光接收模块及光模块制造技术

本发明专利技术的目的在于有效地吸收串扰噪声。光接收模块(10)具有：多个受光元件(12)，其分别具有施加偏压的第一电极(16)及第二电极(18)，且将输入的光信号(LS)转换成电信号(ES)并从第一电极(16)输出电信号(ES)；以及载体(20)，其具有与多个受光元件(12)的每一个电连接的配线图案(22)，且支撑多个受光元件(12)。配线图案(22)含有电连接于第一电极(16)的第一配线线路(26)和电连接于第二电极(18)的第二配线线路(28)。第二配线线路(28)至少在与连接的受光元件重叠的位置具有电阻值比其它部分高的高电阻部(30)，且至少在与多个受光元件(12)的任一个均不重叠的位置具有电阻值比高电阻部(30)低的低电阻部(32)。

【技术实现步骤摘要】
光接收模块及光模块
本专利技术涉及光接收模块及光模块。
技术介绍
随着光接收模块的小型、高功能化，逐渐开始使用在一个封装体内收纳有多个受光元件的形态的光接收模块(专利文献1)。随着光接收模块的小型化，开始相邻地配置多个受光元件。例如，使用在同一基板上集成多个受光元件的受光元件阵列。多个受光元件以向下连接的方式搭载于子底座。在子底座设有与各受光元件对应的阳极配线(信号配线)和阴极配线(偏压配线)。阳极配线以及阴极配线连接于具备放大器的集成电路等(专利文献2)。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2015－96878号公报专利文献2：日本特开2014－192510号公报专利文献3：日本特开2000－82806号公报专利文献4：日本特开2003－14994号公报非专利文献非专利文献1：M.Shishikuraetal.,“10-Gbit/sperchannelparallelopticaltransmitterandreceivermoduleforhigh-capacityinterconnects,”Proc.The53thElectronicComponentsandTechnologyConference,pp.1040-1045(2003)
技术实现思路
专利技术所要解决的课题近年来，进一步推进小型化，相邻的受光元件间或配线间的电串扰成为课题(专利文献3及4以及非专利文献1)。由于串扰，高频特性降低。特别地，受光元件由介电常数比空气高的材料(InP、GaAs、SiGe等半导体材料)构成，因此成为容量成分的主要因素。由于本来优选相互电独立的受光元件接近，从而相邻的配线经由受光元件引起电结合，导致特性变差。本专利技术的目的在于有效地吸收串扰噪声。用于解决课题的方案(1)本专利技术的光接收模块的特征在于，具有：多个受光元件，其分别具有施加偏压的第一电极及第二电极，且将输入的光信号转换成电信号并从上述第一电极输出上述电信号；以及载体，其具有与多个上述受光元件的每一个电连接的配线图案，且以使上述第一电极及上述第二电极与上述配线图案对置的方式支撑多个上述受光元件，上述配线图案含有电连接于上述第一电极的第一配线线路和电连接于上述第二电极的第二配线线路，上述第二配线线路至少在与连接的上述受光元件重叠的位置具有电阻值比其它部分高的高电阻部，且至少在与多个上述受光元件的任一个均不重叠的位置具有电阻值比上述高电阻部低的低电阻部。根据本专利技术，将第二配线线路的高电阻部至少配置于与连接的受光元件重叠的位置，即靠近受光元件的位置，因此，能够有效地吸收串扰噪声。(2)根据(1)所述的光接收模块，其特征在于，也可以上述第二配线线路在与连接的上述受光元件重叠的上述位置也具有上述低电阻部。(3)根据(1)或(2)所述的光接收模块，其特征在于，也可以上述第二配线线路含有一对第二配线线路，一对上述第二配线线路分别具有上述高电阻部，上述第一配线线路配置于一对上述第二配线线路之间。(4)根据(3)所述的光接收模块，其特征在于，也可以一对上述第二配线线路各自的上述高电阻部的电阻值大致一致。(5)根据(1)至(4)中任一项所述的光接收模块，其特征在于，也可以与多个上述受光元件的每一个连接的上述第二配线线路与连接于相邻的上述受光元件的上述第二配线线路相邻。(6)根据(1)或(2)所述的光接收模块，其特征在于，也可以与多个上述受光元件的每一个连接的上述第二配线线路与连接于相邻的上述受光元件的上述第一配线线路相邻。(7)根据(1)至(6)中任一项所述的光接收模块，其特征在于，也可以多个上述受光元件一体地集成于一个芯片。(8)根据(1)至(6)中任一项所述的光接收模块，其特征在于，也可以多个上述受光元件是分别分离的多个芯片。(9)根据(1)至(6)中任一项所述的光接收模块，其特征在于，也可以上述载体是一体地支撑多个上述受光元件的一个载体。(10)根据(1)至(9)中任一项所述的光接收模块，其特征在于，也可以还具有放大器，上述放大器施加用于对多个上述受光元件的每一个施加上述偏压的电压，并用于从多个上述受光元件的每一个输入上述电信号进行放大。(11)本专利技术的光模块的特征在于，具有：内置(1)至(10)中任一项记载的光接收模块的光接收组件；以及输出从输入的电信号转换成的光信号的光发送组件。附图说明图1是应用了本专利技术的第一实施方式的光模块的分解立体图。图2是应用了本专利技术的第一实施方式的光接收模块的一部分分解立体图。图3是表示具有多个受光元件的芯片的底面的图。图4是表示图2所示的光接收模块的等效电路的图。图5是应用了本专利技术的第二实施方式的光接收模块的一部分分解立体图。图6是表示图5所示的光接收模块的等效电路的图。图7是应用了本专利技术的第三实施方式的光接收模块的一部分分解立体图。图8是应用了本专利技术的第四实施方式的光接收模块的一部分分解立体图。图中：10—光接收模块，12—受光元件，12a—受光部，14—芯片，16—第一电极，18—第二电极，20—载体，22—配线图案，24—焊锡球，26—第一配线线路，28—第二配线线路，28a—第二配线线路，30—高电阻部，32—低电阻部，34—放大器，36—电源，38—放大电路，40—放大器侧偏压焊盘，42—放大器侧信号焊盘，44—平板电容器，46—电源焊盘，48—平板电容器，50—电源焊盘，52—输出焊盘，54—配线基板，56—信号图案，58—通孔，60—GND图案，62—GND焊盘，64—电流源，66—内部容量，100—光模块，102—电接口，104—光接口，106—壳，110—光发送组件，120—光接收组件，212—受光元件，218—第二电极，222—配线图案，226—第一配线线路，228—第二配线线路，230—高电阻部，238—放大电路，264—电流源，312—多个受光元件，320—载体，334—放大器，368—基板，414芯片，420—载体，434—放大器，444—平板电容器，BC—偏压电流，ES—电信号，LS—光信号，N—串扰噪声。具体实施方式以下，参照附图，对本专利技术的实施方式进行说明。此外，对于附图，对相同或相似的要素标注相同的符号，省略重复的说明。[第一实施方式]图1是应用了本专利技术的第一实施方式的光模块的分解立体图。光模块100具有用于将电信号转换成光信号的光发送组件110(TOSA：TransmitterOpticalSub-Assembly)和用于将光信号转换成电信号的光接收组件120(ROSA：ReceiverOpticalSub-Assembly)。在发送侧，将从未图示的主基板传送的电信号通过电接口102并通过光模块100内的电路而转换成光信号，并将其从光学的接口104发送。在接收侧，接收光信号，且向未图示的主侧基板输出电信号。光模块100具有由一对半壳构成的壳106、108，且在其内部收纳电子元件。图2是应用了本专利技术的第一实施方式的光接收模块的一部分分解立体图。图2所示的光接收模块10配置于图1所示的光接收组件120的内部。光接收模块10含有多个受光元件12一体集成而成的芯片14(PD(Photodiode)阵列等)。图3是表示具有多个受光元件12的芯片14的底面的图。光接收模块10具有受光元件12(例如，光本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种光接收模块，其特征在于，具有：多个受光元件，其分别具有施加偏压的第一电极及第二电极，且将输入的光信号转换成电信号并从上述第一电极输出上述电信号；以及载体，其具有与多个上述受光元件的每一个电连接的配线图案，且以使上述第一电极及上述第二电极与上述配线图案对置的方式支撑多个上述受光元件，上述配线图案含有电连接于上述第一电极的第一配线线路和电连接于上述第二电极的第二配线线路，上述第二配线线路至少在与连接的上述受光元件重叠的位置具有电阻值比其它部分高的高电阻部，且至少在与多个上述受光元件的任一个均不重叠的位置具有电阻值比上述高电阻部低的低电阻部。

