一种基于信息工程的MEMS压力传感器制造技术

本实用新型专利技术公开了一种基于信息工程的MEMS压力传感器，包括保护盒与微控开关，所述保护盒的下端内表面固定安装有杠杆底座，且杠杆底座的上方设置有杠杆，所述杠杆的外表面中间位置处设置有一号活动轴，且杠杆通过一号活动轴与杠杆底座活动连接，所述杠杆的上端外表面一侧固定安装有固定底座，且杠杆上端外表面另一侧设置有弹簧底座，所述弹簧底座的上方设置有二号活动轴与弹簧。本实用新型专利技术所述的一种基于信息工程的MEMS压力传感器，设有微控开关、杠杆与保护盒，在不需要外界对其供电的情况下将压力转换为电信号，且压力测量范围更大，保护盒对整个装置起到了保护作用，避免由于压力过大损坏传感器，带来更好的使用前景。

A MEMS pressure sensor based on Information Engineering

The utility model discloses a MEMS pressure sensor based on information engineering, which comprises a protective box and a micro-control switch. The inner surface of the lower end of the protective box is fixed with a lever base, and the upper part of the lever base is provided with a lever. The middle position of the outer surface of the lever is provided with a first movable shaft, and the lever passes through the first position. The movable shaft is movably connected with the lever base. A fixed base is fixed on one side of the outer surface of the upper end of the lever, and a spring base is arranged on the other side of the outer surface of the upper end of the lever. A No. 2 movable shaft and a spring are arranged above the spring base. A MEMS pressure sensor based on information engineering is described in the utility model, which is equipped with a micro-control switch, a lever and a protective box. The pressure is converted into an electric signal without external power supply, and the pressure measurement range is wider. The protective box protects the whole device from being damaged due to excessive pressure. Sensilla will bring better application prospects.

【技术实现步骤摘要】
一种基于信息工程的MEMS压力传感器
本技术涉及传感器领域，特别涉及一种基于信息工程的MEMS压力传感器。
技术介绍
压力传感器是能感受压力信号，并能按照一定的规律将压力信号转换成可用的输出的电信号的器件或装置，通常由压力敏感元件和信号处理单元组成，是工业实践中最为常用的一种传感器，其广泛应用于各种工业自控环境，涉及水利水电、铁路交通、智能建筑、生产自控、航空航天、军工、石化、油井、电力、船舶、机床、管道等众多行业；传统的压力传感器在使用时存在一定的弊端；如压力信号转换比较麻烦，同时需要提供能量，且可测压力范围较小，另外压力过大时可能造成传感器损坏，为此，我们提出了一种基于信息工程的MEMS压力传感器。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是克服现有技术的缺陷，提供一种基于信息工程的MEMS压力传感器。为了解决上述技术问题，本技术提供了如下的技术方案：本技术一种基于信息工程的MEMS压力传感器，包括保护盒与微控开关，所述保护盒的下端内表面固定安装有杠杆底座，且杠杆底座的上方设置有杠杆，所述杠杆的外表面中间位置处设置有一号活动轴，且杠杆通过一号活动轴与杠杆底座活动连接，所述杠杆的上端外表面一侧固定安装有固定底座，且杠杆上端外表面另一侧设置有弹簧底座，所述弹簧底座的上方设置有二号活动轴与弹簧，且二号活动轴的外表面中间位置处设置有固定圆环，所述保护盒的上端内表面固定安装有活动轴导向块，所述微控开关固定安装于保护盒的一侧内表面，且微控开关的下端内表面设置有固定架，所述固定架的中间位置设置有铁芯导向轴，且铁芯导向轴的内部设置有电磁铁芯，所述铁芯导向轴的上端外表面设置有绝缘转换盒，且绝缘转换盒的一侧内表面设置有固定挡板，所述固定挡板的下端外表面设置有应变片，所述绝缘转换盒的前端内表面设置有信号放大器，所述保护盒的外表面边缘位置处设置有紧固件。优选的，所述二号活动轴贯穿于活动轴导向块与保护盒，且二号活动轴通过弹簧与保护盒活动连接。优选的，所述电磁铁芯贯穿于铁芯导向轴，且电磁铁芯通过铁芯导向轴与绝缘转换盒活动连接。优选的，所述绝缘转换盒的外表面设置有数据传输线，且绝缘转换盒通过数据传输线与微控开关电性连接。优选的，所述所述绝缘转换盒的另一侧内表面设置有导线接口，所述信号放大器的两侧均设有导线，且信号放大器通过导线与导线接口电性连接。优选的，所述保护盒的前端内表面固定安装有信号处理器，所述微控开关通过数据传输线与信号处理器电性连接。本技术所达到的有益效果是：该基于信息工程的MEMS压力传感器，通过设有的微控开关和其内部的绝缘转换盒，在不需要外界对其供电的情况下将压力转换为电信号，另外利用杠杆原理将较大的压力转换变小，使得整个装置能够测量更大的压力，设有的保护盒对整个装置起到了保护作用，避免由于压力过大损坏传感器，整个信息工程的MEMS压力传感器结构简单，操作方便，使用的效果相对于传统方式更好。附图说明附图用来提供对本技术的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本技术的实施例一起用于解释本技术，并不构成对本技术的限制。在附图中：图1是本技术的结构示意图；图2是本技术的局部示意图；图3是本技术的图2中A处的局部放大图；图4是本技术的图3中B处的局部放大图。图中：1、微控开关；2、电磁铁芯；3、固定底座；4、一号活动轴；5、杠杆底座；6、杠杆；7、弹簧底座；8、弹簧；9、固定圆环；10、二号活动轴；11、活动轴导向块；12、数据传输线；13、信号处理器；14、保护盒；15、紧固件；16、铁芯导向轴；17、绝缘转换盒；18、固定架；19、固定挡板；20、应变片；21、信号放大器；22、导线接口。具体实施方式以下结合附图对本技术的优选实施例进行说明，应当理解，此处所描述的优选实施例仅用于说明和解释本技术，并不用于限定本技术。实施例1如图1-4所示，一种基于信息工程的MEMS压力传感器，包括保护盒14与微控开关1，保护盒14的下端内表面固定安装有杠杆底座5，且杠杆底座5的上方设置有杠杆6，杠杆6的外表面中间位置处设置有一号活动轴4，且杠杆6通过一号活动轴4与杠杆底座5活动连接，杠杆6的上端外表面一侧固定安装有固定底座3，且杠杆6上端外表面另一侧设置有弹簧底座7，弹簧底座7的上方设置有二号活动轴10与弹簧8，且二号活动轴10的外表面中间位置处设置有固定圆环9，保护盒14的上端内表面固定安装有活动轴导向块11，微控开关1固定安装于保护盒14的一侧内表面，且微控开关1的下端内表面设置有固定架18，固定架18的中间位置设置有铁芯导向轴16，且铁芯导向轴16的内部设置有电磁铁芯2，铁芯导向轴16的上端外表面设置有绝缘转换盒17，且绝缘转换盒17的一侧内表面设置有固定挡板19，固定挡板19的下端外表面设置有应变片20，绝缘转换盒17的前端内表面设置有信号放大器21，保护盒14的外表面边缘位置处设置有紧固件15。二号活动轴10贯穿于活动轴导向块11与保护盒14，且二号活动轴10通过弹簧8与保护盒14活动连接；电磁铁芯2贯穿于铁芯导向轴16，且电磁铁心2通过铁芯导向轴16与绝缘转换盒17活动连接；绝缘转换盒17的外表面设置有数据传输线12，且绝缘转换盒17通过数据传输线12与微控开关1电性连接；绝缘转换盒17的另一侧内表面设置有导线接口22，信号放大器21的两侧均设有导线，且信号放大器21通过导线与导线接口22电性连接；保护盒14的前端内表面固定安装有信号处理器13，微控开关1通过数据传输线12与信号处理器13电性连接。需要说明的是，本技术为一种基于信息工程的MEMS压力传感器当有一定的压力下压二号活动轴10，二号活动轴10沿着活动轴导向块11向下压缩，通过固定于二号活动轴10表面的固定圆环9压缩弹簧8,再通过弹簧底座7下压杠杆6，由于杠杆6通过一号活动轴4活动安装于杠杆底座5上，所以杠杆6的另一端翘起，此时设置于杠杆6表面的固定底座3压缩微控开关1内部的电磁铁芯2，电磁铁芯2沿着固定于固定架18中间位置的铁芯导向轴16挤压绝缘转换盒17设置于固定挡板19表面的应变片20，电磁铁芯2在线圈中运动，产生感应电流，由于应变片20受到挤压发生形变电阻发生变化，电路电流发生变化，信号放大器21将细微变化的电流捕捉并且放大后通过数据传输线12传送给信号处理器13，信号处理器13进行处理运算显示实时压力大小，紧固件15方便保护盒14的固定，保护盒14对整个装置起到了保护作用，避免由于压力过大损坏传感器，较为实用。最后应说明的是：以上所述仅为本技术的优选实施例而已，并不用于限制本技术，尽管参照前述实施例对本技术进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本技术的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本技术的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基于信息工程的MEMS压力传感器，包括保护盒(14)与微控开关(1)，其特征在于：所述保护盒(14)的下端内表面固定安装有杠杆底座(5)，且杠杆底座(5)的上方设置有杠杆(6)，所述杠杆(6)的外表面中间位置处设置有一号活动轴(4)，且杠杆(6)通过一号活动轴(4)与杠杆底座(5)活动连接，所述杠杆(6)的上端外表面一侧固定安装有固定底座(3)，且杠杆(6)上端外表面另一侧设置有弹簧底座(7)，所述弹簧底座(7)的上方设置有二号活动轴(10)与弹簧(8)，且二号活动轴(10)的外表面中间位置处设置有固定圆环(9)，所述保护盒(14)的上端内表面固定安装有活动轴导向块(11)，所述微控开关(1)固定安装于保护盒(14)的一侧内表面，且微控开关(1)的下端内表面设置有固定架(18)，所述固定架(18)的中间位置设置有铁芯导向轴(16)，且铁芯导向轴(16)的内部设置有电磁铁芯(2)，所述铁芯导向轴(16)的上端外表面设置有绝缘转换盒(17)，且绝缘转换盒(17)的一侧内表面设置有固定挡板(19)，所述固定挡板(19)的下端外表面设置有应变片(20)，所述绝缘转换盒(17)的前端内表面设置有信号放大器(21)，所述保护盒(14)的外表面边缘位置处设置有紧固件(15)。...

