一种还原炉电极槽及四氟套清理装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种还原炉电极槽及四氟套清理装置，包括有铰刀刀头、连接管及转动机构，铰刀刀头和连接管均为筒状结构，铰刀刀头与连接管同轴连接，且铰刀刀头朝外凸出于连接管的表面之外；而转动机构与连接管连接形成对连接管及铰刀刀头的旋转驱动结构。本实用新型专利技术通过以连接管安装铰刀刀头，且连接管连接有转动机构，通过转动机构带动连接管及铰刀刀头旋转，使铰刀刀头上的刀齿结构对粉尘进行清理，整个装置的清理过程清洁高效、精度高、安全卫生、结构简单，易于实现，可以有效提高工作效率、降低工人劳动强度、提高设备的安全性。

Cleaning device for reducing furnace electrode groove and tetrafluoroethylene sleeve

The utility model discloses an electrode groove and a tetrafluoro sleeve cleaning device for a reduction furnace, which comprises a reamer head, a connecting pipe and a rotating mechanism. The reamer head and a connecting pipe are all cylindrical structures, and the reamer head is coaxially connected with the connecting pipe, and the reamer head is projected outward from the surface of the connecting pipe, while the rotating mechanism is connected with the connecting pipe. A rotary driving structure for connecting pipes and reamer heads is formed. The utility model installs a reamer head with a connecting pipe, and the connecting pipe is connected with a rotating mechanism, which drives the connecting pipe and the reamer head to rotate, so that the knife tooth structure on the reamer head can clean up the dust, and the cleaning process of the whole device is clean, efficient, high precision, safe, sanitary, simple and easy to be solid. Now, it can effectively improve work efficiency, reduce workers' labor intensity and improve the safety of equipment.

