线栅偏振元件和投射型显示装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供线栅偏振元件和投射型显示装置，能够可靠地密闭形成有线栅的空间。在线栅偏振元件(1)中，在透光性的第一基板(2)的形成有金属制的线栅(4)的一个面(2a)侧配置有透光性的第二基板(3)，在第一基板(2)的一个面(2a)上，在俯视时与形成线栅(4)的区域重叠的区域中形成有凹部(21)。因此，在第一基板(2)与第二基板(3)之间，即使不使用间隔件也能够确保配置有线栅(4)的空间(10)。另外，在对配置有线栅(4)的空间(10)进行密闭时，在凹部(21)的外侧对第一基板(2)和第二基板(3)进行接合。

【技术实现步骤摘要】
线栅偏振元件和投射型显示装置
本专利技术涉及具有金属制的线栅的线栅偏振元件和投射型显示装置。
技术介绍
投射型显示装置具有液晶面板、射出提供给液晶面板的光的光源部、以及投射被光阀调制后的光的投射光学系统，在从光源部经由液晶面板到达投射光学系统的光路上配置有偏振元件。该偏振元件较多使用由有机材料构成的偏振元件，但由有机材料构成的偏振元件的耐热性较低。因此，提出了使用在透光性基板上形成有由铝或铝合金等构成的金属制的线栅的线栅偏振元件(无机偏振元件)的结构。然而，由铝或铝合金等构成的金属制的线栅存在如下问题：与空气中的水分或氧气等发生反应而容易发生腐蚀或氧化。另一个面，提出了如下结构：使玻璃盖片隔着间隔件与透光性基板的形成线栅的一个面侧面对，并且在配置间隔件的外周侧通过密封剂(粘接剂)来固定透光性基板和玻璃盖片(参照专利文献1)。专利文献1：日本特表2005-513547号公报然而，在像专利文献1所记载的结构那样隔着间隔件使透光性基板和玻璃盖片面对的结构中，由于外周侧的透光性基板和玻璃盖片之间的间隔较宽，因此即使通过密封剂(粘接剂)来进行密封，也有可能水分或氧气透过密封剂而侵入。
技术实现思路
鉴于以上的问题点，本专利技术的课题在于提供能够可靠地密闭形成有线栅的空间的线栅偏振元件和投射型显示装置。为了解决上述课题，本专利技术的线栅偏振元件的特征在于，该线栅偏振元件具有：透光性的第一基板；金属制的线栅，其形成在所述第一基板的一个面上；以及透光性的第二基板，其与所述第一基板的所述一个面面对，所述第一基板的所述一个面和所述第二基板的与所述第一基板面对的面中的至少一方在俯视时与形成有所述线栅的区域重叠的区域中形成有凹部，所述第一基板和所述第二基板在所述凹部的外侧接合，配置有所述线栅的空间被密闭起来。在本专利技术中，在透光性的第一基板的形成金属制的线栅的一个面侧配置有透光性的第二基板，在第一基板的一个面和第二基板的与第一基板面对的面中的至少一方，在俯视时与形成线栅的区域重叠的区域中形成有凹部。因此，在第一基板与第二基板之间，即使不使用间隔件也能够确保配置线栅的空间。另外，在对配置有线栅的空间进行密闭时，由于在凹部的外侧对第一基板和第二基板进行接合，因此接合部分处的第一基板与第二基板之间的间隔较窄。因此，水分或氧气不容易从第一基板与第二基板之间侵入等，从而能够可靠地密闭形成有线栅的空间。在本专利技术中，可以采用所述凹部的内壁为锥面的方式。根据该方式，即使未对第一基板进行磨削等机械加工，也能够进行蚀刻等而有效地形成凹部，在这种情况下，凹部的内壁为锥面。在本专利技术中，可以采用在配置有所述线栅的空间中填充有惰性气体的方式。根据该方式，能够抑制线栅的腐蚀和氧化。在本专利技术中，可以采用所述线栅由铝、以铝为主要成分的合金、银、或以银为主要成分的合金构成的方式。根据该方式，在可见光波长区域中线栅中的吸收损失较小。在本专利技术中，可以采用在所述线栅的与所述第一基板相反侧的端部形成有光吸收层的方式。根据该方式，能够防止线栅的末端部处的反射。在本专利技术中，可以采用在所述第一基板的所述一个面、所述第一基板的与所述一个面相反侧的面、所述第二基板的与所述第一基板面对的面、以及所述第二基板的与所述第一基板相反侧的面中的至少一个面上形成有防反射层的方式。根据该方式，能够抑制第一基板或第二基板上的反射。在本专利技术中，可以采用所述第一基板和所述第二基板由相同的材料构成的方式。在本专利技术中，也可以采用在所述第二基板上形成有所述凹部的方式。本专利技术的线栅偏振元件能够在投射型显示装置等中使用。投射型显示装置具有液晶面板、射出提供给所述液晶面板的光的光源部、以及投射被所述液晶面板调制后的光的投射光学系统，在从所述光源部经由所述液晶面板至所述投射光学系统的光路上配置有所述线栅偏振元件。附图说明图1是示出本专利技术的实施方式1的线栅偏振元件的外观的说明图。图2是图1所示的线栅偏振元件的剖视图。是本专利技术的实施方式1的电光装置的说明图。图3是示出图2所示的线栅偏振元件的制造方法的工序剖视图。图4是本专利技术的实施方式2的线栅偏振元件的剖视图。