设置坩埚位置标识装置的单晶炉制造方法及图纸

一种设置坩埚位置标识装置的单晶炉，包括二层平台、设置在二层平台上方的炉体、设置在二层平台下方的驱动部件、坩埚位置标识装置，坩埚位置标识装置包括下限位机构和上限位机构，下限位机构固定设置在二层平台的机架上，以对导套的下降的最低位置进行限位，上限位机构包括连接板、标尺、第一导向件、第二导向件、指针、配重，标尺为一柔性细长标尺，标尺的一端与连接板固定连接，标尺的另一端与配重连接，指针设置在第一导向件和第二导向件之间，标尺上设置刻度标识，以与指针配合显示导套及坩埚上升的位置，本实用新型专利技术中，操作人员无需计算，只需观察指针指示的实际位置已经到该固定的标识位置，即可操作程序启动收尾程序。

Single crystal furnace with crucible position marking device

A single crystal furnace with a crucible position marking device includes a two-layer platform, a furnace body above the two-layer platform, a driving component under the two-layer platform, and a crucible position marking device. The crucible position marking device comprises a lower limit mechanism and an upper limit mechanism, and a machine with a lower limit mechanism fixed on the two-layer platform. The upper limit mechanism comprises a connecting plate, a ruler, a first guide piece, a second guide piece, a pointer and a counterweight. The ruler is a flexible slender ruler. One end of the ruler is fixedly connected with the connecting plate. The other end of the ruler is connected with the counterweight. The pointer is arranged in the first guide piece. In the utility model, the operator does not need to calculate, but only needs to observe that the actual position indicated by the pointer has reached the fixed marking position, then the operation program can start and finish the program.

【技术实现步骤摘要】
设置坩埚位置标识装置的单晶炉
本技术涉及单晶炉
，尤其涉及一种设置坩埚位置标识装置的单晶炉。
技术介绍
单晶炉是多晶硅转化为单晶硅工艺过程中的必备设备，而单晶硅又是光伏发电和半导体行业中的基础原料。单晶硅作为现代信息社会的关键支撑材料，是目前世界上最重要的单晶材料之一，它不仅是发展计算机与集成电路的主要功能材料，也是光伏发电利用太阳能的主要功能材料。坩埚内每次投入一定量的硅料之后进行拉晶的时候，坩埚会下降至预设的最低位置，拉晶快要结束时，坩埚内的硅料剩余少量硅料，此时需要进行拉晶的收尾，也就是拉晶程序的收尾，现有技术中，控制程序开始收尾的时间点的通常需要人工计算来控制，人工结合计算机程序、及晶棒的生长尺寸、生长时间综合计算得到坩埚内剩余的硅料的量，得到此剩余的量后再控制程序进行收尾，此计算过程不仅因为计算时间较长而导致计算结果与坩埚内实际剩余物料存在差距，而且存在人为计算不可避免的误差，从而导致程序收尾的起始点控制不精确。
技术实现思路
有必要提出一种直观、精确反应出坩埚内余料的设置坩埚位置标识装置的单晶炉。一种设置坩埚位置标识装置的单晶炉，包括二层平台、设置在二层平台上方的炉体、设置在二层平台下方的驱动部件、坩埚位置标识装置，炉体包括外炉筒和设置在内部的热场，外炉筒包括从上向下依次安装连接的炉盖、中炉筒和下炉筒，下炉筒安装在二层平台上，热场包括坩埚、安装座、加热器、保温层，安装座设置下炉筒内，以安装坩埚，坩埚设置在中炉筒内，加热器包围设置在坩埚的周围，以对坩埚内的物料进行加热化料，保温层包括从上向下依次设置的上保温层、中保温层、下保温层，中保温层设置在加热器与中炉筒之间，下保温层设置在安装座与下炉筒之间，驱动部件的上端穿过下炉筒的底部，以与安装座连接，进而驱动坩埚旋转和升降，坩埚位置标识装置设置在二层平台的下方，坩埚位置标识装置包括下限位机构和上限位机构，设置在二层平台下方的驱动部件包括升降电机、减速器、丝杠、导套，升降电机通过减速器与丝杠连接，以驱动丝杠转动，丝杠与导套螺纹传动连接，导套的上端与安装座连接，以驱动坩埚升降，下限位机构固定设置在二层平台的机架上，以对导套的下降的最低位置进行限位，上限位机构包括连接板、标尺、第一导向件、第二导向件、指针、配重，连接板沿着水平方向与导套固定连接，以与导套同步升降，标尺为一柔性细长标尺，标尺的一端与连接板固定连接，标尺的另一端与配重连接，第一导向件、第二导向件与二层平台的机架固定连接，指针设置在第一导向件和第二导向件之间，且指针与二层平台的机架固定连接，标尺的中间部分搭接在第一导向件和第二导向件上，标尺上设置刻度标识，以与指针配合显示导套及坩埚上升的位置。进一步，还在二层平台的台面上开设观察窗口，观察窗口为长方形孔，观察窗口的开口长度大于开口宽度，指针的一端与机架固定连接，指针的另一端为尖锐端部，指针的尖锐端部靠近标尺的标识设置，以准确显示标识的位置。进一步，第一导向件、第二导向件具有相同的机构，第一导向件包括安装板、树脂环、压紧螺钉，安装板的一端与机架固定连接，安装板的另一端用于安装树脂环，树脂环为空心圆柱体，树脂环具有光滑的表面，树脂环的表面宽度大于标尺的宽度，以使标尺沿着树脂环的表面滑动，压紧螺钉的端部穿过树脂环，以将树脂环固定在安装板上，第一导向件的树脂环和第二导向件的树脂环安装在机架的相同的水平面内，以使第一导向件和第二导向件之间的标尺也处于水平面内。本技术设计了坩埚位置标识装置，该装置中的连接板与驱动坩埚升降的导套固定连接，使得标尺与坩埚同步升降，而标尺滑动搭接于第一导向件、第二导向件上，第一导向件、第二导向件与机架固定连接，拉晶过程中，坩埚按照预定程序上升，此时，第一导向件左侧的标尺在配重的作用下也同步向上移动，第二导向件右侧的标尺在配重的作用下同步向下移动，指针指示的标识位置也在变化，至坩埚上升至一定位置，此时坩埚内剩余预定的余量时，该位置为一个固定的确定的位置，此时指针对应指示一个固定的标识位置，操作人员无需计算，只需观察指针指示的实际位置已经到该固定的标识位置，即可操作程序启动收尾程序。附图说明图1为单晶炉的结构示意图。图2为所述炉体的结构示意图。图3为图2中的局部放大图。图4为排气环的结构示意图。图5为二层平台的结构示意图。图6为二层平台的另一个角度的结构示意图。图7为图6中的局部放大图。图中：二层平台10、观察窗口101、炉盖11、中炉筒12、下炉筒13、第一排气套131、第二排气套132、坩埚21、安装座22、加热器23、热屏组件24、内导流筒241、外导流筒242、外檐2421、内缘2422、保温填充层243、支撑环244、压环245、隔离内筒246、上保温层251、中保温层252、下保温层253、第一排气管261、第二排气管262、排气环263、内侧环壁264、进气口2641、外侧环壁265、出气口2651、环底266、下凸缘环267、中间反射层271、连接板31、标尺32、第一导向件33、安装板331、树脂环332、压紧螺钉333、第二导向件34、指针35、配重36。具体实施方式为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单的介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。参见图1至图7，本技术实施例提供了一种单晶炉，包括二层平台10、设置在二层平台10上方的炉体、设置在二层平台10下方的驱动部件，炉体包括外炉筒和设置在内部的热场，外炉筒包括从上向下依次安装连接的炉盖11、中炉筒12和下炉筒13，下炉筒13安装在二层平台10上，热场包括坩埚21、安装座22、加热器23、热屏组件24、保温层，安装座22设置下炉筒13内，以安装坩埚21，坩埚21设置在中炉筒12内，加热器23包围设置在坩埚21的周围，以对坩埚21内的物料进行加热化料，热屏组件24设置在坩埚21的上方，在热屏组件24中间设置晶棒通道，保温层包括从上向下依次设置的上保温层251、中保温层252、下保温层253，上保温层251设置在热屏组件24与中炉筒12之间，中保温层252设置在加热器23与中炉筒12之间，下保温层253设置在安装座22与下炉筒13之间，驱动部件的上端穿过下炉筒13的底部，以与安装座22连接，进而驱动坩埚21旋转和升降，所述热场还包括中排气组件，在下炉筒13的侧壁上对称设置第一排气套131和第二排气套132，第一排气套131的一端及第二排气套132的一端外漏在下炉筒13外部，用于与外部抽气机构连接，第一排气套131的另一端及的另一端穿过下炉筒13及保温层，以与中排气组件连通，中排气组件包括第一排气管261、第二排气管262、排气环263，第一排气管261、第二排气管262对称设置在加热器23的两侧，第一排气管261、第二排气管262靠近保温层设置，第一排气管261、第二排气管262均为竖直设置的空心直管，第一排气管261的下端与第一排气套131连通，第一排气管261的上端与排气环263连接，第二排气管262的下端与第二排气套132连通，第二排气管262的上端与排气环263连接，排气环26本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种设置坩埚位置标识装置的单晶炉，其特征在于：包括二层平台、设置在二层平台上方的炉体、设置在二层平台下方的驱动部件、坩埚位置标识装置，炉体包括外炉筒和设置在内部的热场，外炉筒包括从上向下依次安装连接的炉盖、中炉筒和下炉筒，下炉筒安装在二层平台上，热场包括坩埚、安装座、加热器、保温层，安装座设置下炉筒内，以安装坩埚，坩埚设置在中炉筒内，加热器包围设置在坩埚的周围，以对坩埚内的物料进行加热化料，保温层包括从上向下依次设置的上保温层、中保温层、下保温层，中保温层设置在加热器与中炉筒之间，下保温层设置在安装座与下炉筒之间，驱动部件的上端穿过下炉筒的底部，以与安装座连接，进而驱动坩埚旋转和升降，坩埚位置标识装置设置在二层平台的下方，坩埚位置标识装置包括下限位机构和上限位机构，设置在二层平台下方的驱动部件包括升降电机、减速器、丝杠、导套，升降电机通过减速器与丝杠连接，以驱动丝杠转动，丝杠与导套螺纹传动连接，导套的上端与安装座连接，以驱动坩埚升降，下限位机构固定设置在二层平台的机架上，以对导套的下降的最低位置进行限位，上限位机构包括连接板、标尺、第一导向件、第二导向件、指针、配重，连接板沿着水平方向与导套固定连接，以与导套同步升降，标尺为一柔性细长标尺，标尺的一端与连接板固定连接，标尺的另一端与配重连接，第一导向件、第二导向件与二层平台的机架固定连接，指针设置在第一导向件和第二导向件之间，且指针与二层平台的机架固定连接，标尺的中间部分搭接在第一导向件和第二导向件上，标尺上设置刻度标识，以与指针配合显示导套及坩埚上升的位置。...

