一种CIGS太阳能电池中预制层的XRF检测方法技术

本发明专利技术公开一种CIGS太阳能电池中预制层的XRF检测方法，包括以下步骤：S1、在衬底顶面生长氮化硅阻挡层；S2、在氮化硅阻挡层顶面溅镀金属背电极；S3、在金属背电极顶面与XRF检测区相对应的位置粘贴胶带，胶带为全反射胶带或全吸收胶带；S4、在金属背电极顶面制备铜铟镓预制层；S5、通过XRF设备对铜铟镓预制层的检测区进行成分检测；S6、检测完成后，去除胶带；粘贴胶带将铜铟镓预制层的检测区与金属背电极相隔离，进行XRF检测时，X射线能够被胶带全反射或者全吸收，不会进入金属背电极，从而避免金属背电极的元素成分对铜铟镓预制层的成分检测造成影响；无需激光去除背电极，工艺简单、成本低。

【技术实现步骤摘要】
一种CIGS太阳能电池中预制层的XRF检测方法
本专利技术涉及太阳能薄膜电池
，具体是一种CIGS太阳能电池中预制层的XRF检测方法。
技术介绍
光伏发电已是当今社会中一种高效地清洁能源利用方式。铜铟镓硒薄膜（CIGS）太阳能电池因其理论效率高、材料消耗少、生产能耗低等特点逐步扩大了其应用领域，尤其是在柔性衬底和浮法玻璃上制备的薄膜电池，具有抗震性好、效率高和弱光性好等优势，完美的契合了BIPV、屋顶发电、移动能源以及其他特殊领域等领域对太阳能电池的要求，在国家日益重视光伏发电应用的今天，必将得到广泛的应用。CIGS太阳能电池制备工艺中，先在基板上先沉积背电极，然后在背电极上沉积铜铟镓预制层，为了精确控制铜铟镓预制层各元素的成分比例，便于后续硒的沉积，目前使用XRF检测设备对预制层进行在线元素检测，从而反馈调整工艺参数。背电极的材料为导电性能较好的金属或合金化合物，大多数情况下使用铜锌合金，铜锌合金中的铜元素会影响铜铟镓预制层XRF检测时铜元素的含量结果。目前，为了避免这种现象，大多采用激光技术去除掉XRF检测区域的背电极膜层，这种方式需要配备昂贵的激光刻划设备，成本高；另外，激光去除膜层后，还需要利用清洗设备将膜层边缘残渣清洗掉，增加了工艺复杂性。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种CIGS太阳能电池中预制层的XRF检测方法，该检测方法能够方便地对预制层的检测区进行成分检测，并且无需激光去除背电极，避免背电极成分对预制层成分检测造成影响，工艺简单、成本低。本专利技术解决其技术问题所采用的技术方案是：一种CIGS太阳能电池中预制层的XRF检测方法，包括以下步骤：S1、在衬底顶面生长氮化硅阻挡层；S2、在氮化硅阻挡层顶面溅镀金属背电极；S3、在金属背电极顶面与XRF检测区相对应的位置粘贴胶带，胶带为全反射胶带或全吸收胶带；S4、在金属背电极顶面制备铜铟镓预制层；S5、通过XRF设备对铜铟镓预制层的检测区进行成分检测；S6、检测完成后，去除胶带。进一步的，步骤S1衬底为玻璃衬底、PI衬底或不锈钢衬底。进一步的，步骤S3的胶带采用锡胶带或铅胶带。本专利技术的有益效果是：粘贴胶带将铜铟镓预制层的检测区与金属背电极相隔离，进行XRF检测时，X射线能够被胶带全反射或者全吸收，不会进入金属背电极，从而避免金属背电极的元素成分对铜铟镓预制层的成分检测造成影响；无需激光去除背电极，工艺简单、成本低。附图说明下面结合附图和实施例对本专利技术进一步说明：图1是本专利技术步骤S1与S2的示意图；图2是本专利技术步骤S3的示意图；图3是本专利技术步骤S4与S5的示意图。具体实施方式本专利技术提供一种CIGS太阳能电池中预制层的XRF检测方法，包括以下步骤：S1、如图1所示，在衬底1顶面生长氮化硅阻挡层2；衬底1可采用玻璃衬底、PI衬底或不锈钢衬底；S2、在氮化硅阻挡层2顶面溅镀金属背电极3；金属背电极材料一般为钼、银、铜、铜锌合金、银锌合金等；S3、结合图2所示，在金属背电极3顶面与XRF检测区相对应的位置粘贴胶带4，胶带4为全反射胶带或全吸收胶带，例如可采用锡胶带或铅胶带；S4、结合图3所示，在金属背电极3顶面制备铜铟镓预制层5，铜铟镓预制层5覆盖胶带4；S5、通过XRF设备6对铜铟镓预制层5的检测区5a进行成分检测；S6、检测完成后，撕去胶带4。粘贴胶带4将铜铟镓预制层5的检测区与金属背电极3相隔离，进行XRF检测时，X射线能够被胶带全反射或者全吸收，不会进入金属背电极3；以全反射的锡胶带以及全吸收的铅胶带为例，二者的X射线特征谱线和铜铟镓预制层中铜元素的X射线特征谱线有较大间隔，见如下特征谱线数据：Cu：Kα=1.5418Å；Kβ=1.3922ÅSn：Kα=0.491Å；Kβ=0.4356ÅPb：Kα=0.1655Å；Kβ=0.1461Å因此不存在相互影响的可能，从而避免金属背电极的元素成分对铜铟镓预制层的成分检测造成影响。本专利技术无需激光去除背电极，工艺简单、成本低，在后续生产工艺中，胶带可随时揭掉，回收利用，不影响产品任何性能。以上所述，仅是本专利技术的较佳实施例而已，并非对本专利技术作任何形式上的限制；任何熟悉本领域的技术人员，在不脱离本专利技术技术方案范围情况下，都可利用上述揭示的方法和
技术实现思路
对本专利技术技术方案做出许多可能的变动和修饰，或修改为等同变化的等效实施例。因此，凡是未脱离本专利技术技术方案的内容，依据本专利技术的技术实质对以上实施例所做的任何简单修改、等同替换、等效变化及修饰，均仍属于本专利技术技术方案保护的范围内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种CIGS太阳能电池中预制层的XRF检测方法，其特征在于，包括以下步骤：S1、在衬底顶面生长氮化硅阻挡层；S2、在氮化硅阻挡层顶面溅镀金属背电极；S3、在金属背电极顶面与XRF检测区相对应的位置粘贴胶带，胶带为全反射胶带或全吸收胶带；S4、在金属背电极顶面制备铜铟镓预制层；S5、通过XRF设备对铜铟镓预制层的检测区进行成分检测；S6、检测完成后，去除胶带。

【技术特征摘要】
1.一种CIGS太阳能电池中预制层的XRF检测方法，其特征在于，包括以下步骤：S1、在衬底顶面生长氮化硅阻挡层；S2、在氮化硅阻挡层顶面溅镀金属背电极；S3、在金属背电极顶面与XRF检测区相对应的位置粘贴胶带，胶带为全反射胶带或全吸收胶带；S4、在金属背电极顶面制备铜铟镓预制层；S5、通过XRF设备对铜铟镓...

【专利技术属性】
技术研发人员：彭寿，种雷，刘小雨，王宝玉，朱登华，
申请(专利权)人：凯盛光伏材料有限公司，
类型：发明
国别省市：安徽,34