In the radio frequency transceiver of the present invention, a long strip type thermoelectric and PN junction nano-photoelectric integrated generator with a substrate of N-type silicon wafer is fabricated, which has a velvet surface, an alumina film, a photoelectric P-type doping region, a photoelectric N-type doping region, a SiO2 isolation layer and a photoelectric electrode. The photoelectric electrode is connected as shown in Fig. 2, and the first silicon nitride isolation layer is prepared. It is used to isolate thermoelectric optoelectronics. The main unit of a thermoelectric generator is a thermopile. The thermopile is composed of a series of P-type polycrystalline silicon nanowire clusters and N-type polycrystalline silicon nanowire clusters. A metal Ti/Au layer is sputtered as the electrodes of the thermopile to obtain the thermopile structure in series. The generator realizes the conversion of solar energy and the heat energy produced by the RF transceiver module when it works. The integrated energy collection of thermoelectricity and Optoelectronics realizes the energy conversion across the energy domain. The thermal conductivity of the silicon nanometer is far lower than that of the traditional bulk material. It can maintain the electronic transport while restraining the heat transfer, thus improving the heat. Electricity generation efficiency.
【技术实现步骤摘要】
射频收发机中长条型热电与PN结纳米光电集成发电机
本专利技术提出了一种射频收发机中长条型热电与PN结纳米光电集成发电机,属于微电子机械系统(MEMS)的
技术介绍
随着物联网的发展,短距离无线通信技术的应用越来越广,其中,无线传感网络WSN作为感知外界的末梢神经网络,在军事、物流管理等领域有着巨大的应用需求,也成为了无线通信领域的焦点。射频收发机是实现传感节点间以及节点和终端设备之间无线通信的主要模块,该模块消耗无线传感网的绝大部分功耗,与此同时,射频收发机也存在大量的能源浪费。采用长条型热电与PN结纳米光电集成发电机,采用的硅纳米的热导率远低于传统体材料,可以实现一边维持电子运输,一边抑制热量输送,从而极大的提高了热电发电效率,在热电发电实用化上具有重要意义。可以对射频收发机工作时产生的大量浪费的热能进行回收,然后通过DC-DC升压稳压电路存贮到电池中,再提供给无线传感网系统中的低功耗模块。此外,太阳能电池能够解决能源衰竭和环境污染问题,光电部分将太阳能直接转化为电,作为热电能量收集的补充。
技术实现思路
技术问题:本专利技术的目的是提供一种射频收发机中长条型热电与PN结纳米光电集成发电机,光电池部分采用PN结纳米结构,热电能量收集则采用长条型,同时集成热电光电可对环境中的热能和光能进行多能源利用,在复杂野外环境下,两种收集方式也可以互为补充,协同供电。技术方案:为解决上述技术问题,本专利技术提出了一种射频收发机中长条型热电与PN结纳米光电集成发电机。该结构主要包括光电池部分和热电能量收集部分,两者制备于同一衬底之上,实现了光电-热电的单片集成。选 ...
【技术保护点】
1.一种射频收发机中长条型热电与PN结纳米光电集成发电机,其特征是:该微纳发电机由制作于同一N型硅衬底(1)上的光电池和热电发电机两个部分构成,中间隔有第一氮化硅隔离层(8),光电部分制作有绒面(2),氧化铝膜(3),光电P型掺杂区(4),光电N型掺杂区(5),SiO2隔离层(6),光电电极(7);热电发电机部分包括热电堆的P型臂(9)、热电堆的N型臂(10)、热电堆的电极(11),第二氮化硅隔离层(12),散热板(13);背面区域光电P型掺杂区(4)和光电N型掺杂区(5)及其电极(7)相互交错,电极呈叉指形状排列;热电堆的P型臂(9)和热电堆的N型臂(10)中的多晶硅纳米线簇含有的纳米线数量为50‑200,多晶硅纳米线由深紫外光刻形成,直径为1‑100nm,高度为2‑10um;热电堆电极(11)材料为金,金属板(13)材料为铝;采用的纳米硅薄膜的热导率远低于传统体材料,可以实现一边维持电子运输,一边抑制热量输送,从而极大的提高了热电发电效率。
【技术特征摘要】
1.一种射频收发机中长条型热电与PN结纳米光电集成发电机,其特征是:该微纳发电机由制作于同一N型硅衬底(1)上的光电池和热电发电机两个部分构成,中间隔有第一氮化硅隔离层(8),光电部分制作有绒面(2),氧化铝膜(3),光电P型掺杂区(4),光电N型掺杂区(5),SiO2隔离层(6),光电电极(7);热电发电机部分包括热电堆的P型臂(9)、热电堆的N型臂(10)、热电堆的电极(11),第二氮化硅隔离层(12),散热板(13);背面区域光电P型掺杂区(4)和光电N型掺杂区(5)及其电极(7)相互交错,电极呈叉指形状排列;热电堆的P型臂(9)和热电堆的N型臂(10)中的多晶硅纳米线簇含有的纳米线数量为50-200,多晶硅纳米线由深紫外光刻形成,直径为1-100nm,高度为2...
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