风压误报警消除装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种风压误报警消除装置，风压误报警消除装置包括：工作腔室；风管，风管的一端与工作腔室连通且另一端与风管厂务端连通；压力检测装置，与工作腔室连通以检测工作腔室内的压力，压力检测装置包括：传感器压力表，用于检测工作腔室内的压力，传感器压力表内气压从工作范围内的值变化到工作范围极限值的时间为T1，工作腔室内气压从工作范围内的值短暂超出工作范围极限值后再恢复到工作范围内的时间为T2；调节阀，与传感器压力表相连，且调节阀调节传感器压力表与工作腔室之间的气体流动速度以使T1和T2满足：T1>T2。根据本实用新型专利技术的风压误报警消除装置，有利于解决排风管道内部正常瞬时压力波动对厂务系统造成误报警的问题。

【技术实现步骤摘要】
风压误报警消除装置
本技术涉及半导体制造
，特别是涉及一种风压误报警消除装置。
技术介绍
相关技术中，在工业生产过程中，工作腔室需要维持一定的压力，腔室压力测量装置是维持压力稳定，保证产品质量的重要因素。现有设备中，压力测量装置具有工作腔室、风管、压力表、检测管。风管一端连通工作腔室，另一端连通厂务风压系统；检测管连接压力表和工作腔室。然而，上述压力测量装置存在一定的不足：工作腔室由于物料进出、管道被水等瞬时堵塞、厂务压力瞬时波动等因素，工作腔室内压力短暂超出工作范围，虽然不会影响产品生产质量，但却会触发压力检测装置造成误报警，造成设备停机。
技术实现思路
本技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本技术提出一种风压误报警消除装置，所述风压误报警消除装置可消除由于瞬时压力波动造成的风压误报警，成本降低。根据本技术实施例的风压误报警消除装置，包括：工作腔室；风管，所述风管的一端与所述工作腔室连通且另一端与风管厂务端连通；压力检测装置，所述压力检测装置与所述工作腔室连通以检测所述工作腔室内的压力，所述压力检测装置包括：传感器压力表，所述传感器压力表用于检测所述工作腔室内的压力，本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种风压误报警消除装置，其特征在于，包括：工作腔室；风管，所述风管的一端与所述工作腔室连通且另一端与风管厂务端连通；压力检测装置，所述压力检测装置与所述工作腔室连通以检测所述工作腔室内的压力，所述压力检测装置包括：传感器压力表，所述传感器压力表用于检测所述工作腔室内的压力，所述传感器压力表内气压从工作范围内的值变化到工作范围极限值的时间为T1，所述工作腔室内气压从工作范围内的值短暂超出工作范围极限值后再恢复到工作范围内的时间为T2；调节阀，所述调节阀与所述传感器压力表相连，且所述调节阀调节所述传感器压力表与所述工作腔室之间的气体流动速度以使T1和T2满足：T1>T2。

【技术特征摘要】
1.一种风压误报警消除装置，其特征在于，包括：工作腔室；风管，所述风管的一端与所述工作腔室连通且另一端与风管厂务端连通；压力检测装置，所述压力检测装置与所述工作腔室连通以检测所述工作腔室内的压力，所述压力检测装置包括：传感器压力表，所述传感器压力表用于检测所述工作腔室内的压力，所述传感器压力表内气压从工作范围内的值变化到工作范围极限值的时间为T1，所述工作腔室内气压从工作范围内的值短暂超出工作范围极限值后再恢复到工作范围内的时间为T2；调节阀，所述调节阀与所述传感器压力表相连，且所述调节阀调节所述传感器压力表与所述工作腔室之间的气体流动速度以使T1和T2满足：T1>T2。2.根据权利要求1所述的风压误报警消除装置，其特征在于，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：许振杰，姚宇，贾弘源，董兵超，崔凯，尹士龙，王同庆，路新春，
申请(专利权)人：清华大学，天津华海清科机电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：北京,11