【技术特征摘要】
2017.03.14 JP 2017-0485671.一种光接收模块，其特征在于，具有：多个受光元件，其分别具有施加偏压的第一电极及第二电极，且将输入的光信号转换成电信号并从上述第一电极输出上述电信号；以及载体，其具有与多个上述受光元件的每一个电连接的配线图案，且以使上述第一电极及上述第二电极与上述配线图案对置的方式支撑多个上述受光元件，上述配线图案含有电连接于上述第一电极的第一配线线路和电连接于上述第二电极的第二配线线路，上述第二配线线路至少在与连接的上述受光元件重叠的位置具有电阻值比其它部分高的高电阻部，且至少在与多个上述受光元件的任一个均不重叠的位置具有电阻值比上述高电阻部低的低电阻部。2.根据权利要求1所述的光接收模块，其特征在于，上述第二配线线路在与连接的上述受光元件重叠的上述位置也具有上述低电阻部。3.根据权利要求1所述的光接收模块，其特征在于，上述第二配线线路含有一对第二配线线路，一对上述第二配线线路分别具有上述高电阻部，上述第一配线线路配置于一对上述第二配线线路之间。4.根据权利要求3所述的光接收模块，其特征在于，一对上述第二配线线路各自的上述高电阻部的电阻值大致一致。5.根据权利要求1所述的光接收模块，其特征在于，与多个上述受光元件的每一个连接的上述第二配线线路，与连接于相邻的上述受光元件的上述第二配线线路相邻。6.根据权利要求1所述的光接收模块，其特征在于，与多个...

【专利技术属性】
技术研发人员：坂卓磨，小松和弘，
申请(专利权)人：日本奥兰若株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP