一种基于劈尖干涉的垂直振动位移检测装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种基于劈尖干涉的垂直振动位移检测装置，属于精密测量领域。包括单色点光源、准直透镜、劈尖干涉装置、倾斜支杆、底板、垂直支杆、质量块、弹簧、CCD相机、数据处理机。第一半反半透镜与第二半反半透镜构成夹角为θ的劈尖干涉装置。本发明专利技术通过数据处理机接收CCD相机实时拍摄的干涉条纹，并通过信号处理得到干涉条纹间距实时变化情况，从而得到底板在垂直方向产生的振动位移的大小及振动频率。本发明专利技术装置设计独特，结构简单，能够有效地检测垂直振动信息，如振动频率及振动位移，具有精度高、响应快、动态范围大等优点。

A Vertical Vibration Displacement Detection Device Based on Wedge Interference

The invention discloses a vertical vibration displacement detection device based on wedge interference, which belongs to the field of precision measurement. They include monochromatic point light source, collimating lens, wedge interference device, tilt support rod, bottom plate, vertical supporting rod, mass block, spring, CCD camera and data processor. The half inverse half lens and the second half inverse half lens form a wedge interference device with the angle of theta. The invention receives the interference fringes of the CCD camera by the data processing machine, and obtains the real-time change of the interference fringe distance through the signal processing, thus the vibration displacement and the vibration frequency of the floor in the vertical direction are obtained. The device is unique in design and simple in structure. It can effectively detect vertical vibration information, such as vibration frequency and vibration displacement, and has the advantages of high precision, fast response and large dynamic range.

【技术实现步骤摘要】
一种基于劈尖干涉的垂直振动位移检测装置
本专利技术属于精密测量领域，特别涉及一种基于劈尖干涉的垂直振动位移检测装置。
技术介绍
由于抗电磁干扰、高精度、高灵敏度等优点，光学传感器越来越广泛地应用于各种物理量的测量，如温度、应力、磁场、方位、振动等，这里提出了一种基于劈尖干涉的垂直振动位移检测装置。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种基于劈尖干涉的垂直振动位移检测装置。为了实现上述目的，本专利技术采用以下技术方案：一种基于劈尖干涉的垂直振动位移检测装置，包括单色点光源、准直透镜、劈尖干涉装置、倾斜支杆、底板、垂直支杆、质量块、弹簧、CCD相机、数据处理机。其中第一半反半透镜与第二半反半透镜构成夹角为θ的劈尖干涉装置。单色点光源产生一束激光，波长在380nm至769nm的可见光光谱范围内；准直透镜将单色点光源产生的发散激光经过准直为平行光束；平行光束以与第二半反半透镜法线方向经过劈尖干涉装置后，在第一半反半透镜下表面形成明暗相间的劈尖干涉条纹；CCD相机实时拍摄在第一半反半透镜下表面形成明暗相间的劈尖干涉条纹。底板在垂直方向产生位移，劈尖干涉装置整体发生位移，由于质量块的惯性，在劈尖本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基于劈尖干涉的垂直振动位移检测装置，其特征在于：包括单色点光源、准直透镜、第一半反半透镜、第二半反半透镜、倾斜支杆、底板、垂直支杆、质量块、弹簧、CCD相机、数据处理机。所述单色点光源产生一束激光，波长在380nm至769nm的可见光光谱范围内。所述准直透镜镜单色点光源产生的发散激光经过准直为平行光束。所述第一半反半透镜与第二半反半透镜构成夹角为θ的劈尖干涉装置，平行光束以与第二半反半透镜法线方向经过劈尖干涉装置后，在第一半反半透镜下表面形成明暗相间的劈尖干涉条纹。所述CCD相机实时拍摄在第一半反半透镜下表面形成明暗相间的劈尖干涉条纹。

【技术特征摘要】
1.一种基于劈尖干涉的垂直振动位移检测装置，其特征在于：包括单色点光源、准直透镜、第一半反半透镜、第二半反半透镜、倾斜支杆、底板、垂直支杆、质量块、弹簧、CCD相机、数据处理机。所述单色点光源产生一束激光，波长在380nm至769nm的可见光光谱范围内。所述准直透镜镜单色点光源产生的发散激光经过准直为平行光束。所述第一半反半透镜与第二半反半透镜构成夹角为θ的劈尖干涉装置，平行光束以与第二半反半透镜法线方向经过劈尖干涉装置后，在第一半反半透镜下表面形成明暗相间的劈尖干涉条纹。所述CCD相机实时拍摄在第一半反半透镜下表面形成明暗相间的劈尖干涉条纹。2.根据权利要...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘菲菲，
申请(专利权)人：孝感锐创机械科技有限公司，
类型：发明
国别省市：湖北,42