正型感光性树脂组合物、显示器件及其图案形成方法技术

技术编号:19022431 阅读:52 留言:0更新日期:2018-09-26 18:49
本发明专利技术涉及正型感光性树脂组合物、显示器件及其图案形成方法,更详细地,涉及包含a)下述化学式1或化学式2的1,2‑醌二叠氮化合物;b)丙烯酸类共聚物;c)硅烷偶联剂;以及d)溶剂的正型感光性树脂组合物,所述化学式1的R1、化学式2的R3分别独立地为氢原子或1,2‑醌二叠氮类磺酸酯,化学式1的R2、化学式2的R4分别独立地表示氢原子或碳数为1至20的烃基,所述R1、R3中的至少一个为1,2‑醌二叠氮类磺酸酯。化学式1:

【技术实现步骤摘要】
正型感光性树脂组合物、显示器件及其图案形成方法
本专利技术涉及正型感光性树脂组合物(POSITIVEPHOTOSENSITIVERESINCOMPOSITION),更详细地,涉及具有优秀的分辨率、固化工序范围、耐热变色性、耐热性等,尤其具有优秀的灵敏度、透明性,且使粘结力得到显著提高并适于形成液晶显示器(LCD)及有机发光二极管(OLED)的制造工序的层间绝缘膜及像素定义层(PDL,PixelDefineLayer)、柱间隔(ColumnSpacer)等的感光性树脂组合物。
技术介绍
通常,平板显示器作为目前使用范围广泛的显示器,具有液晶显示器(Liquidcrystaldisplay:LCD)和有机发光二极管(Organiclightemittingdisplay:OLED)等多种种类。在薄膜晶体管(TFT)型液晶显示器和有机发光二极管的制造工序中,为了对配置于层间的配线之间进行绝缘而使用层间绝缘膜。尤其,最近随着开发出高速响应、高分辨率装置(Device),而需要高开口率及低电阻的配线技术。为此,因减少电路的宽度且形成高的厚度而呈现使薄膜晶体管的高度差变大的趋势。在此情况下,为了平坦度而所适用的层间绝缘膜的厚度上升,但这造成使灵敏度、透明性下降的原因,从而使面板(Panel)的生产性及质量下降。因此,急需开发灵敏度、透明性优秀的绝缘膜。
技术实现思路
因此,本专利技术的目的在于,提供具有优秀的分辨率、固化工序范围、耐热变色性、耐热性,尤其具有优秀的灵敏度、透明性,且使粘结力得到显著提高并适于形成液晶显示器及有机发光二极管的制造工序的层间绝缘膜及像素定义层、柱间隔等的感光性树脂组合物。并且,本专利技术的再一目的在于,提供包括所述感光性树脂组合物的固化物的液晶显示器和有机发光二极管基板。并且,本专利技术的另一目的在于,利用所述感光性树脂组合物的显示器基板的图案形成方法。为了实现如上所述的目的,本专利技术提供包含a)下述化学式1或化学式2的1,2-醌二叠氮化合物;b)丙烯酸类共聚物;c)硅烷偶联剂;以及d)溶剂的感光性树脂组合物。化学式1:所述化学式1的R1分别独立地为氢原子或1,2-醌二叠氮类磺酸酯,R2分别独立地表示氢原子、碳数为1至20的烃基,R1中的至少一个为1,2-醌二叠氮类磺酸酯。化学式2:所述化学式2的R3分别独立地为氢原子或1,2-醌二叠氮类磺酸酯,R4分别独立地表示氢原子、碳数为1至20的烃基,R3中的至少一个为1,2-醌二叠氮类磺酸酯。本专利技术所使用的正型感光性树脂组合物具有优秀的分辨率、固化工序范围、耐热变色性、耐热性,尤其具有优秀的灵敏度、透过性,因此可提供使粘结力得到显著提高并适于形成液晶显示器及有机发光二极管的制造工序的层间绝缘膜及像素定义层、柱间隔等的感光性树脂组合物。并且,提供包括所述感光性树脂组合物的固化物的液晶显示器和有机发光二极管基板、以及利用所述感光性树脂组合物的显示器基板的图案形成方法。所述图案可用作薄膜场效应晶体管液晶显示器(TFT-LCD)、触摸屏面板(TSP,TouchScreenPanel)、有机发光二极管、有机薄膜场效应晶体管(O-TFT)、电泳显示器(EPD)、电润湿显示器(EWD)等的钝化绝缘膜、栅极绝缘膜、平坦化膜、柱间隔、隔膜等材料。具体实施方式以下,详细说明本专利技术。