一种改进型LOW-E玻璃旋转靶制造技术

本实用新型专利技术公开了一种改进型LOW‑E玻璃旋转靶，包括靶材和靶材背管，所述靶材紧贴在所述靶材背管的外表上，所述靶材上设有倒角，所述倒角位于所述靶材的端部上，所述倒角底部与靶材背管相距1‑5mm。本实用新型专利技术提供的改进型LOW‑E玻璃旋转靶设计科学合理，与现有技术相比，有益效果为：设计简单，无需增加采购成本；加工工艺简单，无需额外购置加工设备；使用效果良好，有效降低放电产生的废品。

An improved LOW-E glass rotating target

The utility model discloses an improved LOW E glass rotating target, which comprises a target material and a target material backpipe. The target material is close to the outer surface of the target material backpipe, and the target material is provided with a chamfer. The chamfer is located at the end of the target material, and the bottom of the chamfer is 1_5mm away from the target material backpipe. The improved LOW_E glass rotating target provided by the utility model is scientifically and reasonably designed. Compared with the prior art, the beneficial effects are as follows: the design is simple, and the purchase cost is not increased; the processing technology is simple, and no additional processing equipment is needed; the use effect is good, and the waste produced by discharge is effectively reduced.

【技术实现步骤摘要】
一种改进型LOW-E玻璃旋转靶
本技术涉及旋转靶材端面结构领域，具体来说，是一种LOWE镀膜行业所用旋转靶的改进型LOW-E玻璃旋转靶。
技术介绍
旋转靶材是磁控的靶材。靶材做成圆筒型的，里面装有静止不动的磁体，以慢速转动。传动的旋转靶材端面为平面结构，该结构在使用中会产生积瘤，严重者会与靶材固定座的端头护罩导通引起放电，导致无法正常生产产品，甚至损坏靶材或者其固定端头。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种不会产生积瘤或放电的结构，以确保镀膜生产过程的稳定性以及有效的保护设备不被累计电荷击穿损坏的改进型LOW-E玻璃旋转靶。为了克服上述现有技术中的缺陷本技术采用如下技术方案：一种改进型LOW-E玻璃旋转靶，包括靶材和靶材背管，所述靶材紧贴在所述靶材背管的外表上，所述靶材上设有倒角，所述倒角位于所述靶材的端部上，所述倒角底部与靶材背管相距1-5mm。进一步地，所述靶材的端部设有凸块，所述倒角位于所述凸块的最外端。进一步地，所述凸块高于所述靶材工作部位1-4mm。进一步地，所述倒角为45°-80°。进一步地，所述靶材背管比所述靶材长，所述靶材背管上设有连接槽位，所述连接槽位位于靶材背管超出靶本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种改进型LOW‑E玻璃旋转靶，其特征在于：包括靶材和靶材背管，所述靶材紧贴在所述靶材背管的外表上，所述靶材上设有倒角，所述倒角位于所述靶材的端部上，所述倒角底部与靶材背管相距1‑5mm。

【技术特征摘要】
1.一种改进型LOW-E玻璃旋转靶，其特征在于：包括靶材和靶材背管，所述靶材紧贴在所述靶材背管的外表上，所述靶材上设有倒角，所述倒角位于所述靶材的端部上，所述倒角底部与靶材背管相距1-5mm。2.根据权利要求1所述的改进型LOW-E玻璃旋转靶，其特征在于：所述靶材的端部设有凸块，所述倒角位于所述凸块的最外端。3.根据权利要求2所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：龙永红，叶光岱，卢小刚，
申请(专利权)人：广东旗滨节能玻璃有限公司，
类型：新型
国别省市：广东,44