图5是放大本专利技术的实施方式3的线栅偏振元件1的线栅而示出的说明图。图6是使用了透射型的液晶面板的投射型显示装置的说明图。图7是使用了透射型的液晶面板的投射型显示装置的说明图。标号说明1：线栅偏振元件；2：第一基板；2a、3a：一个面；3：第二基板；4：线栅；10：空间；20：透光性基板；20x、40x：蚀刻掩模；20y、40y：开口部；21、31：凹部；40：金属膜；41：金属细线；51：光吸收层；100、100B、100G、100R：液晶面板；110、1000：投射型显示装置；115、116、117：液晶光阀；115b、116b、117b：第一偏振板；115d、116d、117d：第二偏振板；118、1029：投射光学系统；161、1021：光源部；1032b、1032g、1032r：线栅偏振板；1037b、1037g、1037r：入射侧偏振板；1038b、1038g、1038r：出射侧偏振板。具体实施方式参照附图对本专利技术的实施方式进行说明。另外，在以下的说明中所参照的图中，为了使各层和各部件为可在附图上识别的程度的大小，针对每层和每个部件使比例尺不同。另外，在以下的说明中，将线栅4(金属细线41)所延伸的方向设为Y方向，将金属细线41并列的方向设为X方向。【实施方式1】(线栅偏振元件1的结构)图1是示出本专利技术的实施方式1的线栅偏振元件1的外观的说明图。图2是图1所示的线栅偏振元件1的剖视图。图1和图2所示的线栅偏振元件1具有透光性的第一基板2、形成在第一基板2的一个面2a上的金属制的线栅4。线栅4由平行并列的多个金属细线41构成，金属细线41的粗细和空间(金属细线41的间隔)例如为400nm以下。在本实施方式中，金属细线41的粗细和空间分别例如为100nm至200nm。在这样构成的线栅4中，只要金属细线41的间距比入射光的波长足够短，则使入射光中的、作为具有与金属细线41的长度方向垂直的电场向量的成分的第一偏振光透过，使作为具有与金属细线41的长度方向平行的电场向量的成分的第二偏振光反射。线栅4(金属细线41)是铝、银、铜、铂、金、或以它们为主要成分的合金。在本实施方式中，从在可见光波长区域中将线栅4中的吸收损失抑制得较小的观点来看，由铝、以铝为主要成分的合金、银、或以银为主要成分的合金构成。在本方式中，从防止线栅4与水分或氧气的反应的观点来看，设置与第一基板2的一个面2a面对的透光性的第二基板3，对配置有线栅4的空间进行密闭。在本实施方式中，作为第一基板2和第二基板3，使用玻璃基板、石英基板、水晶基板等。在本方式中，第一基板2和第二基板3是水晶基板，由相同材料构成。在实现上述的密闭构造时，在第一基板2的一个面2a和第二基板3的与第一基板2面对的面3a中的至少一方上，在俯视时与形成线栅4的区域重叠的区域中形成有凹部，在凹部的外侧对第一基板2的一个面2a和第二基板3的面3a进行接合。在本实施方式中，第二基板3为平板状，在第一基板2的一个面2a上，在俯视时与形成有线栅4的区域重叠的区域中形成有凹部21。因此，线栅4形成在凹部21的底部211。另外，凹部21的内壁2本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种线栅偏振元件，其特征在于，其具有：透光性的第一基板；金属制的线栅，其形成在所述第一基板的一个面上；以及透光性的第二基板，其与所述第一基板的所述一个面面对，在所述第一基板的所述一个面和所述第二基板的与所述第一基板面对的面中的至少一方，在俯视时与形成有所述线栅的区域重叠的区域中形成有凹部，所述第一基板和所述第二基板在所述凹部的外侧接合，使得配置有所述线栅的空间被密闭起来。

【技术特征摘要】
2017.03.14 JP 2017-0483681.一种线栅偏振元件，其特征在于，其具有：透光性的第一基板；金属制的线栅，其形成在所述第一基板的一个面上；以及透光性的第二基板，其与所述第一基板的所述一个面面对，在所述第一基板的所述一个面和所述第二基板的与所述第一基板面对的面中的至少一方，在俯视时与形成有所述线栅的区域重叠的区域中形成有凹部，所述第一基板和所述第二基板在所述凹部的外侧接合，使得配置有所述线栅的空间被密闭起来。2.根据权利要求1所述的线栅偏振元件，其特征在于，所述凹部的内壁为锥面。3.根据权利要求1或2所述的线栅偏振元件，其特征在于，在配置有所述线栅的空间中填充有惰性气体。4.根据权利要求1至3中的任一项所述的线栅偏振元件，其特征在于，所述线栅由铝、以铝为主要成分的合金、银、或以银为主要成分的合金构成。5.根据权利要求1至4中的任一项所述的线栅偏振元件，其特征在于，在所述线栅的与所述第一...

【专利技术属性】
技术研发人员：大堀光隆，赤坂康一郎，熊井启友，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP