一种c向蓝宝石晶棒导向边的定向辅助装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了一种c向蓝宝石晶棒导向边的定向辅助装置，它包括基座、滚轮和三角标记板，基座为直角结构设置在XRD衍射仪测量板后面，滚轮分别呈45度角对称设置在基座两端，三角标记板垂直设置在基座左侧，三角标记板水平方向上设有中线，中线高度与XRD衍射仪测量板对齐。本实用新型专利技术能快速、准确测定蓝宝石晶棒的a向和r向，克服了定向过程中由于蓝宝石晶棒的流转引起效率低的问题。

A directional auxiliary device for guiding C toward sapphire bar

The utility model provides a directional auxiliary device for c-directional sapphire crystal rod guiding edge, which comprises a base, a roller and a triangular marking plate. The base is a right-angled structure arranged behind the measuring plate of the XRD diffractometer. The roller is symmetrically arranged at both ends of the base at 45 degrees, the triangular marking plate is vertically arranged on the left side of the base, and the triangular marking plate is arranged at the rear of the base The center line of the plate is aligned with the XRD diffractometer. The utility model can quickly and accurately determine the direction a and R of the sapphire crystal rod, and overcomes the problem of low efficiency caused by the flow of the sapphire crystal rod during the orientation process.

【技术实现步骤摘要】
一种c向蓝宝石晶棒导向边的定向辅助装置一、
本技术涉及蓝宝石晶棒加工领域，具体涉及一种c向蓝宝石晶棒导向边的定向辅助装置。二、
技术介绍
蓝宝石为α-Al2O3单晶，是由三个氧原子和两个铝原子以共价键型式结合而成，其晶体结构为六方晶格结构。蓝宝石晶体的最高工作温度可达1900℃，具有优异的光学性能、机械性能和化学稳定性。广泛的应用于固体激光、红外窗口、半导体衬底片、发光二极管衬底片等领域。蓝宝石晶体具有各向异性的特点，在不同的方向上晶体的性质不同。蓝宝石衬底晶片是LED产业链的核心环节，由于蓝宝石晶体中r面为非极性面，r面的位置不同会影响蓝宝石器件的力学、热学、电学以及光学性能，以及蓝宝石器件后续加工的一致性和成品率。为了保证晶棒在后续加工过程中具有良好的一致性，选择a向作为导向边，通过a向与r向的位置保持一致来保证蓝宝石晶片的一致性。目前，a向导向边的加工过程为：将晶棒垂直放置在XRD衍射仪上通过旋转晶棒确定出两种a向并标示在晶棒端面，然后在晶棒端面确定r向，最后根据r向要求选择a向进行导向边的加工。这种方法过程繁琐，需要两台XRD衍射仪以及两套工装夹具配合定向才能确定导向边的方向，会极大浪费设备利用率和操作时间，影响加工效率。三、
技术实现思路
本技术的目的是克服现有技术流程中存在的不足，提供一种高精度、高效率的一种c向蓝宝石晶棒导向边的定向辅助装置。本技术的目的是这样实现的：定向辅助装置包括基座4、滚轮3和三角标记板2，基座为直角结构设置在XRD衍射仪测量板后面，滚轮分别呈45度角对称设置在基座两端，三角标记板垂直设置在基座左侧，三角标记板水平方向上设有中线1，中线高度与XRD衍射仪测量板对齐。本技术还有这样一些特征：1.所述辅助装置可适用于不同长度晶棒。2.所述滚轮对称设置于三角标记板垂直边侧和尖角侧；滚轮与三角标记板中线的距离为三角标记板底边的一半。本技术的有益效果有：1.本技术能快速、准确测定蓝宝石晶棒的a向和r向。2.本技术克服了定向过程中由于蓝宝石晶棒的流转引起效率低的问题。3.本技术采用一台XRD衍射仪和辅助装置，通过旋转晶棒即可完成a向和r向的确定。附图说明图1为本技术辅助装置装配图；图2为本技术辅助装置正视图；图3为本技术辅助装置俯视图；图4为本技术辅助装置侧视图。具体实施方式下面结合附图和具体实施方式对本专利技术进行详细说明。结合图1-4，本实施例包括基座4、滚轮3和三角标记板2，基座为直角结构设置在XRD衍射仪测量板后面，滚轮分别呈45度角对称设置在基座两端，三角标记板垂直设置在基座左侧，三角标记板水平方向上设有中线1，中线高度与XRD衍射仪测量板对齐。本实施例具体步骤如下：（1）将辅助装置4安装于XRD衍射仪测量板后面的样品台上，三角板中线1对齐XRD衍射仪测量板。（2）调节XRD衍射仪，将XRD衍射仪的入射角θ调节为18°55′，反射角2θ调节为37°50′。（3）将蓝宝石晶棒放置在辅助装置上，如图1所示，晶棒左侧靠紧三角标记板2，旋转晶棒找到a面X射线起峰的位置，在晶棒左侧按照三角板形状标记。（4）将调节XRD衍射仪，将XRD衍射仪的入射角θ调节为9°12′，反射角2θ调节为83°12′。（5）旋转晶棒找到r面X射线起峰的位置，在晶棒左侧按照三角标记板中线1标记一条直线。（6）根据a向对r向的特殊要求，例如，导向边的选择为a向在r向顺时针90°处。（7）采用平面磨床加工S6中标记的导向边。以上内容是结合具体的优选实施方式对本技术所做的进一步详细说明，不能认定本技术的具体实施只限于这些说明。对于具有本技术所属领域基础知识的人员来讲，可以很容易对本技术进行变更和修改，这些变更和修改都应当视为属于本技术所提交的权利要求书确定的专利保护范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种c向蓝宝石晶棒导向边的定向辅助装置，其特征在于它包括基座、滚轮和三角标记板，基座为直角结构设置在XRD衍射仪测量板后面，滚轮分别呈45度角对称设置在基座两端，三角标记板垂直设置在基座左侧，三角标记板水平方向上设有中线，中线高度与XRD衍射仪测量板对齐。

【技术特征摘要】
1.一种c向蓝宝石晶棒导向边的定向辅助装置，其特征在于它包括基座、滚轮和三角标记板，基座为直角结构设置在XRD衍射仪测量板后面，滚轮分别呈45度角对称设置在基座两端，三角标记板垂直设置在基座左侧，三角标记板水平方向上设有中线，中线高度与XRD衍射仪测量板对...

【专利技术属性】
技术研发人员：左洪波，杨鑫宏，李铁，阎哲华，
申请(专利权)人：哈尔滨奥瑞德光电技术有限公司，
类型：新型
国别省市：黑龙江,23