The invention discloses a mask, a making method and a display substrate, which relates to the technical field of display. In order to solve the existing manufacturing method of forming a mask, the production process is complex, the good rate is low, and the high production cost is needed. The fabrication methods of the mask include: forming a template, including a plate and a plurality of independent protruding platforms located on the floor, which are insulated; a metal layer is formed by the electroforming process in the area other than the protruder in the template; the mold plate is separated from the metal layer to form a plate. A multi - hole mask. The manufacturing method of the mask is provided for making mask.
【技术实现步骤摘要】
一种掩模板及其制作方法、显示基板
本专利技术涉及显示
，尤其涉及一种掩模板及其制作方法、显示基板。
技术介绍
目前，应用较为广泛的高精度掩模板一般采用二次光刻工艺制作，且制作的掩模板的精度能够达到3um左右，采用二次光刻工艺制作掩模板的过程包括：提供一基材，先对基材的其中一个表面进行光刻，形成较小尺寸的凹槽，然后在该较小尺寸的凹槽中涂布树脂覆膜，将该凹槽填满，接着对基材的另一个表面(与之前光刻的表面相对)进行光刻，并使得树脂覆膜露出，然后将树脂覆膜去除，以形成贯穿基材的过孔，从而完成掩模板的制作。上述采用二次光刻工艺制作的掩模板虽然能够实现较高的精度，但是需要在基材的相对两面分别进行一次光刻工艺，不仅生产工艺复杂，良率较低，而且需要较高的制作成本。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种掩模板及其制作方法、显示基板，用于解决现有的形成掩模板的制作方法不仅生产工艺复杂，良率较低，而且需要较高的制作成本的问题。为了实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：本专利技术的第一方面提供一种掩模板的制作方法，包括：形成一模版，所述模版包括底板和位于所述底板上的多个独立的...
【技术保护点】
1.一种掩模板的制作方法，其特征在于，包括：形成一模版，所述模版包括底板和位于所述底板上的多个独立的凸台，所述凸台具有绝缘性；通过电铸工艺在所述模版除所述凸台之外的区域形成金属层；将所述模版与所述金属层分离，形成具有多个通孔的掩模板。
【技术特征摘要】
1.一种掩模板的制作方法，其特征在于，包括：形成一模版，所述模版包括底板和位于所述底板上的多个独立的凸台，所述凸台具有绝缘性；通过电铸工艺在所述模版除所述凸台之外的区域形成金属层；将所述模版与所述金属层分离，形成具有多个通孔的掩模板。2.根据权利要求1所述的掩模板的制作方法，其特征在于，形成所述模版的步骤包括：提供一底板，所述底板包括基底和位于所述基底上的导电层；利用3D打印技术，在所述导电层上形成多个独立的凸台。3.根据权利要求2所述的掩模板的制作方法，其特征在于，所述利用3D打印技术，在所述导电层上形成多个独立的凸台包括：利用碳纤维树脂材料，采用3D打印设备在所述导电层上形成多个独立的凸台。4.根据权利要求2或3所述的掩模板的制作方法，其特征在于，所述凸台的侧面与所述导电层之间的夹角小于或等于90度。5.根据权利要求2或3所述的掩模板的制作方法，其特征在于，所述凸台为圆台、棱台、圆柱体...
【专利技术属性】
技术研发人员：潘晟恺，熊腾青，乔永康，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，合肥鑫晟光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：北京,11
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