X射线检查装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种X射线检查装置，其能够将照射至载物台上的任意的位置的被检查物的累积辐射剂量作为二维分布图像来掌握。本发明专利技术具有X射线源、X射线检测器以及载物台，控制这些的控制部的剂量率算出部算出检查空间的任意的位置的剂量率，载物台表面信息存储部存储包含载物台基准点的载物台表面信息，照射历史监控部监控载物台基准点的移动轨迹，载物台表面累积辐射剂量算出部算出载物台表面整体的累积辐射剂量分布数据并存储，载物台表面拍摄范围算出部根据几何位置关系算出X射线检测器的载物台表面拍摄范围，剂量分布图像显示控制部提取拍摄范围内的累积辐射剂量分布数据并进行图像显示。

X ray inspection device

The invention provides an X-ray inspection device which can grasp the accumulated radiation dose of the inspected object irradiated at any position on the carrier as a two-dimensional distributed image. The invention has an X-ray source, an X-ray detector and a carrier station, which are controlled by the dose rate calculation section of the control section to calculate the dose rate at any position in the inspection space, a carrier station surface information storage section to store the surface information of the carrier station containing the reference point of the carrier station, and an irradiation history monitoring section to monitor the movement of the reference point of the carrier station. The trajectory, the cumulative radiation dose calculating unit calculates the cumulative radiation dose distribution data of the whole surface of the platform and stores them. The shooting range calculating unit calculates the shooting range of the X-ray detector on the surface of the platform according to the geometric position relationship, and the dose distribution image displaying control unit extracts the tiredness of the shooting range. Accumulate radiation dose distribution data and image display.

【技术实现步骤摘要】
X射线检查装置
本专利技术涉及面向工业用途的X射线检查装置，特别是涉及适用于半导体产品等的内部缺陷的检查的X射线检查装置。
技术介绍
X射线检查装置被广泛使用于半导体产品等的非破坏检查中。例如在搭载于印刷基板上的集成电路(IC)等半导体部件的内部缺陷的有无的检查中，对检查对象照射X射线并拍摄X射线透视图像，基于该X射线透视图像进行产品的合格与否判定。优选的是，在检查对象是像印刷基板上的半导体部件那样微小的情况下，拍摄放大了的X射线透视图像来检查。因此，通过如下的装置来进行检查：面对照射锥形束状的X射线的X射线发生装置来配置二维X射线检测器，在它们之间的检查空间配置有能够在三维方向上移动的XYZ载物台，在其上载置检查对象物，能够使被载置的检查对象物在XY方向上移动来确定观察位置，并且使被载置的检查对象物在Z方向上移动来放大缩小观察区域。然而，由于通常的半导体部件没有被做成耐辐射性设计，因此存在受到X射线检查时所照射的X射线的影响而使电气特性变化，从而破损的情况。由于已知这样的不良情况依存于被照射至检查对象物的X射线的累积辐射剂量，因此设计成预测或者测定被照射至检查对象物的X射线的辐射剂量值来管理。例如，在印刷基板的安装装配线上设置并使用的X射线检查装置中，在多个半导体部件以散布在相互隔离的位置的方式载置于印刷基板上的情况下，有时会采用将相对于印刷基板的X射线的照射区域分割为各个小区域，一边允许照射区域的一部分区域重复一边多次拍摄的方法。在这样的检查中，设计成根据安装部件的位置数据和每个X射线照射区域的X射线辐射剂量值算出部件单位的X射线辐射预定剂量值，通过与部件单位的X射线辐射允许剂量值比较以使得不超过X射线辐射允许剂量值(参照对比文献1)。此外，公开了如下方法：在X射线检查装置的观察台上载置印刷基板，为使想要观察的被检查物的位置来到X射线源和X射线检测器之间而调整载物台位置和高度，通过以下方法来管理照射至被检查物的X射线的累积辐射量(参照专利文献2)。即，在检查之前，预先设定作为基准的X射线条件(管电流、管电压、从X射线源到观察台为止的距离(以下，称为“SOD”))，在观察台上配置剂量计来测定剂量率并存储在控制部中。然后，在检查时将被检查物载置在观察台上，移动观察台，在期望的位置照射X射线来构筑X射线透视图像并显示在显示器上。接下来，记录X射线照射时的X射线条件(管电流、管电压、SOD)并且测量照射时间，同时，在预先存储的基准条件下的剂量率的基础上算出此时的X射线条件下的剂量率。具体地说，由于已知剂量率与管电压的平方成正比且和管电流成正比，而和SOD的平方成反比，因此基于管电压、管电流、SOD的设定条件从基准条件下的剂量率算出。而且，通过算出到X射线条件被变更为止的照射时间和剂量率的积求出对于被测定物的辐射剂量。进一步地，每次对于相同被检查物变更X射线条件，都以变更后的X射线条件进行相同的计算，对辐射剂量进行加法运算，由此计算从X射线开始的累积辐射剂量(参照专利文献2)。现有技术文献专利文献专利文献1：日本专利特开2002-350367号公报专利文献2：日本专利特开2011-179936号公报
技术实现思路
专利技术要解决的课题在上述的现有技术中，前者是以取得包含印刷基板上的安装部件的安装位置的安装部件数据作为前提的，因此在准备了这样的安装部件数据，且在装配线等中以相同的X射线透视图像的拍摄条件对相同的印刷基板进行检查的情况下有用，但在没有准备安装部件数据的情况下无法适用。另一方面，后者中不需要关于被检查物的安装部件数据，通过观察台的移动来直接调整印刷基板上的半导体部件的位置(包含高度)从而进行观察。在该情况下，在照射了X射线的状态下，使观察台在三维(XYZ)方向上自由移动直至找到最合适的拍摄位置，并在最合适的位置拍摄透视图像。因此，在印刷基板上存在多个半导体部件的情况下，变成找到各个半导体部件的最合适的拍摄位置来进行拍摄。结果是，从开始X射线照射的时间点到结束观察为止的观察台的累积辐射剂量是通过直至找出最合适位置为止的移动轨迹来决定的。此时，印刷基板的各位置的累积辐射剂量不同，即使算出某一点处的累积辐射剂量，在检查多个观察位置的情况下也难以正确地掌握各位置的辐射剂量。此外，关于小的半导体部件，被照射至其小面积内的辐射剂量是个问题，但优选的是，检查对象的半导体部件的位置和其附近位置处辐射剂量有时也会随着观察位置变更时的载物台的移动轨迹而大大不同，从而能够二维地掌握印刷基板上的各位置的辐射剂量。进一步地，能够掌握作为观察对象的半导体部件内部的辐射剂量的分布就更好了。因此本专利技术的目的在于，提供一种X射线检查装置，对于被载置于载物台上的半导体部件等被检查物，该X射线检查装置能够将照射至被检查物的累积辐射剂量作为二维分布图像来掌握。此外，本专利技术的目的在于，能够掌握对于被载置于载物台上的任意位置的被检查物的累积辐射剂量。进一步地，在小的部件的X射线检查中，拍摄被检查物的放大了的X射线透视图像的情况很多，本专利技术的目的在于，能够与该X射线透视图像的拍摄区域对应地对和X射线透视图像同等地放大了的累积辐射剂量的分布图像进行图像显示。解决课题的技术手段为了解决上述课题而做出的本专利技术的X射线检查装置具有：X射线源；X射线检测器，其隔着检查空间地与所述X射线源相对地配置；以及载物台，其通过三维移动机构能移动至所述检查空间内的任意的位置，所述X射线检查装置调整所述载物台的位置使得被载置于所述载物台的载物台表面上的被检查物的观察区域进入连结所述X射线源和所述X射线检测器的X射线光轴上，之后拍摄所述被检查物的X射线透视图像并显示在显示装置中，所述X射线检查装置包括：剂量率算出部，其在作为基准的管电流以及管电压之下求出作为基准的、关于所述检查空间内的至少一个位置的剂量率，并预先存储为“基准剂量率数据”，通过设定被检查物的检查时所使用的管电流及管电压，基于所述“基准剂量率数据”算出所述检查空间中的任意的位置的剂量率来作为“检查空间剂量率数据”；载物台表面信息存储部，其存储“载物台表面信息”，所述“载物台表面信息”包含在所述载物台上确定的载物台基准点和确定所述载物台表面的范围的相对位置信息；照射历史监控部，其监控从X射线的照射开始到照射结束为止的各时间点的所述载物台基准点的移动轨迹并存储为“照射历史信息”；载物台表面累积辐射剂量算出部，其基于所述“照射历史信息”、所述“载物台表面信息”以及所述“检查空间剂量率数据”算出所述载物台表面上的各位置的累积辐射剂量，并存储为“累积辐射剂量分布数据”；载物台表面拍摄范围算出部，其算出“载物台表面拍摄范围数据”，该“载物台表面拍摄范围数据”表示在拍摄了所述被检查物的X射线透视图像的位置处所述X射线检测器所拍摄的载物台表面的范围；以及剂量分布图像显示控制部，其从所述“累积辐射剂量分布数据”中提取出与所述“载物台表面拍摄范围数据”对应的区域的累积辐射剂量分布数据来作为“拍摄范围累积剂量分布数据”，并在所述显示装置中进行图像显示。根据本专利技术，在进行被检查物的X射线检查时，如果设定了检查所使用的X射线源的管电流及管电压的话，通过剂量率算出部能够基于检查前预先存储的“基准剂量率数据”算出检查空间内的各位置的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种X射线检查装置，该X射线检查装置具有：X射线源；X射线检测器，其隔着检查空间和所述X射线源相对地配置；以及载物台，其通过三维移动机构能移动至所述检查空间内的任意的位置，所述X射线检查装置调整所述载物台的位置使得被载置于所述载物台的载物台表面上的被检查物的观察区域进入连结所述X射线源和所述X射线检测器的X射线光轴上，之后拍摄所述被检查物的X射线透视图像并显示在显示装置中，所述X射线检查装置的特征在于，包括：剂量率算出部，其在作为基准的管电流以及管电压之下求出作为基准的、关于所述检查空间内的至少一个位置的剂量率，并预先存储为基准剂量率数据，通过设定被检查物的检查时所使用的管电流及管电压，并基于所述基准剂量率数据算出所述检查空间中的任意的位置的剂量率来作为检查空间剂量率数据；载物台表面信息存储部，其存储载物台表面信息，所述载物台表面信息包含在所述载物台上确定的载物台基准点和确定所述载物台表面的范围的相对位置信息；照射历史监控部，其监控从X射线的照射开始到照射结束为止的各时间点的所述载物台基准点的移动轨迹并存储为照射历史信息；载物台表面累积辐射剂量算出部，其基于所述照射历史信息、所述载物台表面信息以及所述检查空间剂量率数据算出所述载物台表面上的各位置的累积辐射剂量，并存储为累积辐射剂量分布数据；载物台表面拍摄范围算出部，其算出载物台表面拍摄范围数据，该载物台表面拍摄范围数据表示在拍摄了所述被检查物的X射线透视图像的位置处所述X射线检测器所拍摄的载物台表面的范围；以及剂量分布图像显示控制部，其从所述累积辐射剂量分布数据中提取出与所述载物台表面拍摄范围数据对应的区域的累积辐射剂量分布数据来作为拍摄范围累积剂量分布数据，并在所述显示装置中进行图像显示。...

【技术特征摘要】
2017.03.06 JP 2017-0416661.一种X射线检查装置，该X射线检查装置具有：X射线源；X射线检测器，其隔着检查空间和所述X射线源相对地配置；以及载物台，其通过三维移动机构能移动至所述检查空间内的任意的位置，所述X射线检查装置调整所述载物台的位置使得被载置于所述载物台的载物台表面上的被检查物的观察区域进入连结所述X射线源和所述X射线检测器的X射线光轴上，之后拍摄所述被检查物的X射线透视图像并显示在显示装置中，所述X射线检查装置的特征在于，包括：剂量率算出部，其在作为基准的管电流以及管电压之下求出作为基准的、关于所述检查空间内的至少一个位置的剂量率，并预先存储为基准剂量率数据，通过设定被检查物的检查时所使用的管电流及管电压，并基于所述基准剂量率数据算出所述检查空间中的任意的位置的剂量率来作为检查空间剂量率数据；载物台表面信息存储部，其存储载物台表面信息，所述载物台表面信息包含在所述载物台上确定的载物台基准点和确定所述载物台表面的范围的相对位置信息；照射历史监控部，其监控从X射线的照射开始到照射结束为止的各时间点的所述载物台基准点的移动轨迹并存储为照射历史信息；载...

【专利技术属性】
技术研发人员：神户悟郎，
申请(专利权)人：株式会社岛津制作所，
类型：发明
国别省市：日本,JP