一种光学指纹传感器制造技术

本实用新型专利技术涉及一种光学指纹传感器，在光学传感像素之上至少两层遮罩层，遮罩层包括至少一个透光区，不同层的所述透光区可供光线通过到达所述光线传感元件形成光学隧道；相对现有技术的技术进步是：1、遮罩层可直接在芯片像素之上制作金属层，因此遮罩层可以很薄；2、遮罩层能够引导垂直于遮罩层的光线进入光学传感器，以提高图像质量。

【技术实现步骤摘要】
一种光学指纹传感器
本技术涉及一种光学指纹传感器，尤其涉及具有光学隧道作为光路的光学指纹传感器。
技术介绍
指纹传感器目前主要分为两类，即光学指纹传感器和电容式指纹传感器。电容式指纹传感器是通过测量指纹谷线、脊线与平面传感电极阵列单元之间形成的耦合电容的大小差异来对指纹成像。当传感电极阵列与手指之间的介质层越厚的时候，电容会衰减，传感器的成像也会越模糊。由于技术的发展，商用指纹传感器在传感电极和目标电极之间的介质层厚度从10um量级增加到100um量级。更有甚者，考虑到手机屏幕的工业设计的完整性，希望指纹传感器能直接穿透屏幕玻璃，也就是厚度1mm-2mm的化学强化玻璃。所以，光学指纹传感器的穿透力较之电容式指纹传感器具有非常大的优势，但传统的光学指纹传感器应用在手机等智能设备上时，有个很大的缺点即光学指纹传感器的厚度通常较大，因为光学指纹传感器通常需要将手指放在光学镜片上，手指在内置光源照射下，光线在手指表面指纹凹凸不平的线纹上折射的角度及反射回去的光线明暗就不一样，形成光强空间分布图像，然后在CCD器件上，得到多灰度指纹图像，由于需要透镜等光学结构，导致光程长，总体厚度大，不利于手本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种光学指纹传感器，其特征在于，包括：界面，可供光线穿过并提供手指接触的表面；发光层，置于所述界面下方可供光线穿过，用于发出可穿过所述界面的光线；光学隧道，可供特定角度的光线穿过；光学传感元件，置于所述光学隧道的下方，用于接收穿过所述光学隧道的光线并将光能量转换成电信号。

【技术特征摘要】
1.一种光学指纹传感器，其特征在于，包括：界面，可供光线穿过并提供手指接触的表面；发光层，置于所述界面下方可供光线穿过，用于发出可穿过所述界面的光线；光学隧道，可供特定角度的光线穿过；光学传感元件，置于所述光学隧道的下方，用于接收穿过所述光学隧道的光线并将光能量转换成电信号。2.根据权利要求1所述的一种光学指纹传感器，其特征在于，还包括光学滤层，光学滤层使特定光谱的光线通过；所述滤层的位置包括但不限定于，界面上方/光学隧道上方界面下方/光学传感元件上方光学隧道下方。3.根据权利要求1所述的一种光学指纹传感器，其特征在于，所述光学传感元件之上形成至少两层遮罩层，遮罩层包括至少一个透光区和在透光区外围的遮光区；各层的所述透光区形成可供特定角度的光线进入的光学隧道。4.根据权利要求3所述的一种光学指纹传感器，其特征在于，所述遮罩层的遮光区为形成在光学传感元件之上的非透光层。5.根据权利要求4所述的一种光学指...

【专利技术属性】
技术研发人员：李扬渊，
申请(专利权)人：苏州迈瑞微电子有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32