本专利技术涉及可使用于配置于液晶显示器和有机发光二极管等的层间的层间绝缘膜、钝化绝缘膜、栅极绝缘膜、护膜、柱间隔、像素定义层、隔膜等多种领域的感光性树脂组合物。本专利技术的正型感光性树脂组合物包含:a)下述化学式1或化学式2的1,2-醌二叠氮化合物;b)丙烯酸类共聚物;c)硅烷偶联剂;以及d)溶剂。化学式1:所述化学式1的R1分别独立地为氢原子或1,2-醌二叠氮类磺酸酯,R2分别独立地为氢原子、碳数为1至20的烃基,优选地,表示碳数为1至20的烷基或碳数为6至20的芳香族基,更优选地,表示碳数为1至15的烷基或碳数为6至15的芳香族基,所述R1中的至少一个为1,2-醌二叠氮类磺酸酯。化学式2:所述化学式2的R3分别独立地为氢原子或1,2-醌二叠氮类磺酸酯,R4分别独立地为氢原子、碳数为1至20的烃基,优选地,表示碳数为1至20的烷基或碳数为6至20的芳香族基,更优选地,表示碳数为1至15的烷基或碳数为6至15的芳香族基,所述R3中的至少一个为醌二叠氮类磺酸酯。在本专利技术中使用的所述a)的由化学式1或化学式2表示的1,2-醌二叠氮化合物作为感光性化合物(PhotoActiveCompound:PAC),作为所述化学式1或化学式2的1,2-醌二叠氮类磺酸酯的具体的例,有1,2-醌二叠氮4-磺酸酯、1,2-醌二叠氮5-磺酸酯、1,2-醌二叠氮6-磺酸酯等,作为更具体的例,为具有下述化学式3(*是指结合部)的结构的1,2-醌二叠氮5-磺酸酯。1,2-醌二叠氮化合物在曝光时释放氮分子来在分子内生成羧酸基,从而提高对感光性树脂膜的碱显影液的溶解性,抑制未曝光部位的感光性树脂膜的碱溶解性,由此,可形成正型图案。化学式3:例如,所述化学式1或化学式2的1,2-醌二叠氮化合物通过使1,2-醌二叠氮5-磺酸卤素化合物与苯酚化合物在弱碱条件下进行反应来制备而成。相对于100重量份的b)丙烯酸类共聚物,包含5重量份至50重量份的化学式1或化学式2的1,2-醌二叠氮化合物,优选地,包含10重量份至40重量份的化学式1或化学式2的1,2-醌二叠氮化合物,更优选地,包含15重量份至30重量份的化学式1或化学式2的1,2-醌二叠氮化合物。在其含量小于5重量份的情况下,因曝光部的溶解度与非曝光部的溶解度之差变小而难以形成图案,在其含量大于50重量份的情况下,当在短时间内照射光时,残留大量的未反应的1,2-醌二叠氮类磺酸酯化合物,从而因对作为显影液的碱水溶液的溶解度过低而存在难以显影的问题。本专利技术的所述b)的丙烯酸类共聚物通过对作为单体的i)不饱和羧酸、不饱和羧酸酐或它们的混合物、ii)含有环氧基的不饱和化合物以及iii)烯烃类不饱和化合物进行聚合来制备而成,例如,可通过在溶剂及聚合引发剂的存在下对如上所述的单体进行基团反应来制备丙烯酸类共聚物。作为所述i)的不饱和羧酸、不饱和羧酸酐或它们的的混合物,可将丙烯酸(acrylicacid)、甲基丙烯酸(methacrylicacid)等不饱和单羧酸;马来酸(maleicacid)、富马酸(fumaricacid)、柠康酸(citraconicacid)、介康酸(methaconicacid)、衣康酸(itaconicacid)等不饱和二羧酸;或它们的不饱和二羧酸的酸酐等单独使用或混合两种以上来使用,尤其,对于对共聚合反应性和作为显影液的碱水溶液的溶解性,使用丙烯酸、甲基丙烯酸或无水马来酸为更优选。相对于总单体,包含5重量份至40重量份的所述不饱和羧酸、不饱和羧酸酐或它们的混合物,优选地,包含10重量份至30重量份的所述不饱和羧酸、不饱和羧酸酐或它们的混合物。在其含量小于5重量份的情况下,存在难以溶解于碱水溶液的问题,在其含量大于40重量份的情况下,存在对碱水溶液的溶解性过大的问题。作为所述ii)的含有环氧基的不饱和化合物,可将丙烯酸缩水甘油酯(glycidylacrylate)、甲基丙烯酸缩本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种正型感光性树脂组合物,其特征在于,包含:a)下述化学式1或化学式2的1,2‑醌二叠氮化合物;b)丙烯酸类共聚物;c)硅烷偶联剂;以及d)溶剂,化学式1:

