The invention provides a high-precision vertical lifting control system, which comprises a mounting base, a guide rail base, a linear guide rail, a ball screw, a sliding block and a servo motor. The guide rail base is vertically arranged on the mounting base, the linear guide rail is vertically arranged on the guide rail base, and the ball screw is vertically arranged on the guide rail base. On the ball screw, the slider is connected with the ball screw thread, the slider can move up and down along the linear guide rail, the slider is used to connect with the external functional components and move up and down synchronously with the external functional components; the servo motor is set on the mounting base, and the servo motor is connected with the ball screw through the transmission mechanism. Then. The utility model has the advantages of simple structure, high positioning accuracy, fast moving speed, good stability, low cost, convenient moving, and makes the vertical lifting more stable and reliable.
【技术实现步骤摘要】
一种高精度垂直升降控制系统
本专利技术涉及高精密度工业自动化
,尤其涉及一种高精度垂直升降控制系统。
技术介绍
随着科技的发展与进步,机器人技术被广泛应用于现代制造产业中,多数是通过机械手臂装置进行物料移动或物料加工等步骤。但是,现有的垂直升降设备的平稳度较低,在搬运过程容易产生晃动,控制精度低,移动速度较慢,长时间连续工作的稳定性较差。尤其是在对精度要求极高的半导体行业,以半导体行业的晶圆生产为例,在半导体工厂中,晶圆最终生产成芯片,要经过上百道工序,其中要经过一系列的“刻、蚀、磨”等工序,每一道工序完成后往下一道工序转运,在转运过程中,常需要从一个操作平台转移至另一个操作平台上,而两个平台有时会不在同一个平面上,这均需要通过晶圆搬运机器人去完成。而晶圆搬运机器人必须要达到高精密度、高稳定性等要求。
技术实现思路
鉴于现有技术的现状,本专利技术的目的在于提供一种高精度垂直升降控制系统,其结构简单,定位精度高,移动速度快,稳定性好,成本低,使得垂直升降更加平稳可靠。为实现上述目的,本专利技术的技术方案如下:一种高精度垂直升降控制系统,包括:安装底座;导轨底座,所述导轨底座竖直设置在所述安装底座;直线导轨,所述直线导轨竖直设置在所述导轨底座;滚珠丝杆,所述滚珠丝杆竖直设置在所述导轨底座;滑动块,所述滑动块设置在所述滚珠丝杆上,所述滑动块与所述滚珠丝杆螺纹连接,所述滑动块能够沿着所述直线导轨上下运动,所述滑动块用于与外部功能部件相连接而与所述外部功能部件同步上下往复运动;伺服电机,所述伺服电机设置在所述安装底座,所述伺服电机通过传动机构与所述滚珠丝杆驱动连接 ...
【技术保护点】
1.一种高精度垂直升降控制系统,其特征在于,包括:安装底座(1);导轨底座(2),所述导轨底座(2)竖直设置在所述安装底座(1);直线导轨(3),所述直线导轨(3)竖直设置在所述导轨底座(2);滚珠丝杆(4),所述滚珠丝杆(4)竖直设置在所述导轨底座(2);滑动块(5),所述滑动块(5)设置在所述滚珠丝杆(4)上,所述滑动块(5)与所述滚珠丝杆(4)螺纹连接,所述滑动块(5)能够沿着所述直线导轨(3)上下运动,所述滑动块(5)用于与外部功能部件相连接而与所述外部功能部件同步上下往复运动;伺服电机(6),所述伺服电机(6)设置在所述安装底座(1),所述伺服电机(6)通过传动机构与所述滚珠丝杆(4)驱动连接。
【技术特征摘要】
1.一种高精度垂直升降控制系统,其特征在于,包括:安装底座(1);导轨底座(2),所述导轨底座(2)竖直设置在所述安装底座(1);直线导轨(3),所述直线导轨(3)竖直设置在所述导轨底座(2);滚珠丝杆(4),所述滚珠丝杆(4)竖直设置在所述导轨底座(2);滑动块(5),所述滑动块(5)设置在所述滚珠丝杆(4)上,所述滑动块(5)与所述滚珠丝杆(4)螺纹连接,所述滑动块(5)能够沿着所述直线导轨(3)上下运动,所述滑动块(5)用于与外部功能部件相连接而与所述外部功能部件同步上下往复运动;伺服电机(6),所述伺服电机(6)设置在所述安装底座(1),所述伺服电机(6)通过传动机构与所述滚珠丝杆(4)驱动连接。2.根据权利要求1所述的高精度垂直升降控制系统,其特征在于,所述传动机构包括步带轮(8)和同步带(9),所述步带轮(8)的数量为两个,其中一个所述步带轮(8)固接所述滚珠丝杆(4),其中另一个所述步带轮(8)固接所述伺服电机(6)的驱动端,两个所述步带轮(8)通过同步带(9)传动连接。3.根据权利要求2所述的高精度垂直升降控制系统,其特征在于,还包括电机支架(7),所述电机支架(7)设置在所述安装底座(1),所述伺服电机(6)安装在所述电机支架(7),所述伺服电机(6)通过所述电机支架(7)安装在所述安装底座(1)。4.根据权利要求1所述的高精度垂直升降控制系统,其特征在于,所述滚珠丝杆(4)的两端均设置有固定板,所述滚珠丝杆(4)通过所述固定板固定在所述导轨底座(2)。5.根据权利要求1所述的高精度垂直升降控制系统,其特征在...
【专利技术属性】
技术研发人员:何瑞,刘丹,郭梅,吕兵,刘波,张延,
申请(专利权)人:昀智科技北京有限责任公司,
类型:发明
国别省市:北京,11
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