【技术实现步骤摘要】
新型晶圆背面缺陷检查装置
本技术涉及半导体集成电路制造领域,尤其是涉及一种新型晶圆背面缺陷检查装置。
技术介绍
公开号为CN206292186U的技术公开了一种晶圆背面缺陷检查装置,包括:基座;第一检测组件,设置于所述基座上,用于检查晶圆正面缺陷;第二检测组件,设置于所述基座上,并通过多个夹持装置固定晶圆。本技术提出的晶圆背面缺陷检查装置,通过增设的第二检测组件从侧边吸附晶圆边缘,避免了直接吸附晶圆背面造成待检查区域被遮挡的情况发生,对于晶圆背面缺陷的检查影响降低到最小,同时可控制晶圆背面的最大倾角,使得目视观察更加清晰。然而,第二检测组件的夹持装置通过吸盘固定晶圆,而用于安装吸盘的悬臂与整个弧形架体为一体结构,无法根据需要进行伸缩调节,从而无法改变吸盘在晶圆的吸附位置。
技术实现思路
本技术的目的就是为了解决上述问题,提供一种新型晶圆背面缺陷检查装置,其用于安装吸盘的悬臂可以伸缩调节,以便于根据需要调节吸盘的吸附位置。为解决上述技术问题,本技术的实施方式提供了一种新型晶圆背面缺陷检查装置,其包括:基座(1);第一检测组件(2),其设置于所述基座(1)上,用于检查晶圆正面缺陷;第二检测组件(3),其设置于所述基座(1)上,并通过多个夹持装置(4)固定晶圆,所述夹持装置为安装于弧形架体所设悬臂的吸盘;所述悬臂包括固定于弧形架体的后悬臂(4b)以及用于安装吸盘的前悬臂(4a),所述前悬臂、后悬臂之间安装有伸缩机构。进一步,所述伸缩机构为伸缩气缸组件。进一步,所述伸缩机构包括:呈T字形的伸缩杆(5a),所述后悬臂设置有与伸缩杆配合的T形滑动槽(5b),所述伸缩杆滑动安装 ...
【技术保护点】
1.一种新型晶圆背面缺陷检查装置,其包括:
【技术特征摘要】
1.一种新型晶圆背面缺陷检查装置,其包括:基座(1);第一检测组件(2),其设置于所述基座(1)上,用于检查晶圆正面缺陷;第二检测组件(3),其设置于所述基座(1)上,并通过多个夹持装置(4)固定晶圆,所述夹持装置为安装于弧形架体所设悬臂的吸盘;其特征在于,所述悬臂包括固定于弧形架体的后悬臂(4b)以及用于安装吸盘的前悬臂(4a),所述前悬臂、后悬臂之间安装有伸缩机构。2.根据权利要求1所述的新型晶圆背面缺陷检查装置,其特征在于,所述伸缩机构为伸缩气缸组件。3.根据权利要求1所...
【专利技术属性】
技术研发人员:魏盘生,
申请(专利权)人:上海灏谷集成电路技术有限公司,
类型:新型
国别省市:上海,31
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。