The utility model discloses a high frequency and high linear pendulum mirror detection system, including an optical platform, a test equipment and a control system. The test equipment includes a scanner dynamic trajectory measurement optical path, a scanner zero crossing detection circuit, a semiconductor laser light source, a four channel virtual oscilloscope and an operating display table above the optical platform. The dynamic trajectory measurement optical path of the scanner includes a laser parallel tube and a trajectory receiving system with a two-dimensional regulating mechanism. The scanner dynamic path measurement optical path includes a self collimating row light tube and a two-dimensional micro tuning worktable. The semiconductor laser source is used as a laser parallel tube with a two dimensional adjusting mechanism and a self quasi optical fiber output. The four channel virtual oscilloscope is used to connect two channels of Vx and Vy signals of PSD. The high linear pendulum measuring system provided by the utility model has compact structure, convenient operation, good safety, and can adapt to various external disturbances and have high detection accuracy.
【技术实现步骤摘要】
一种高频高线性摆镜检测系统
本技术涉及光学检测设备
,特别涉及一种高频高线性摆镜检测系统。
技术介绍
高频高精度摆镜是线列扫描成像系统的关键组成部分,摆镜摆动的线性度影响成像质量,重复性则影响成像稳定性。而摆镜的性能主要通过其摆角特性来衡量,因此,可以通过测量摆镜的实际摆角,并对所测试数据进行后续处理,实现摆镜性能的测试评价。现有的技术中的摆镜系统,不能够适应于外界各种干扰,会影响摆镜检测系统的检测精确度。
技术实现思路
为克服现有技术中存在的摆镜系统,不能够适应于外界各种干扰,会影响摆镜检测系统的检测精确度的问题,本技术提供了一种高频高线性摆镜检测系统。具体技术方案如下:一种高频高线性摆镜检测系统,包括光学平台、测试设备和控制系统,所述测试设备包括设置在光学平台上方的扫描器动态轨迹测量光路、扫描器过零检测电路、半导体激光光源、四通道虚拟示波器和操作显示台,所述光学平台上方设置有保护罩,所述扫描器动态轨迹测量光路包括带二维调节机构激光平行光管和轨迹接收系统,所述扫描器动态轨迹测量光路包括自准直行光管和二维微调工作台,所述半导体激光光源经光纤输出作为带二维调节机构激光平行光管和自准直平行光管的激光光源,所述四通道虚拟示波器用于连接两路PSD的Vx、Vy信号。优选的,所述带二维调节机构激光平行光管包括光纤、平行光管和二维调节机构,所述二维调节机构包括俯仰微调结构和方位微调结构,所述光纤与平行光管相连,所述二维调节机构设置在平行光管的下部。优选的,所述带二维调节机构激光平行光管的焦距为200mm,有效孔径为φ40mm,光纤直径为0.01mm,数值孔径为0.33,方 ...
【技术保护点】
1.一种高频高线性摆镜检测系统,包括光学平台、测试设备和控制系统,其特征在于:所述测试设备包括设置在光学平台上方的扫描器动态轨迹测量光路、扫描器过零检测电路、半导体激光光源、四通道虚拟示波器和操作显示台,所述光学平台上方设置有保护罩,所述扫描器动态轨迹测量光路包括带二维调节机构激光平行光管和轨迹接收系统,所述扫描器动态轨迹测量光路包括自准直行光管和二维微调工作台,所述半导体激光光源经光纤输出作为带二维调节机构激光平行光管和自准直平行光管的激光光源,所述四通道虚拟示波器用于连接两路PSD的Vx、Vy信号。
【技术特征摘要】
1.一种高频高线性摆镜检测系统,包括光学平台、测试设备和控制系统,其特征在于:所述测试设备包括设置在光学平台上方的扫描器动态轨迹测量光路、扫描器过零检测电路、半导体激光光源、四通道虚拟示波器和操作显示台,所述光学平台上方设置有保护罩,所述扫描器动态轨迹测量光路包括带二维调节机构激光平行光管和轨迹接收系统,所述扫描器动态轨迹测量光路包括自准直行光管和二维微调工作台,所述半导体激光光源经光纤输出作为带二维调节机构激光平行光管和自准直平行光管的激光光源,所述四通道虚拟示波器用于连接两路PSD的Vx、Vy信号。2.根据权利要求1所述的一种高频高线性摆镜检测系统,其特征在于:所述带二维调节机构激光平行光管包括光纤、平行光管和二维调节机构,所述二维调节机构...
【专利技术属性】
技术研发人员:吴李宗,张德祥,王锦华,陈轩,
申请(专利权)人:扬州莱达光电技术有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏,32
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