一种溅射镀膜设备用真空计校正仪制造技术

一种溅射镀膜设备用真空计校正仪，属于光伏技术设备领域。包括标准真空计、溅射镀膜设备用真空计、校准室、分子泵、机械泵、第一模拟数字转换器和第二模拟数字转换器，校准室设置多个端口并分别连接供气系统、标准真空计、溅射镀膜设备用真空计和分子泵，标准真空计连接第一模拟数字转换器，溅射镀膜设备用真空计连接第二模拟数字转换器，分子泵与机械泵连接，其特征在于：还包括微调针阀、真空阀门和微调针阀，所述的供气系统与校准室之间设置微调针阀，所述的机械泵与分子泵共同连接在校准室的同一端口，机械泵和分子泵之间设置真空阀门。具有操作简单、对校准室抽气更彻底并精准控制供气系统流量的有益效果。

A vacuum meter calibrator for sputtering coating equipment

The utility model relates to a vacuum gauge calibrator for sputtering coating equipment, which belongs to the field of photovoltaic technology equipment. It includes a vacuum meter, a calibration chamber, a molecular pump, a mechanical pump, a first analog digital converter and second analog digital converters. The calibration room is set up with multiple ports and connected to the gas supply system, the standard vacuum gauge, the vacuum meter and the molecular pump for the sputtering coating equipment, and the standard vacuum gauge connects to the first. An analog digital converter, the sputtering coating equipment is connected with a second analog digital converter with a vacuum meter. The molecular pump is connected with a mechanical pump. It is characterized by a fine tuning needle valve, a vacuum valve, and a fine tuning needle valve. The gas supply system and the calibration chamber set a fine tuning needle valve between the calibration chamber and the mechanical pump connected to the molecular pump. A vacuum valve is installed between the mechanical pump and the molecular pump at the same port in the calibration room. The utility model has the advantages of simple operation, thorough calibration of the calibration chamber and precise control of the flow rate of the gas supply system.

