一种太赫兹波电控调制器制造技术

本发明专利技术提供了一种太赫兹波电控调制器，包括：衬底层和多排金属微结构阵列；所述金属微结构阵列包括设置于衬底层表面的导电金属条和多个金属框，所述金属框沿着所述导电金属条长度方向设置，所述导电金属条与所述金属框形成封闭图案；所述金属框至少由两段导热金属条组成，所述导热金属条通过二氧化钒微粒块连接。本发明专利技术通过外加电流来控制微粒二氧化钒的金属‑绝缘相变，即调控二氧化钒微粒块的电导率，从而改变金属微结构的共振频率，实现对太赫兹波透射强度的高效、快速调控。

An electronic control modulator of terahertz wave

A terahertz wave electronic control modulator is provided, including a substrate layer and a multi row metal microstructural array, which includes a conductive metal strip and a plurality of metal frames set on a substrate surface. The metal frame is arranged along the length direction of the conductive metal strip, the conductive metal strip and the gold. The metal frame is composed of at least two sections of heat conducting metal strips, and the heat conducting metal strips are connected by two vanadium oxide particle blocks. The present invention can control the electrical conductivity of the two vanadium oxide particles by using the external current to control the electrical conductivity of the two vanadium oxide particles, so as to change the resonance frequency of the metal microstructures, so as to realize the high efficiency and rapid control of the transmission intensity of the terahertz wave.

【技术实现步骤摘要】
一种太赫兹波电控调制器
本专利技术涉及太赫兹功能器件领域，尤其涉及一种基于金属-二氧化钒微结构的太赫兹波电控调制器。
技术介绍
主动控制电磁波振幅器件是微波、太赫兹、中远红外以及光纤通讯等诸多电磁波段中非常重要的器件。太赫兹波段(0.1-10THz)是应用较广的一种电磁波段，这是由于天然材料对太赫兹波的响应较弱，因此往往采用人工周期结构的超材料来操控太赫兹波。为了实现太赫兹波的主动调控，研究人员把超材料和一些可调控的材料如石墨烯、二氧化钒等结合起来调控太赫兹波。二氧化钒是一种性能优异的相变材料，其在68℃左右存在着从绝缘态向金属态的一级相变。对应于太赫兹波谱，是从绝缘态时的高透过率转变为金属态的低透过率；并且相变过程可逆，即当温度从高温降为低温时，二氧化钒则会由金属态转变为绝缘态。同时，通过电流加热也能诱导二氧化钒发生相变。已有的用于调控太赫兹波强度的金属和二氧化钒复合结构，都是基于金属微结构和二氧化钒薄膜，因此通过电流对二氧化钒加热产生相变时，所消耗的功率更大，且调制速度很慢。
技术实现思路
本专利技术解决的技术问题在于提供一种太赫兹波电控调制器，本申请提供的太赫兹波电控调制器可对太赫本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种太赫兹波电控调制器，其特征在于，包括：衬底层和多排金属微结构阵列；所述金属微结构阵列包括设置于衬底层表面的导电金属条和多个金属框，所述金属框沿着所述导电金属条长度方向设置，所述导电金属条与所述金属框形成封闭图案；所述金属框至少由两段导热金属条组成，所述导热金属条通过二氧化钒微粒块连接。

【技术特征摘要】
1.一种太赫兹波电控调制器，其特征在于，包括：衬底层和多排金属微结构阵列；所述金属微结构阵列包括设置于衬底层表面的导电金属条和多个金属框，所述金属框沿着所述导电金属条长度方向设置，所述导电金属条与所述金属框形成封闭图案；所述金属框至少由两段导热金属条组成，所述导热金属条通过二氧化钒微粒块连接。2.根据权利要求1所述的太赫兹波电控调制器，其特征在于，所述金属框由三段导热金属条组成，所述三段导热金属条为2条条形金属条与1条U型金属条。3.根据权利要求1或2所述的太赫兹波电控调制器，其特征在于，所述封闭图案为矩形或正方形。4.根据权利要求1所述的太赫兹波电控调制器，其特征在于，所述金属框由三段导热金属条组成，所述三段导热金属条为2条长短不同的相对设置的条形金属条与1条U形金属条。5.根据权利要求1、2或4所述的太赫兹波电控调制器，其特征在于...

【专利技术属性】
技术研发人员：陆亚林，蔡宏磊，黄秋萍，邹崇文，
申请(专利权)人：中国科学技术大学，
类型：发明
国别省市：安徽,34