【技术实现步骤摘要】
一种还原炉电极槽及四氟套清理装置
本技术涉及晶体硅制备设备
，具体涉及一种还原炉电极槽及四氟套的清理设备。
技术介绍
改良西门子法是制备多晶硅的主要方法，其工艺上最为重要的环节为多晶硅还原沉积系统。生产中在多晶硅还原沉积系统的电极与四氟套之间需添加绝缘陶瓷套以增加电绝缘性，用以防止中后期还原炉底盘漏电导致提前停炉，影响生产效率；通常在多晶硅还原炉沉积过程中，在电极槽及四氟套上会沉积一些粉尘，这些粉尘的附着会影响下一生产周期陶瓷绝缘套的安装，有些粉尘沉积较多的电极槽及四氟套甚至会在安装时卡死绝缘陶瓷套，另一方面，四氟套经过长期使用，表面产生鼓包等形变，为了便于绝缘陶瓷套的安装，变形的四氟套内壁需要修饰打磨平滑。实际生产中，一般采用人工直接用陶瓷片轻刮的方式来清理附着于电极四氟套表面的粉尘，这种原始的方式既低效又容易导致电极四氟套被刮坏，严重影响了生产效率，并增加了设备的风险，不能满足当前的生产需求。因此，开发低污染、高效率、高精度的多晶硅电极四氟套清理设备和方法是提高多晶硅生产效率、提高设备安全性的重要举措。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是提供一种结构简单、安全性更高、能够降低操作工人的劳动强度、提高生产效率、并能够保护生产设备的还原炉电极槽及四氟套清理装置。为解决上述技术问题，本技术采用如下技术方案：一种还原炉电极槽及四氟套清理装置，其特征在于：包括有铰刀刀头、连接管及转动机构，铰刀刀头和连接管均为筒状结构，铰刀刀头与连接管同轴连接，且铰刀刀头朝外凸出于连接管的表面之外；而转动机构与连接管连接形成对连接管及铰刀刀头的旋转驱动结构。进一步地，连接管上设置有把手，把手垂直连接于连接管的外壁上，便于取放整个装置。进一步地，所述铰刀刀头的外侧以及不与连接管相连一端具有朝外伸出的刀齿结构，通过刀齿结构来清理粉尘。进一步地，所述连接管与所述铰刀刀头的顶端连接，且连接管的外径小于铰刀刀头的外径。进一步地，所述连接管与所述铰刀刀头的内壁均为光滑的圆形面。进一步地，所述连接管与所述铰刀刀头的内径比电极的直径大0.1mm。所述转动机构为手动装置或机动装置，而机动装置为电机或气动马达。进一步地，所述转动机构与所述连接管的轴心位置连接，可以直接转动连接管，从而带动铰刀刀头。使用时，将装置套在需要清理硅粉及修饰四氟套的电极槽内，然后周向转动清理装置。由于清理装置上装有铰刀刀头，刀头可以有效地将附着于电极槽及四氟套上的粉尘清理下来，又由于清理装置的内孔与电极之间只留有0.1mm的间隙，故可起定位作用，使铰刀刀头可以准确、干净地清理附着物又不至伤害到电极四氟套。本技术通过以连接管安装铰刀刀头，且连接管连接有转动机构，通过转动机构带动连接管及铰刀刀头旋转，使铰刀刀头上的刀齿结构对粉尘进行清理，整个装置的清理过程清洁高效、精度高、安全卫生、结构简单，易于实现，可以有效提高工作效率、降低工人劳动强度、提高设备的安全性。附图说明图1为本技术侧面结构示意图；图2为本技术俯视示意图。图中，1为转动机构，2为把手，3为连接管，4为铰刀刀头。具体实施方式本实施例中，参照图1和图2，所述还原炉电极槽及四氟套清理装置，包括有铰刀刀头4、连接管3及转动机构2，铰刀刀头4和连接管3均为筒状结构，铰刀刀头4与连接管3同轴连接，且铰刀刀头4朝外凸出于连接管3的表面之外；转动机构1与连接管3连接形成对连接管3及铰刀刀头4的旋转驱动结构。连接管3上设置有把手2，把手2垂直连接于连接管3的外壁上，便于取放整个装置。所述铰刀刀头4的外侧以及不与连接管3相连一端具有朝外伸出的刀齿结构，通过刀齿结构来清理粉尘。所述连接管3与所述铰刀刀头4的顶端连接，且连接管3的外径小于铰刀刀头4的外径。所述连接管3与所述铰刀刀头4的内壁均为光滑的圆形面。所述连接管3与所述铰刀刀头4的内径比电极的直径大0.1mm。转动机构为电机(气动马达等机动装置或手动装置亦可)。所述转动机构1与所述连接管3的轴心位置连接，可以直接转动连接管3，从而带动铰刀刀头4。使用时，将装置套在需要清理硅粉及修饰四氟套的电极槽内，然后周向转动清理装置。由于清理装置上装有铰刀刀头4，刀头可以有效地将附着于电极槽及四氟套上的粉尘清理下来，又由于清理装置的内孔与电极之间只留有0.1mm的间隙，故可起定位作用，使铰刀刀头4可以准确、干净地清理附着物又不至伤害到电极四氟套。以上已将本技术做一详细说明，以上所述，仅为本技术之较佳实施例而已，当不能限定本技术实施范围，即凡依本申请范围所作均等变化与修饰，皆应仍属本技术涵盖范围内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种还原炉电极槽及四氟套清理装置，其特征在于：包括有铰刀刀头、连接管及转动机构，铰刀刀头和连接管均为筒状结构，铰刀刀头与连接管同轴连接，且铰刀刀头朝外凸出于连接管的表面之外；而转动机构与连接管连接形成对连接管及铰刀刀头的旋转驱动结构。

【技术特征摘要】
1.一种还原炉电极槽及四氟套清理装置，其特征在于：包括有铰刀刀头、连接管及转动机构，铰刀刀头和连接管均为筒状结构，铰刀刀头与连接管同轴连接，且铰刀刀头朝外凸出于连接管的表面之外；而转动机构与连接管连接形成对连接管及铰刀刀头的旋转驱动结构。2.根据权利要求1所述的还原炉电极槽及四氟套清理装置，其特征在于：连接管上设置有把手，把手垂直连接于连接管的外壁上。3.根据权利要求1所述的还原炉电极槽及四氟套清理装置，其特征在于：所述铰刀刀头的外侧以及不与连接管相连一端具有朝外伸出的刀齿结构。4.根据权利要求1所述的还原炉电极槽及四氟套清理装置，其特征在于：所述连接管与所述铰刀刀头的顶...

【专利技术属性】
技术研发人员：任长春，蔡延国，何乃栋，吉红平，李超军，杜国栋，丁小海，
申请(专利权)人：亚洲硅业青海有限公司，
类型：新型
国别省市：青海,63