【技术特征摘要】
1.一种基于信息工程的MEMS压力传感器，包括保护盒(14)与微控开关(1)，其特征在于：所述保护盒(14)的下端内表面固定安装有杠杆底座(5)，且杠杆底座(5)的上方设置有杠杆(6)，所述杠杆(6)的外表面中间位置处设置有一号活动轴(4)，且杠杆(6)通过一号活动轴(4)与杠杆底座(5)活动连接，所述杠杆(6)的上端外表面一侧固定安装有固定底座(3)，且杠杆(6)上端外表面另一侧设置有弹簧底座(7)，所述弹簧底座(7)的上方设置有二号活动轴(10)与弹簧(8)，且二号活动轴(10)的外表面中间位置处设置有固定圆环(9)，所述保护盒(14)的上端内表面固定安装有活动轴导向块(11)，所述微控开关(1)固定安装于保护盒(14)的一侧内表面，且微控开关(1)的下端内表面设置有固定架(18)，所述固定架(18)的中间位置设置有铁芯导向轴(16)，且铁芯导向轴(16)的内部设置有电磁铁芯(2)，所述铁芯导向轴(16)的上端外表面设置有绝缘转换盒(17)，且绝缘转换盒(17)的一侧内表面设置有固定挡板(19)，所述固定挡板(19)的下端外表面设置有应变片(20)，所述绝缘转换盒(17)的前端内表面设置有信号放大器(21)，所述保护盒(14)的外表面...

【专利技术属性】
技术研发人员：李桂新，张平，
申请(专利权)人：安徽微泰导航电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：安徽,34