一种多晶硅还原炉硅芯夹持装置及夹持方法制造方法及图纸

技术编号:19203399 阅读:31 留言:0更新日期:2018-10-20 02:42
本发明专利技术涉及多晶硅生产设备领域,具体涉及一种多晶硅还原炉硅芯夹持装置及夹持方法。本发明专利技术提供的多晶硅还原炉硅芯夹持装置,包括至少两个石墨卡瓣、石墨基座以及绝缘夹套。在使用过程中,将石墨基座的连接孔连接于电极上,石墨卡瓣卡接于所述石墨基座的限位槽内,并形成夹持硅芯的夹持空间,绝缘夹套连接于石墨基座靠近所述限位槽的一端,底部与底盘不接触,可缓解表面结硅问题,避免形成接地回路,有效防止意外跳停,同时绝缘夹套表面形成的硅粉易于清洗,方便重复利用,降低生产成本。石墨卡瓣与绝缘夹套的倾斜内壁的斜面配合,使得硅芯得到稳定夹紧。

Silicon core clamping device and clamping method for polysilicon reduction furnace

The invention relates to the field of polycrystalline silicon production equipment, in particular to a silicon core clamping device and a clamping method for a polycrystalline silicon reduction furnace. The invention provides a silicon core clamping device for a polycrystalline silicon reduction furnace, which comprises at least two graphite lobes, a graphite base and an insulating jacket. In the process of using, the connecting hole of the graphite base is connected to the electrode, the graphite clip is clamped to the limiting groove of the graphite base, and a clamping space for holding the silicon core is formed. The insulating jacket is connected to the graphite base near one end of the limiting groove, and the bottom is not in contact with the chassis, thus alleviating the problem of surface silicon bonding and avoiding the shape. The grounding circuit can effectively prevent unexpected trip and stop. At the same time, the silicon powder formed on the surface of the insulating jacket is easy to clean, easy to reuse and reduce the production cost. The graphite clack is matched with the inclined plane of the inclined inner wall of the insulating jacket, so that the silicon core can be stably clamped.

【技术实现步骤摘要】
一种多晶硅还原炉硅芯夹持装置及夹持方法
本专利技术涉及多晶硅生产设备领域,具体涉及一种多晶硅还原炉硅芯夹持装置及夹持方法。
技术介绍
目前多晶硅还原炉内硅芯夹持装置大多采用石墨材质,因其良好的导电性能以及质地偏软,能够很好的解决细硅芯与电极的良好接触。然而,电极一般位于还原炉底部,裸露的石墨装置距离金属底盘很近,还原炉运行中后期,通过底部结构表面沉积的金属硅,极易造成接地漏电跳停情况;另一方面,石墨材质的夹持装置表面沉积多晶硅后很难清理,影响其循环利用,不符合绿色生产的要求。由于上述还原炉硅芯夹持装置的种种不足,寻求一种能够使得还原炉硅芯稳定夹持且能保证还原炉正常运行避免意外跳停的方法十分必要,特别是对生产效率要求较高的领域具有重要意义。
技术实现思路
为解决现有技术中的上述问题,本专利技术的目的在于提供一种多晶硅还原炉硅芯夹持装置。本专利技术的另一目的在于提供一种采用上述多晶硅还原炉硅芯夹持装置的夹持方法。本专利技术的实施例是这样实现的:一种多晶硅还原炉硅芯夹持装置,其包括至少两个石墨卡瓣,所述石墨卡瓣具备有夹持部以及倾斜连接部,所述夹持部相对设置形成用于夹持硅芯的夹持空间;石墨基座,本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种多晶硅还原炉硅芯夹持装置,其特征在于,包括:至少两个石墨卡瓣,所述石墨卡瓣具备有夹持部以及倾斜连接部,所述夹持部相对设置形成用于夹持硅芯的夹持空间;石墨基座,所述石墨基座一端具备有用于连接电极的连接孔,另一端具备有用于卡接所述石墨卡瓣的限位槽;绝缘夹套,所述绝缘夹套连接于所述石墨基座靠近所述限位槽的一端,所述绝缘夹套高出所述石墨基座的一端具备有与所述倾斜连接部相配合的倾斜内壁。

【技术特征摘要】
1.一种多晶硅还原炉硅芯夹持装置,其特征在于,包括:至少两个石墨卡瓣,所述石墨卡瓣具备有夹持部以及倾斜连接部,所述夹持部相对设置形成用于夹持硅芯的夹持空间;石墨基座,所述石墨基座一端具备有用于连接电极的连接孔,另一端具备有用于卡接所述石墨卡瓣的限位槽;绝缘夹套,所述绝缘夹套连接于所述石墨基座靠近所述限位槽的一端,所述绝缘夹套高出所述石墨基座的一端具备有与所述倾斜连接部相配合的倾斜内壁。2.根据权利要求1所述的多晶硅还原炉硅芯夹持装置,其特征在于,所述多晶硅还原炉硅芯夹持装置包括四个所述石墨卡瓣,所述石墨卡瓣具备有卡接于所述限位槽的连接段。3.根据权利要求2所述的多晶硅还原炉硅芯夹持装置,其特征在于,所述石墨基座开设有四个用于卡接所述石墨卡瓣的限位槽,所述限位槽呈环形分布,所述石墨卡瓣的夹持部间隔相对设置形成用于夹持硅芯的夹持空间。4.根据权利要求1所述的多晶硅还原炉硅芯夹持装置,其特征在于,所述绝缘夹套采用耐高温绝缘材料。5.根据权利要求1所述的多晶硅还原炉硅芯夹持装置,其特征...

【专利技术属性】
技术研发人员:丁小海蔡延国刘廷泽宗冰王体虎
申请(专利权)人:亚洲硅业青海有限公司青海省亚硅硅材料工程技术有限公司
类型:发明
国别省市:青海,63

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