【技术特征摘要】
2017.03.09 KR 10-2017-00302911.一种正型感光性树脂组合物,其特征在于,包含:a)下述化学式1或化学式2的1,2-醌二叠氮化合物;b)丙烯酸类共聚物;c)硅烷偶联剂;以及d)溶剂,化学式1:所述化学式1的R1分别独立地为氢原子或1,2-醌二叠氮类磺酸酯,R2分别独立地表示氢原子或碳数为1至20的烃基,所述R1中的至少一个为1,2-醌二叠氮类磺酸酯,化学式2:所述化学式2的R3分别独立地为氢原子或1,2-醌二叠氮类磺酸酯,R4分别独立地表示氢原子或碳数为1至20的烃基,所述R3中的至少一个为1,2-醌二叠氮类磺酸酯。2.根据权利要求1所述的正型感光性树脂组合物,其特征在于,包含:a)5重量份至50重量份的所述化学式1或化学式2的1,2-醌二叠氮化合物;b)100重量份的丙烯酸类共聚物;c)0.1重量份至30重量份的硅烷偶联剂;以及d)溶剂,以使感光性树脂组合物中的固体成分的含量达到10重量百分比至50重量百分比。3.根据权利要求1所述的正型感光性树脂组合物,其特征在于,所述1,2-醌二叠氮类磺酸酯为选自由1,2-醌二叠氮4-磺酸酯、1,2-醌二叠氮5-磺酸酯及1,2-醌二叠氮6-磺酸酯组成的组中的一种以上。4.根据权利要求1所述的正型感光性树脂组合物,其特征在于,所述1,2-醌二叠氮类磺酸酯为1,2-醌二叠氮5-磺酸酯。5.根据权利要求2所述的正型感光性树脂组合物,其特征在于,所述丙烯酸类共聚物通过对i)5重量份至40重量份的不饱和羧酸、不饱和羧酸酐或它们的混合物、ii)10重量份至70重量份的含有环氧基的不饱和化合物、以及iii)5重量份至70重量份的烯烃类不饱和化合物进行共聚合来制备而成。6.根据权利要求5所述的正型感光性树脂组合物,其特征在于,所述ⅰ)不饱和羧酸、不饱和羧酸酐或它们的酸酐选自由丙烯酸、甲基丙烯酸、马来酸、富马酸、柠康酸、介康酸、衣康酸及它们的不饱和二羧酸的酸酐组成的组中的一种以上。7.根据权利要求5所述的正型感光性树脂组合物,其特征在于,所述ii)的含有环氧基的不饱和化合物选自由丙烯酸缩水甘油酯、甲基丙烯酸缩水甘油酯、α-乙基丙烯酸缩水甘油酯、α-正丙基丙烯酸缩水甘油酯、α-正丁基丙烯酸缩水甘油酯、丙烯酸-β-甲基缩水甘油酯、甲基丙烯酸-β-甲基缩水甘油酯、丙烯酸-β-乙基缩水甘油酯、甲基丙烯酸-β-乙基缩水甘油酯、丙烯酸-3,4-环氧丁酯、甲基丙烯酸-3,4-环氧丁酯、丙烯酸-6,7-环氧庚酯、甲基丙烯酸-6,7-环氧庚酯、α-乙基丙烯酸-6,7-环氧庚酯、邻乙烯基节基缩水甘油醚、间乙烯基苄基缩水甘油醚、对乙烯基苄基缩水甘油醚及3,4-环氧环己基甲基丙烯酸酯组成的组中的一种以上。8.根据权利要求5所述的正型感光性树脂组合物,其特征在于,所述iii)的烯烃类不饱和化合物选自由甲基丙烯酸甲酯、乙基丙烯酸甲酯、正丁基丙烯酸甲酯、仲丁基丙烯酸甲酯...

【专利技术属性】
技术研发人员:李相勋尹赫敏吕泰勋黄致容
申请(专利权)人:株式会社东进世美肯
类型:发明
国别省市:韩国,KR

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