【技术特征摘要】
1.一种设置坩埚位置标识装置的单晶炉，其特征在于：包括二层平台、设置在二层平台上方的炉体、设置在二层平台下方的驱动部件、坩埚位置标识装置，炉体包括外炉筒和设置在内部的热场，外炉筒包括从上向下依次安装连接的炉盖、中炉筒和下炉筒，下炉筒安装在二层平台上，热场包括坩埚、安装座、加热器、保温层，安装座设置下炉筒内，以安装坩埚，坩埚设置在中炉筒内，加热器包围设置在坩埚的周围，以对坩埚内的物料进行加热化料，保温层包括从上向下依次设置的上保温层、中保温层、下保温层，中保温层设置在加热器与中炉筒之间，下保温层设置在安装座与下炉筒之间，驱动部件的上端穿过下炉筒的底部，以与安装座连接，进而驱动坩埚旋转和升降，坩埚位置标识装置设置在二层平台的下方，坩埚位置标识装置包括下限位机构和上限位机构，设置在二层平台下方的驱动部件包括升降电机、减速器、丝杠、导套，升降电机通过减速器与丝杠连接，以驱动丝杠转动，丝杠与导套螺纹传动连接，导套的上端与安装座连接，以驱动坩埚升降，下限位机构固定设置在二层平台的机架上，以对导套的下降的最低位置进行限位，上限位机构包括连接板、标尺、第一导向件、第二导向件、指针、配重，连接板沿着水平方向与导套固定连接，以与导套同步...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴学军，
申请(专利权)人：宁夏旭樱新能源科技有限公司，
类型：新型
国别省市：宁夏,64