The utility model relates to a straightness measurement device, in particular, a reversal method of straightness measurement device based on six dimensional repetitive positioning, including a six dimension adjustment platform, a reversal flat scale and a micro displacement sensor. Through the six dimension adjustment platform, the six dimension posture adjustment of the reverse line can be realized; the reversal flat end has a straight line two points marking the ball. The position of the reversal line is determined by measuring the line two points by the micro displacement sensor and the two high precision repeated positioning is realized before and after the reversal line reversal, and the accuracy of the straightness error is further realized. Differential separation measurement.
【技术实现步骤摘要】
一种基于六维调整的反转法直线度测量装置
本技术属于几何测量领域,具体涉及一种直线度测量装置,具体指基于六维调整的反转法直线度测量装置。
技术介绍
直线度的测量方法主要分为有基准和无基准两大类。有基准的直线度测量方法受限于基准精度,难以在较大尺寸时仍然保持高精度测量。无基准的直线度测量方法基本原理均是误差分离法,反转法即是其中一种误差分离法。从原理上而言反转法的直线度测量精度不受限制,然而实际使用过程中反转直线的重复定位精度会限制误差分离精度,使得反转法直线度测量方法在实际使用时不理想。
技术实现思路
本技术主要解决的技术问题是提供一种基于六维调整的反转法直线度测量装置与反转直线标识测量与定位方法,有效解决反转法直线度测量中的重复定位精度问题,进而实现对大尺寸直线度高精度绝对测量。本技术的基于六维调整的反转法直线度测量装置,包括传感器固定臂、传感器安装座组件、微位移传感器、反转平尺组件、六维调整平台,其特征是,所述微位移传感器安装在传感器安装座上,传感器安装座固定在传感器固定臂上,传感器固定臂安装在导轨上,可随导轨移动;所述六维调整平台底座由三个支撑脚和三点支撑平台基板组成,其中两个支撑脚对称分布在三点支撑平台基板一侧,另一个支撑脚分布在三点支撑平台基板另一侧中间;所述六维调整平台主调整体由两个三维微位移台和三个平尺支撑球组成,三维微位移台固定于三点支撑平台基板两侧,两个三维微位移台上基面分别固定1个和2个平尺支撑球;所述反转平尺组件放置于三个平尺支撑球上;反转平尺组件中的反转平尺两端有直线两点标识球。反转直线六维姿态调整由六维调整平台实现,由底部三个支撑脚和上 ...
【技术保护点】
1.一种基于六维调整的反转法直线度测量装置,包括传感器固定臂(1)、传感器安装座组件(2)、微位移传感器(27)、反转平尺组件(4)、六维调整平台(5),其特征是,所述微位移传感器(27)安装在传感器安装座(25)上,传感器安装座组件(2)固定在传感器固定臂(1)上,传感器固定臂(1)安装在导轨(7)上,可随导轨移动;所述六维调整平台(5)底座由三个支撑脚(53)和三点支撑平台基板(54)组成,其中两个支撑脚对称分布在三点支撑平台基板(54)一侧,另一个支撑脚分布在三点支撑平台基板(54)另一侧中间;所述六维调整平台(5)主调整体由两个三维微位移台(52)和三个平尺支撑球(51)组成,三维微位移台(52)固定于三点支撑平台基板(54)两侧,两个三维微位移台(52)上基面分别固定1个和2个平尺支撑球(51);所述反转平尺组件(4)放置于三个平尺支撑球(51)上;反转平尺组件(4)中的反转平尺(41)两端有直线两点标识球(42)。
【技术特征摘要】
1.一种基于六维调整的反转法直线度测量装置,包括传感器固定臂(1)、传感器安装座组件(2)、微位移传感器(27)、反转平尺组件(4)、六维调整平台(5),其特征是,所述微位移传感器(27)安装在传感器安装座(25)上,传感器安装座组件(2)固定在传感器固定臂(1)上,传感器固定臂(1)安装在导轨(7)上,可随导轨移动;所述六维调整平台(5)底座由三个支撑脚(53)和三点支撑平台基板(54)组成,其中两个支撑脚对称分布在三点支撑平台基板(54)一侧,另一个支撑脚分布在三点支撑平台基板(54)另一侧中间;所述六维调整平台(5)主调整体由两个三维微位移台(52)和三个平尺支撑球(51)组成,三维微位移台(52)固定于三点支撑平台基板(54)两侧,两个三维微位移台(52)上基面分别固定1个和2个平尺支撑球(51);所述反转平尺组件(4)放置于三个平尺支撑...
【专利技术属性】
技术研发人员:袁道成,陶鑫,朱元庆,刘波,
申请(专利权)人:中国工程物理研究院机械制造工艺研究所,
类型:新型
国别省市:四川,51
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