The invention relates to a cleaning device, in particular to a preliminary cleaning equipment for quartz used for semiconductor production. The technical problem to be solved by the invention is to provide a preliminary cleaning equipment for quartz production, which saves water resources and can be cleaned in a comprehensive and rapid way. The invention provides a preliminary quartz cleaning equipment for semiconductor production, including an installation frame, a wheel, a first spring, a frame, a large net plate, a baffle, a water pipe, a first valve, a water tank, a first inlet pipe, a first hose, a nozzle, and so on. The bottom is installed with wheels, the bottom left and right side of the mounting frame. A first spring is arranged, and the top of the first spring is connected with a frame body, and a large net plate is connected between the middle and the left sides of the two walls of the frame. The invention has achieved the effect of saving water resources and can be cleaned rapidly. The invention can clean the quartz more comprehensively and quickly through the continuous movement of the sprinkler and the constant and down jitter of the frame body.
【技术实现步骤摘要】
一种半导体生产用石英初步清洗设备
本专利技术涉及一种清洗设备,尤其涉及一种半导体生产用石英初步清洗设备。
技术介绍
电子元器件是电子元件和电小型的机器、仪器的组成部分,其本身常由若干零件构成,可以在同类产品中通用;常指电器、无线电、仪表等工业的某些零件,如电容、晶体管、游丝、发条等子器件的总称。常见的有二极管等。半导体是制作电子元器件的一种很重要的材质,而石英是制作半导体的重要材质,在使用石英制作半导体材料时,需要对石英进行清洗,这是一个需要非常认真的工作,因为石英是否干净,直接影响到半导体的质量,但是目前在清洗石英时,因为没有专门的设备来对其进行初步清洗,所以导致后续的清洗非常麻烦,而且浪费水资源也严重。综上,目前需要研发一种节约水资源、可以全面快速清洗的半导体生产用石英初步清洗设备,来克服现有技术中出浪费水资源、石英后续清洗麻烦不干净的缺点。
技术实现思路
(1)要解决的技术问题本专利技术为了克服现有技术中出浪费水资源、石英后续清洗麻烦不干净的缺点,本专利技术要解决的技术问题是提供一种节约水资源、可以全面快速清洗的半导体生产用石英初步清洗设备。(2)技术方案为了解决上述技术问题,本专利技术提供了这样一种半导体生产用石英初步清洗设备,包括有安装架、轮子、第一弹簧、框体、大网板、挡板、出水管、第一阀门、水箱、第一进水管、第一软管、喷头、电机、第一转轴、第一锥齿轮、轴承座、第二转轴、凸轮和第二锥齿轮,安装架底部安装有轮子,安装架内底部左侧和右侧均设有第一弹簧,第一弹簧顶端连接有框体,框体左右两壁内侧中部之间连接有大网板,大网板前后两侧连接在框体前后两壁内侧,框体 ...
【技术保护点】
1.一种半导体生产用石英初步清洗设备,其特征在于,包括有安装架(1)、轮子(2)、第一弹簧(3)、框体(4)、大网板(5)、挡板(6)、出水管(7)、第一阀门(8)、水箱(9)、第一进水管(10)、第一软管(12)、喷头(13)、电机(14)、第一转轴(15)、第一锥齿轮(16)、轴承座(17)、第二转轴(18)、凸轮(19)和第二锥齿轮(20),安装架(1)底部安装有轮子(2),安装架(1)内底部左侧和右侧均设有第一弹簧(3),第一弹簧(3)顶端连接有框体(4),框体(4)左右两壁内侧中部之间连接有大网板(5),大网板(5)前后两侧连接在框体(4)前后两壁内侧,框体(4)下壁左侧设有出水管(7),出水管(7)上设有第一阀门(8),框体(4)左右两壁外侧下部设有挡板(6),安装架(1)上壁中心开有通孔(11),安装架(1)上壁外侧中部设有水箱(9),水箱(9)左壁上部设有第一进水管(10),水箱(9)下壁外侧中心设有喷头(13),喷头(13)穿过通孔(11),喷头(13)与水箱(9)下壁左部之间连接有第一软管(12),安装架(1)内底部右侧设有电机(14),电机(14)顶部的输出轴上连 ...
【技术特征摘要】
1.一种半导体生产用石英初步清洗设备,其特征在于,包括有安装架(1)、轮子(2)、第一弹簧(3)、框体(4)、大网板(5)、挡板(6)、出水管(7)、第一阀门(8)、水箱(9)、第一进水管(10)、第一软管(12)、喷头(13)、电机(14)、第一转轴(15)、第一锥齿轮(16)、轴承座(17)、第二转轴(18)、凸轮(19)和第二锥齿轮(20),安装架(1)底部安装有轮子(2),安装架(1)内底部左侧和右侧均设有第一弹簧(3),第一弹簧(3)顶端连接有框体(4),框体(4)左右两壁内侧中部之间连接有大网板(5),大网板(5)前后两侧连接在框体(4)前后两壁内侧,框体(4)下壁左侧设有出水管(7),出水管(7)上设有第一阀门(8),框体(4)左右两壁外侧下部设有挡板(6),安装架(1)上壁中心开有通孔(11),安装架(1)上壁外侧中部设有水箱(9),水箱(9)左壁上部设有第一进水管(10),水箱(9)下壁外侧中心设有喷头(13),喷头(13)穿过通孔(11),喷头(13)与水箱(9)下壁左部之间连接有第一软管(12),安装架(1)内底部右侧设有电机(14),电机(14)顶部的输出轴上连接有第一转轴(15),第一转轴(15)中部设有第一锥齿轮(16),安装架(1)左壁内侧下部设有轴承座(17),轴承座(17)内设有第二转轴(18),第二转轴(18)右端连接有第二锥齿轮(20),第二锥齿轮(20)与第一锥齿轮(16)啮合,第二转轴(18)左部和右部均设有凸轮(19),凸轮(19)分别在挡板(6)下方。2.根据权利要求1所述的一种半导体生产用石英初步清洗设备,其特征在于,还包括有第一滑轨(21)、第一滑块(22)、行程开关(23)、第二弹簧(24)、绕线轮(25)和拉线(26),安装架(1)上壁内侧中部设有第一滑轨(21),第一滑块(22)在通孔(11)下方,第一滑轨(...
【专利技术属性】
技术研发人员:张晓丽,
申请(专利权)人:南昌安润科技有限公司,
类型:发明
国别省市:江西,36
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