一种与透射电子显微镜相配合的反应装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术的一种与透射电子显微镜相配合的反应装置，属于实验设备领域。本实用新型专利技术包括反应腔本体，该反应腔本体内设置有保护套筒，保护套筒的一端与反应腔本体的反应腔入口相连通，反应腔入口与样品杆的第一连接杆相配合；所述保护套筒的另一端设置有加热测温环，加热测温环与样品杆的样品台相配合，加热测温环用于加热、检测试样的温度。本实用新型专利技术不仅可以提供各种反应环境，还可以在反应的过程中连续观测反应过程，进而避免了因为观察样品的不同部位带来的误差。

A reaction device matched with transmission electron microscope

The utility model relates to a reaction device matched with a transmission electron microscope, belonging to the field of experimental equipment. The utility model includes a reaction chamber body, which is provided with a protective sleeve in the body, one end of the protective sleeve is connected with the entrance of the reaction cavity of the reaction cavity body, the entrance of the reaction chamber is matched with the first connecting rod of the sample rod, and the other end of the protective sleeve is provided with a heating temperature measuring ring, and the temperature ring and the sample rod are heated. The sample table is matched, and the heating temperature ring is used for heating and detecting the temperature of the sample. The utility model can not only provide various reaction environments, but also observe the reaction process continuously in the process of reaction, and avoid the error caused by the observation of different parts of the sample.

【技术实现步骤摘要】
一种与透射电子显微镜相配合的反应装置
本技术属于实验设备领域，具体来说是一种与透射电子显微镜相配合的反应装置。
技术介绍
由于电子显微镜腔体对高真空、高洁净的环境的要求，使得电子显微镜腔体内难以构造所需要的对样品进行作用的环境或者加入相应的作用与观察的装置。往往可以观察的对象是处于静态的、非反应状态下的材料样品，难以观察动态反应过程。为了解决这一问题，目前常采用两种方式利用透射电镜观察反应：一种方法是制备同一种材料的同种反应类型处于不同反应阶段下的样本，对样本逐个进行观察，反推出整个反应过程，但这种方法的缺点在于，样本虽然都是由同一种材料制成，但由于样本之间不可能完全相同，始终存在细微的差别，这种差别会干扰到对反应过程的研究；另一种方法是设计原位观察设备，即环境透射电镜及原位样品台，环境透射电镜相当于在电镜腔体内构造一个小型的气体腔室，从而在一定程度上满足样品气氛环境下反应的观察需求，但受多种限制，其中一种将电镜样品安置在密封室内部，密封室与外部真空环境隔离，但密封室的窗口材料具有厚度，会降低成像分辨率；而另一种差分泵电镜真空系统造价昂贵，未能普及。这样虽然可以使样品在显微镜中进行实时反应，然后观察同一样品实时反应的图样，但由于样品台的空间和体积限制，原位样品台能提供的功能往往比较单一。无法满足同时施加多种原位作用的需求。经检索，中国专利技术创造名称为：一种电子显微镜的样品室(申请号为：201110032114.0，申请日为：2011.01.28)，包括：外壳、上托板、下托板、第一堵头、第二堵头、真空法兰和波纹管；所述外壳为中空筒体，筒体内设有一环形凸台，筒壁上设有两个附件安装孔和抽真空孔，两个附件安装孔和抽真空孔均与外壳的筒体内连；上托板扣装在外壳的一端开口上，固定在外壳的筒体内的所述环形凸台上；下托板固定扣装在上托板上；所述第一堵头、第二堵头分别设置在两个附件安装孔上，堵住两个附件安装孔，起密封作用；所述波纹管通过所述真空法兰设置在所述外壳的筒壁上的抽真空孔上。该申请案虽然可以提供存放样品的样品室，但是无法对反应进行加热或者提供别的所需的反应环境。此外，中国专利技术创造名称为：一种扫描电子显微镜硅片样品观察的样品台(申请号为：CN200710094257.8，申请日为：2007.11.22)，包括底座和与底座相配合的放置样品的平台，放置样品的平台表面设有与平台表面成15度至90度的活动槽，该活动槽设有调节活动槽宽度的活动槽宽度调节装置。本申请案实现了在观察硅片的表面之后将扫描电子显微镜转动一定的角度就可以进行硅片的断面观察，但是该申请案无法提供反应所需的环境条件以及无法连续在透射电子显微镜下进行观察。
技术实现思路
1.技术要解决的技术问题本技术的目的在于解决现有技术中装置难以连续观察样本反应过程或者功能单一、无法提供多反应条件的问题，提供一种与透射电子显微镜相配合的反应装置，包括反应腔本体，该反应腔本体内设置有保护套筒，保护套筒的一端与反应腔本体的反应腔入口相连通，反应腔入口与样品杆的第一连接杆相配合；保护套筒的另一端设置有加热测温环，不仅可以提供样品反应的各种反应环境，还可以在反应的过程中连续观测反应过程。2.技术方案为达到上述目的，本技术提供的技术方案为：一种与透射电子显微镜相配合的反应装置，包括反应腔本体，该反应腔本体内设置有保护套筒，保护套筒的一端与反应腔本体的反应腔入口相连通，反应腔入口与样品杆的第一连接杆相配合；所述保护套筒的另一端设置有加热测温环，加热测温环与样品杆的样品台相配合，加热测温环用于加热、检测试样的温度。优选地，所述保护套筒与样品杆的第二连接杆相配合。优选地，保护套筒靠近加热测温环的一端设置有通孔，样品杆的样品台穿过通孔伸入加热测温环。优选地，所述第二连接杆上设置有连接杆密封圈，第二连接杆与保护套筒之间通过连接杆密封圈进行密封。优选地，反应腔入口与第一连接杆之间设置有入口密封圈。优选地，反应腔本体内设置有固定杆，固定杆一端与盖板法兰相连，该固定杆的另一端与加热测温环相连。优选地，所述的固定杆靠近加热测温环的一端设置有调节杆，加热测温环设置于调节杆上，调节杆用于调节加热测温环竖直位置。优选地，所述的反应腔本体上设置有真空进气口和真空出气口。优选地，所述的反应腔本体上设置有真空快开门，该真空快开门与加热测温环对应设置，所述真空快开门上设置有玻璃窗口。优选地，所述的保护套筒的轴线与反应腔入口的轴线在同一条直线上。3.有益效果采用本技术提供的技术方案，与现有技术相比，具有如下有益效果：(1)本技术的一种与透射电子显微镜相配合的反应装置，包括反应腔本体，该反应腔本体内设置有保护套筒，保护套筒的一端与反应腔本体的反应腔入口相连通，反应腔入口与样品杆的第一连接杆相配合；保护套筒的另一端设置有加热测温环，不仅可以提供各种反应环境，还可以在反应的过程中连续观测反应过程，进而避免了因为观察样品的不同部位带来的误差；(2)本技术的一种与透射电子显微镜相配合的反应装置，通过样品杆上的入口密封圈与和反应腔入口配合、密封块与入口配合以及连接杆密封圈与保护套筒配合，实现多级密封，密封的效果更好；(3)本技术的一种与透射电子显微镜相配合的反应装置，通过反应腔本体上设置有真空进气口和真空出气口，可以向反应腔内部通入不同的气体，营造不同的反应环境，满足更多实验的需求，功能更加全面。附图说明图1为本技术的一种与透射电子显微镜相配合的反应装置的结构示意图；图2为本技术的密封腔与样品杆结合后的结构示意图；图3为本技术的样品杆结构示意图；图4为本技术的一种与透射电子显微镜相配合的反应装置的主视图；图5为本技术的一种与透射电子显微镜相配合的反应装置的左视图。示意图中的标号说明：100、反应腔本体；110、样品杆；111、密封块；112、第一连接杆；113、第二连接杆；114、样品台；115、连接杆密封圈；116、杆阶梯面；120、保护套筒；121、通孔；130、加热测温环；131、固定杆；132、调节杆；140、盖板法兰；141、反应腔入口；142、入口密封圈；143、入口阶梯面；150、法兰接口；160、光学玻璃；170、玻璃盖板；181、真空进气口；182、真空出气口；190、真空快开门；191、玻璃窗口；200、底座。具体实施方式为了便于理解本技术，下面将参照相关附图对本技术进行更全面的描述，附图中给出了本技术的若干实施例，但是，本技术可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施例，相反地，提供这些实施例的目的是使对本技术的公开内容更加透彻全面。需要说明的是，当元件被称为“固设于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件；当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件；本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的。除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本技术的
的技术人员通常理解的含义相同；本文中在本技术的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本技术；本文所使用本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种与透射电子显微镜相配合的反应装置，其特征在于：包括反应腔本体(100)，该反应腔本体(100)内设置有保护套筒(120)，保护套筒(120)的一端与反应腔本体(100)的反应腔入口(141)相连通，反应腔入口(141)与样品杆(110)的第一连接杆(112)相配合；所述保护套筒(120)的另一端设置有加热测温环(130)，加热测温环(130)与样品杆(110)的样品台(114)相配合，加热测温环(130)用于加热、检测试样的温度。

