【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】隔膜阀
本专利技术涉及隔膜，特别涉及进行高压流体的供给控制的隔膜阀。
技术介绍
作为控制抗蚀液等的药液的流通的阀而使用隔膜阀。隔膜阀是使用作为挠性膜的隔膜的阀。隔膜阀由于利用挠性膜的弹性变形发挥功能，所以在高压流体的控制中，由于过度的弹性变形而存在耐久性下降的问题。具体而言，由于高压流体的控制而存在隔膜的一部分永久变形(延伸)的问题。对于这样的问题，还提出了将隔膜的变形部在背撑支承的技术(专利文献1等)。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2011-237039号公报专利文献2：日本特开2010-164130号公报专利文献3：日本特开2006-189117号公报
技术实现思路
专利技术所要解决的技术课题但是，本申请的专利技术者重新审视了隔膜的永久变形的本质性的原因，进行了将起因于高压的液压的隔膜的变形向载荷的流动或应力的变换形态的各种尝试。由此，本申请的专利技术者成功地将可作为隔膜阀的控制对象的压力范围向高压侧较大地扩大。本专利技术是鉴于这样的状况而做出的，其目的在于，提供一种将可作为隔膜阀的控制对象的压力范围向高压侧扩大的技术。解决课题所采用的技术手段本专利技术...
【技术保护点】
1.一种隔膜阀，其具备：第1阀壳体，形成有第1流路的开口部、第1抵接面、以及环状凹部，上述第1抵接面形成在将上述开口部的周围包围的位置，上述环状凹部形成在将上述第1抵接面的周围包围的位置；隔膜，形成有第2抵接面和封闭部，上述第2抵接面与上述第1抵接面对置，上述封闭部形成在将上述第2抵接面包围的位置；驱动部件，相对于上述隔膜被配置在与上述第1抵接面相反的一侧，通过从上述相反侧推压上述隔膜，使上述第2抵接面抵接在上述第1抵接面上，将上述开口部紧闭；以及第2阀壳体，将上述驱动部件以能够在上述推压的方向上移动的方式保持，通过将上述封闭部夹持在上述第2阀壳体与上述第1阀壳体之间，将能...
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2016.02.18 JP 2016-0294001.一种隔膜阀，其具备：第1阀壳体，形成有第1流路的开口部、第1抵接面、以及环状凹部，上述第1抵接面形成在将上述开口部的周围包围的位置，上述环状凹部形成在将上述第1抵接面的周围包围的位置；隔膜，形成有第2抵接面和封闭部，上述第2抵接面与上述第1抵接面对置，上述封闭部形成在将上述第2抵接面包围的位置；驱动部件，相对于上述隔膜被配置在与上述第1抵接面相反的一侧，通过从上述相反侧推压上述隔膜，使上述第2抵接面抵接在上述第1抵接面上，将上述开口部紧闭；以及第2阀壳体，将上述驱动部件以能够在上述推压的方向上移动的方式保持，通过将上述封闭部夹持在上述第2阀壳体与上述第1阀壳体之间，将能够与上述开口部连通的流路空间封闭，上述隔膜具有弹性连结部，该弹性连结部将上述第2抵接面与上述封闭部连结，并且进行弹性变形，以使上述第2抵接面能够相对于上述封闭部向...
【专利技术属性】
技术研发人员：锅井立视，中村雪惠，高野纱弓，
申请(专利权)人：CKD株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP
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