The invention discloses a test device for a large aperture plane mirror. The test device comprises a base, a turntable, a rotating device, a five prism, a plane mirror, a grating ruler, a first collimator and a second self collimator, in which the turntable is set on the base, and the rotating device is fixed to one end of the turntable and through the rotation. The rotary table drives the rotating device to rotate; the five prism, the plane mirror and the grating ruler are set on the plane of the side of the revolving device, and the first self collimator and the second self collimator are set at one end of the rotating device and are set in the direction perpendicular to the rotation device, and the five prism is aligned with the first self collimator. The face mirror is aligned with the second self collimator. The test device can be used to test the surface shape of a large diameter flat mirror with horizontal pointing and has high testing accuracy.
【技术实现步骤摘要】
一种大口径平面镜面形的测试装置
本专利技术涉及光学测试装置
,更具体地说,尤其涉及一种大口径平面镜面形的测试装置。
技术介绍
大口径平面镜在空间光学和天文光学等有着大量的应用,为了保证大口径平面镜具有良好的质量,必须对其大口径平面镜的面形进行测试。基于对大口径平面镜面形的测试主要有四种测试方法:直接干涉测试法、Ritchey-Common法、子孔径拼接法以及五棱镜扫描法。其中,直接干涉测试法需要一块高精度的大口径标准平面镜,但是该平面镜的加工难度极大,成本很高,因此直接干涉测试法并不能很广泛的应用;Ritchey-Common法需要一块高精度的大口径标准球面镜,成本也较高,并且由于光束是斜入射至平面镜上,所以光路的搭建和调整也比较困难;子孔径拼接法可以避免大口径标准镜的使用,但是该方法的误差累积现象比较严重,并且测试时间较长,容易受测试环境的影响,所以测试精度不是很高;五棱镜扫描法通过测量表面倾斜角来测试大口径平面镜的面形,不需要使用大口径标准镜,成本较低,通过适当的设计算法和测试流程,可以有效的抑制各种主要误差的影响,测试精度较高。但是,传统的基于五棱镜扫描法的大口径平面镜面形测试装置,只能对竖直指向的大口径平面镜进行测试,总体上可以分为两种测试类型,其一,测试装置使用一个扫描的五棱镜来直接测量表面倾斜角,该测试装置受各种误差的影响很大,测试精确度低;其二,测试装置使用两个五棱镜来测量表面倾斜角的差值,其中一个五棱镜是静止的参考五棱镜,另一个五棱镜是运动的扫描五棱镜,该测试装置可以消除倾斜误差的一阶影响和大部分测试环境的影响,但是由于使用的两个五棱 ...
【技术保护点】
1.一种大口径平面镜面形的测试装置,其特征在于,所述测试装置包括:底座、转台、旋转装置、五棱镜、平面镜、光栅尺、第一自准直仪以及第二自准直仪;其中,所述转台设置于所述底座上;所述旋转装置与所述转台的一端固定连接,通过旋转所述转台带动所述旋转装置进行旋转;所述五棱镜、所述平面镜以及所述光栅尺均设置在所述旋转装置背离所述转台一侧的平面上,所述第一自准直仪和所述第二自准直仪设置于所述旋转装置的一端且在垂直于所述旋转装置的方向上紧邻设置,所述五棱镜与所述第一自准直仪对准,所述平面镜与所述第二自准直仪对准。
【技术特征摘要】
1.一种大口径平面镜面形的测试装置,其特征在于,所述测试装置包括:底座、转台、旋转装置、五棱镜、平面镜、光栅尺、第一自准直仪以及第二自准直仪;其中,所述转台设置于所述底座上;所述旋转装置与所述转台的一端固定连接,通过旋转所述转台带动所述旋转装置进行旋转;所述五棱镜、所述平面镜以及所述光栅尺均设置在所述旋转装置背离所述转台一侧的平面上,所述第一自准直仪和所述第二自准直仪设置于所述旋转装置的一端且在垂直于所述旋转装置的方向上紧邻设置,所述五棱镜与所述第一自准直仪对准,所述平面镜与所述第二自准直仪对准。2.根据权利要求1所述的测试装置,其特征在于,所述测试装置还包括:第一承载滑动装置;其中,所述第一承载滑动装置设置于所述底座上,所述转台设置于所述第一承载滑动装置上。3.根据权利要求2所述的测试装置,其特征在于,所述底座上设置有第一导轨和第二导轨;其中,所述第一承载滑动装置同时设置于所述第一导轨和所述第二导轨上,通过在所述第一导轨上和所述第...
【专利技术属性】
技术研发人员:袁理,韩冰,陈晓苹,谷立山,冯昇杰,孙一书,
申请(专利权)人:长春长光精密仪器集团有限公司,
类型:发明
国别省市:吉林,22
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