的间距，直至获取到预设光检测器所接收的光线强度符合预设值为止：其中，预设光检测器所接收到的光线强度是预设光源的预定方向出光由第一部件的光反射点进行反射后，再经第二部件的遮光点部分遮挡后所形成的。实施本发明专利技术，不仅能实现两个部件的水平对位，还能实现高度调节，并对高度调节进行及时有效的反馈。

A method of 3D counterpoint

The invention provides a three-dimensional alignment method, which includes providing the first and the second components to be aligned, both of which are light transmission components, determining the position of the pre-alignment sites of the first and second components, and realizing the horizontal alignment of the first and second components according to the position of the pre-alignment sites; The preset alignment point of the component is the light reflection point and the preset alignment point of the second component is the light shading point. After the first and second components are horizontally aligned, the distance between the first and the second components in the height direction is adjusted until the light intensity received by the preset photodetector is obtained to conform to the preset value. The received light intensity is formed by reflecting light from the light reflection point of the first component in a predetermined direction of the preset light source and partially occluding the light reflection point of the second component. The invention can not only realize the horizontal alignment of two components, but also realize the height adjustment, and provide timely and effective feedback for the height adjustment.

【技术实现步骤摘要】
一种三维对位的方法
本专利技术涉及液晶显示
，尤其涉及一种三维对位的方法。
技术介绍
在刻蚀制程或蒸镀的过程中，往往会在制备的膜层或蒸镀的膜层上涂抹并覆盖光刻胶，且进一步利用掩膜通过曝光、显影、刻蚀等制程来形成固定图案。然而，若掩膜与膜层对位不合理时，则制备出的产品就会出现偏差，从而影响产品质量。在液晶显示装置制备过程中，两个部件的常规对位方式多为水平对位，仅用以调整部件水平方向上的位置，而高度通常会采用虚拟（Dummy）沉积法沉积样品图案并测量图案表征来反馈，这就导致高度需额外测试样品图形偏移量与阴影效应来调节，因此缺乏及时性和有效性。如在OLED器件蒸镀中，掩膜对位需进行三维方向调整，常用的Dummy沉积法只能测量图案表征来反馈高度是否需要调整，却缺乏高度调节的及时有效反馈。
技术实现思路
本专利技术实施例所要解决的技术问题在于，提供一种三维对位的方法，不仅能实现两个部件的水平对位，还能实现高度调节，并对高度调节进行及时有效的反馈。为了解决上述技术问题，本专利技术实施例提供了一种三维对位的方法，包括以下步骤：提供待对位的第一部件和第二部件；其中，所述第一部件及所述第二部件均为光透部件；确定所述第一部件及所述第二部件的预置对位点的位置，并根据所述第一部件及所述第二部件的预置对位点的位置，实现所述第一部件及所述第二部件的水平对位；设定所述第一部件的预置对位点为光反射点及所述第二部件的预置对位点为遮光点，并待所述第一部件及所述第二部件实现水平对位后，调节所述第一部件与所述第二部件所在高度方向上的间距，直至获取到预设光检测器所接收的光线强度符合预设值为止：其中，所述预设光检测器所接收到的光线强度是预设光源的预定方向出光由所述第一部件所设的光反射点进行反射后，再经所述第二部件的遮光点部分遮挡后所形成光线的强度。其中，所述预设光源的预定方向出光与所述第一部件的水平面呈一定斜角关系。其中，随着所述第一部件与所述第二部件所在高度方向上的间距逐渐减小，则所述预设光检测器所接收到的光线强度逐渐增大。其中，所述第一部件的预置对位点有一个，所述第二部件的预置对位点有一个或多个。其中，所述第一部件的预置对位点的结构为圆形、方形、十字形、光栅之中其一种，所述第二部件的预置对位点的结构为圆形、方形、十字形、光栅之中其一种。本专利技术实施例还提供了另一种三维对位的方法，包括以下步骤：提供待对位的第一部件和第二部件；其中，所述第一部件及所述第二部件均为光透部件；确定所述第一部件及所述第二部件的预置对位点的位置，并根据所述第一部件及所述第二部件的预置对位点的位置，实现所述第一部件及所述第二部件的水平对位；设定所述第一部件的预置对位点为透光点及所述第二部件的预置对位点为遮光点，并待所述第一部件及所述第二部件实现水平对位后，调节所述第一部件与所述第二部件所在高度方向上的间距，直至获取到预设光检测器所接收的光线强度符合预设值为止：其中，所述预设光检测器所接收到的光线强度是预设光源的预定方向出光经绕过所述第二部件所设的遮光点的遮挡区域后，再通过所述第一部件的透光点聚焦后所形成光线的强度。其中，所述预设光源的预定方向出光与所述第一部件及所述第二部件均相垂直。其中，随着所述第一部件与所述第二部件所在高度方向上的间距逐渐减小，则所述预设光检测器所接收到的光线强度逐渐减小。其中，所述第一部件的预置对位点有一个，所述第二部件的预置对位点有一个。其中，所述第一部件的预置对位点的结构为圆形、方形、十字形、光栅之中其一种，所述第二部件的预置对位点的结构为圆形、方形、十字形、光栅之中其一种。实施本专利技术实施例，具有如下有益效果：本专利技术在待对位的第一部件和第二部件上分别设置对位的预置对位点，通过预置对位点的位置实现二者正常的水平方向上对位后，利用光反射遮蔽与衍射效应，通过预设光源照射两个预置对位点后，使用预设光检测器所接收到的反射光或透射光通量大小来反馈调节高度的情况，从而既能实现两个部件的水平对位，还能在高度调节时进行及时有效的反馈。附图说明为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，根据这些附图获得其他的附图仍属于本专利技术的范畴。图1为本专利技术实施例一提供的一种三维对位的方法的流程图；图2为本专利技术实施例一提供的一种三维对位的方法的应用场景图；图3为本专利技术实施例二提供的一种三维对位的方法的流程图；图4为本专利技术实施例二提供的一种三维对位的方法的应用场景图。具体实施方式为使本专利技术的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本专利技术作进一步地详细描述。如图1所示，为本专利技术实施例一中，提供的一种三维对位的方法，包括以下步骤：步骤S11、提供待对位的第一部件和第二部件；其中，所述第一部件及所述第二部件均为光透部件；具体过程为，采用具有良好光透效应的第一部件和第二部件作为待对位的两个部件，可以后续步骤中能够利用光反射遮蔽效应，实现使用反射光通量大小来反馈调节高度的情况。步骤S12、确定所述第一部件及所述第二部件的预置对位点的位置，并根据所述第一部件及所述第二部件的预置对位点的位置，实现所述第一部件及所述第二部件的水平对位；具体过程为，第一部件的预置对位点和第二部件的预置对位点均可以为一个或多个。例如，第一部件的预置对位点和第二部件的预置对位点均为一个，实现两点水平对位，也可以是第一部件的预置对位点为一个，第二部件的预置对位点有两个，实现三点对位，或者还可以是第一部件的预置对位点为一个，第二部件的预置对位点有多个，实现多点对位。第一部件的预置对位点的结构和第二部件的预置对位点的结构包括但不限于为圆形、方形、十字形、光栅之中一种。应当说明的是，为了对位方便，第一部件及第二部件的预置对位点通常设置为一个，这样也可以使得后续步骤中预设光检测器能够集中接收由第一部件的预置对位点所形成的反射光。步骤S13、设定所述第一部件的预置对位点为光反射点及所述第二部件的预置对位点为遮光点，并待所述第一部件及所述第二部件实现水平对位后，调节所述第一部件与所述第二部件所在高度方向上的间距，直至获取到预设光检测器所接收的光线强度符合预设值为止：其中，所述预设光检测器所接收到的光线强度是预设光源的预定方向出光由所述第一部件所设的光反射点进行反射后，再经所述第二部件的遮光点部分遮挡后所形成光线的强度。具体过程为，将光检测器预先设置在第二部件远离第一部件方向的一侧，同时将光源预设在预定方向上出光，且出光方向与第一部件的水平面呈一定斜角关系，还继续设置第一部件的预置对位点为光反射点，第二部件的预置对位点为遮光点，从而可以利用光反射遮蔽效应，使得光源的出光能够经过第一部件所设的光反射点反射后，即便被第二部件的遮光点部分遮挡后也能到达光检测器。当然，光反射点设置在第一部件朝向光检测器方向的一侧端面上。由于第一部件与第二部件所在高度方向上间距的调整，会改变第二部件的遮光点对第一部件所设光反射点反射光线的遮挡面积，进而改变到达光检测器的光线强度，因此可以通过光检测器实时反馈第一部件与第二部件所在高度方向上的间距的调节情况。一旦光检测器所接收本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种三维对位的方法，其特征在于，包括以下步骤：提供待对位的第一部件和第二部件；其中，所述第一部件及所述第二部件均为光透部件；确定所述第一部件及所述第二部件的预置对位点的位置，并根据所述第一部件及所述第二部件的预置对位点的位置，实现所述第一部件及所述第二部件的水平对位；设定所述第一部件的预置对位点为光反射点及所述第二部件的预置对位点为遮光点，并待所述第一部件及所述第二部件实现水平对位后，调节所述第一部件与所述第二部件所在高度方向上的间距，直至获取到预设光检测器所接收的光线强度符合预设值为止：其中，所述预设光检测器所接收到的光线强度是预设光源的预定方向出光由所述第一部件所设的光反射点进行反射后，再经所述第二部件的遮光点部分遮挡后所形成光线的强度。