【技术特征摘要】
1.一种与透射电子显微镜相配合的反应装置，其特征在于：包括反应腔本体(100)，该反应腔本体(100)内设置有保护套筒(120)，保护套筒(120)的一端与反应腔本体(100)的反应腔入口(141)相连通，反应腔入口(141)与样品杆(110)的第一连接杆(112)相配合；所述保护套筒(120)的另一端设置有加热测温环(130)，加热测温环(130)与样品杆(110)的样品台(114)相配合，加热测温环(130)用于加热、检测试样的温度。2.根据权利要求1所述的一种与透射电子显微镜相配合的反应装置，其特征在于：所述保护套筒(120)与样品杆(110)的第二连接杆(113)相配合。3.根据权利要求1所述的一种与透射电子显微镜相配合的反应装置，其特征在于：保护套筒(120)靠近加热测温环(130)的一端设置有通孔(121)，样品杆(110)的样品台(114)穿过通孔(121)伸入加热测温环(130)。4.根据权利要求2所述的一种与透射电子显微镜相配合的反应装置，其特征在于：所述第二连接杆(113)上设置有连接杆密封圈(115)，第二连接杆(113)与保护套筒(120)之间通过连接杆密封圈(115)进行密封。5.根据权利要求2所述的一种与透射电子显微镜相配合的反应装置，其特征在于：反应腔...

【专利技术属性】
技术研发人员：王鹏，施天睿，蔡嵩骅，黄鑫，王浩，麻悦，
申请(专利权)人：南京大学，
类型：新型
国别省市：江苏,32