【技术实现步骤摘要】
一种溅射镀膜设备用真空计校正仪
一种溅射镀膜设备用真空计校正仪，属于光伏技术设备领域。
技术介绍
当今环境污染和能源短缺的加剧，使得人们越来越关注清洁能源的发展，太阳能电池是清洁能源的一个重要方向，然而太阳能组件生产过程中镀膜设备真空计数据是否准确，直接关系着太阳能电池生产量效率高低，所以镀膜设备的真空计必须定期进行校正。真空计是测量真空度或气压的仪器，它是利用不同气压下气体的某种物理效应的变化进行气压测量。真空计校正是真空计制造和使用中常见的工作，真空计通常由规管与仪器电路组成。不同类型的规管适用于不同的真空度，真空规管大部分是与气体种类有关的相对真空规，规管的校准曲线难以由计算决定，通常仅作定性计算，即使使用计算的曲线，准确的定量最终要由实验验证。真空规管具有零散性，与电路组成仪器的整体后允许误差20%～50%，因此在仪器生产过程中常采取逐台调试和校准。热导规在使用寿命周期内，灵敏度和零点会变化，曲线因此会发生位移，须要定期进行校正。如果真空规和真空计的仪表部分不进行整体校准，就无法保证真空计测量结果的准确性。真空计的制造中的生产调试和品质检验、规管与仪器配套或更换规管、仪器定期检定、在使用中对于仪器准确度的检测等过程中都需要校正真空计。现有技术中校正真空计的处理方法有：一种方式是通过调整模拟电路工作参数，更换规管或电路元件，对带有补偿电路的规管调整工作参数，将各个规管的唯一修正参数存入芯片中与规管配套使用等类似方式；另一种方式是通过标准真空计与待校正真空计一同连接在校准室的两端，预先抽空校准室的气体，再通过供气系统充入气体，校正待校正真空计。由专业人员经过用标准真空计的读数作为标准，与被校真空计的读数进行比对，记录、分析、计算和再次输入仪器等一系列工作，通常每次由手工进行数据敲入、软件调入打开、运算及输入输出的操作，主要依赖人工处理，费时且繁琐；第二种方式不能对测量有毒气体的真空计进行校正，不能精准控制供气系统气体流量，不能将校准室中的气体完全抽出等问题。针对现有技术的不足，目前急需一种操作简单、对校准室抽气更彻底并精准控制供气系统流量的技术方案。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是：克服现有技术的不足，提供一种操作简单、对校准室抽气更彻底并精准控制供气系统流量的溅射镀膜设备用真空计校正仪。本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：该溅射镀膜设备用真空计校正仪，包括标准真空计、溅射镀膜设备用真空计、校准室、分子泵、机械泵、第一模拟数字转换器和第二模拟数字转换器，校准室设置多个端口并分别连接供气系统、标准真空计、溅射镀膜设备用真空计和分子泵，标准真空计连接第一模拟数字转换器，溅射镀膜设备用真空计连接第二模拟数字转换器，分子泵与机械泵连接，其特征在于：所述的供气系统与校准室之间设置微调针阀，所述的机械泵与分子泵共同连接在校准室的同一端口，机械泵和分子泵之间设置真空阀。优选的，所述的供气系统和微调针阀之间设置过滤器。优选的，所述的标准真空计和溅射镀膜设备用真空计分别通过KF连接头与校准室连接。优选的，所述的机械泵和分子泵之间通过波纹管连接。优选的，所述的机械泵与校准室之间设置真空阀。优选的，所述的分子泵与校准室之间设置真空阀。本技术中的工作原理为：本技术中将机械泵作为分子泵的一条旁抽回路，可分别开启机械泵或分子泵对校准室进行抽气，保证抽气彻底。再通过供气系统对校准室控制流量的充入气体，气体经过过滤器过滤，防止气体中的杂质影响校正，调节微调针阀控制气体流量。当校准室内的气体动态平衡后，分别通过第一模拟数字转换器和第二模拟数字转换器记录标准真空计和溅射镀膜设备用真空计的压力数据，通过软件计算后调整溅射镀膜设备用真空计的调节按钮进行校正或通过软件修改溅射镀膜设备用真空计的相关参数进行校正。与现有技术相比，本技术所具有的有益效果是：1、一种溅射镀膜设备用真空计校正仪，具有操作简单、对校准室抽气更彻底并精准控制供气系统流量的有益效果。2、本技术中设置机械泵连接校准室，形成相对于分子泵的一条旁抽回路，方便在分子泵出现故障时，单独使用机械泵进行抽气，无需另外改造连接关系；分子泵、机械泵先后启动，分别对校准室进行抽气，保证抽气更加彻底。3、本技术中在机械泵与校准室之间、分子泵与校准室之间分别设置相应的真空阀，通过调节真空阀，调节分子泵、机械泵与校准室之间的气体流通关系，方便应对部件损坏的突发状况。