【技术特征摘要】
1.一种三维对位的方法，其特征在于，包括以下步骤：提供待对位的第一部件和第二部件；其中，所述第一部件及所述第二部件均为光透部件；确定所述第一部件及所述第二部件的预置对位点的位置，并根据所述第一部件及所述第二部件的预置对位点的位置，实现所述第一部件及所述第二部件的水平对位；设定所述第一部件的预置对位点为光反射点及所述第二部件的预置对位点为遮光点，并待所述第一部件及所述第二部件实现水平对位后，调节所述第一部件与所述第二部件所在高度方向上的间距，直至获取到预设光检测器所接收的光线强度符合预设值为止：其中，所述预设光检测器所接收到的光线强度是预设光源的预定方向出光由所述第一部件所设的光反射点进行反射后，再经所述第二部件的遮光点部分遮挡后所形成光线的强度。2.如权利要求1所述的三维对位的方法，其特征在于，所述预设光源的预定方向出光与所述第一部件的水平面呈一定斜角关系。3.如权利要求2所述的三维对位的方法，其特征在于，随着所述第一部件与所述第二部件所在高度方向上的间距逐渐减小，则所述预设光检测器所接收到的光线强度逐渐增大。4.如权利要求1所述的三维对位的方法，其特征在于，所述第一部件的预置对位点有一个，所述第二部件的预置对位点有一个或多个。5.如权利要求4所述的三维对位的方法，其特征在于，所述第一部件的预置对位点的结构为圆形、方形、十字形、光栅之中其一种，所述第二部件的预置对位点的结构为圆形、方形、十字形、光栅之中其一种...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄伟，
申请(专利权)人：深圳市华星光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：广东,44