4、本技术中设置过滤器，过滤器保证供气系统充入校准室的气体中不含影响校正测试的物质，保证校正的准确性。5、本技术通过简单操作调节实现数据的记录，并根据软件分析，调整溅射镀膜设备用真空计，适用于处理规管特性已知、稳定性好，但一致性不佳造成的测量误差，也适用于与气体种类有关的规管的校准。6、本技术通过调节微调针阀实现不同组气体压力数据的输入，操作过程动作简练；数据采集之后输入到主机中通过软件进行计算，取代了繁琐手工计算，在真空计制造工艺中校准标定一次完成；当规管信号范围与标准规管匹配后，就可以快速标定、修正压力数据显示，总之可减轻校准工作量，提升生产效率。7、本技术快速简便，修正数据的方法直观可选，适应范围广，示值修正快速。8、本技术实现了小型化，体积小、重量轻，满足了现场校正真空计的需求，提高了校准的稳定性和准确度。附图说明图1是本技术的结构原理示意图。其中：1、机械泵2、波纹管3、第一真空阀4、分子泵5、第二真空阀6、第一模拟数字转换器7、标准真空计8、KF连接头9、四通接头10、微调针阀11、过滤器12、溅射镀膜设备用真空计13、第二模拟数字转换器14、第三真空阀。具体实施方式图1是本技术的最佳实施例，下面结合附图1对本技术做进一步说明。如图1所示，本实施例中包括标准真空计7、溅射镀膜设备用真空计12、校准室、分子泵4、机械泵1、第一模拟数字转换器6和第二模拟数字转换器13，校准室为设置四个端口的四通接头9，分别连接供气系统、标准真空计7、溅射镀膜设备用真空计12和分子泵4，标准真空计7连接第一模拟数字转换器6，溅射镀膜设备用真空计12连接第二模拟数字转换器13，分子泵4与机械泵1连接。本实施例还包括真空阀和微调针阀10，所述的供气系统与四通接头9之间设置微调针阀10，所述的机械泵1与分子泵4共同连接在四通接头9的同一端口，机械泵1和分子泵4之间设置第一真空阀3。本实施例中标准真空计7和溅射镀膜设备用真空计12分别通过KF连接头8与四通接头9连接。机械泵1和分子泵4之间通过波纹管2连接。机械泵1与四通接头9之间设置第二真空阀5，分子泵4与四通接头9之间设置第三真空阀14。供气系统和微调针阀10之间设置过滤器11。供气系统充入的气体为氦气，可通过氦气袋或氦气瓶充入气体。本实施例中微调针阀10为超高真空微调针阀，标准真空计7为满量程为103~10-6mbar；四通接头9的体积为0.5L，分子泵4选取涡轮分子泵、牵引分子泵、低温分子泵等其中一种，抽气时极限真空1×10-1Pa~1×10-10Pa。本实施例中第一真空阀3、第二真空阀5和第三真空阀14均可选取板阀、翻板阀，碟阀、隔板阀、闸阀、插板、截止阀、隔离阀等阀门中的一种，真空度范围在1×10-1Pa~1×本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种溅射镀膜设备用真空计校正仪，包括标准真空计（7）、溅射镀膜设备用真空计（12）、校准室、分子泵（4）、机械泵（1）、第一模拟数字转换器（6）和第二模拟数字转换器（13），校准室设置多个端口并分别连接供气系统、标准真空计（7）、溅射镀膜设备用真空计（12）和分子泵（4），标准真空计（7）连接第一模拟数字转换器（6），溅射镀膜设备用真空计（12）连接第二模拟数字转换器（13），分子泵（4）与机械泵（1）连接，其特征在于：所述的供气系统与校准室之间设置微调针阀（10），所述的机械泵（1）与分子泵（4）共同连接在校准室的同一端口，机械泵（1）和分子泵（4）之间设置真空阀。

【技术特征摘要】
1.一种溅射镀膜设备用真空计校正仪，包括标准真空计（7）、溅射镀膜设备用真空计（12）、校准室、分子泵（4）、机械泵（1）、第一模拟数字转换器（6）和第二模拟数字转换器（13），校准室设置多个端口并分别连接供气系统、标准真空计（7）、溅射镀膜设备用真空计（12）和分子泵（4），标准真空计（7）连接第一模拟数字转换器（6），溅射镀膜设备用真空计（12）连接第二模拟数字转换器（13），分子泵（4）与机械泵（1）连接，其特征在于：所述的供气系统与校准室之间设置微调针阀（10），所述的机械泵（1）与分子泵（4）共同连接在校准室的同一端口，机械泵（1）和分子泵（4）之间设置真空阀。2.根据权利要求1所述的...

【专利技术属性】
技术研发人员：管信，于潮，陶晓军，张俊，
申请(专利权)人：山东淄博汉能薄膜太阳能有限公司，
类型：新型
国别省市：山东,37