高精度小型压力传感器制造技术

本实用新型专利技术涉及的高精度小型压力传感器，属于气压检测领域。其包括依次设置的陶瓷芯体、金锗合金膜层、弹性膜片以及容纳三者的壳体，所述壳体上下两端分别固定有探头和端盖，所述壳体内部设置有内衬，所述陶瓷芯体与金锗合金膜层之间设有压力感应芯片，所述弹性膜片、探头与壳体共同构成测试空腔，压力感应芯片连接有设置在壳体表面用于显示介质压强的耐高温显示屏，陶瓷芯体、端盖和壳体构成安装空腔。本实用新型专利技术的有益之处是：采用特氟龙材料制作的内衬，耐腐蚀；压力检测装置通过塑胶安装件安装在壳体的安装空腔内，耐振动、耐冲击；采用金属制成的弹性膜片、探头以及壳体，耐磨损，工作温度范围宽；测量综合精度高、运行长期稳定。

【技术实现步骤摘要】
高精度小型压力传感器
本技术涉及的高精度小型压力传感器，属于气压检测领域。
技术介绍
目前市场上的直接测压型压力传感器的原理为：将介质（气体或液体）由接头导入一个由压力测量芯体和管道围成的密闭空间内，介质压力直接作用于测量芯体表面上引起形变，这一微小的变化传递给背面的电子测量元件，贴片电阻或压电晶体，根据变形量的大小转变成相应的电信号，由导线传送出来给需要的电路。接头导入和管道外壳一般是用不锈钢材料制成，在高温的强酸性或强碱性的介质中也会被腐蚀掉，为了解决上述技术问题，现有技术中经常采用塑料材质的接头导入和管道外壳，故使用特氟龙材料做管身外壳，但是，特氟龙材料管身外壳机械强度较差，无法做到测量高压力的传感器，使用特氟龙的管身外壳的一般只能做到2MPa以下的压力传感器，再大一些的压力就承受不了而泄露损坏。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种能够在高温，高腐蚀的环境中准确检测介质压强的高精度小型压力传感器。针对以上技术问题，本技术设计的高精度小型压力传感器，其包括依次设置的陶瓷芯体、金锗合金膜层、弹性膜片以及容纳三者的壳体，所述壳体上下两端分别固定有探头和端盖，所述壳体内部设置有内衬，所述陶瓷芯体与金锗合金膜层之间设有压力感应芯片，所述弹性膜片、探头与壳体共同构成测试空腔，压力感应芯片连接有设置在壳体表面用于显示介质压强的耐高温显示屏，陶瓷芯体、端盖和壳体构成安装空腔。作为优选，所述端盖与壳体之间采用过盈配合的方式安装，采用过盈配合的方式取代以往的焊接封装方式，结构简单，安装方便。作为优选，所述安装空腔内设置有分别连接在压力感应芯片和耐高温显示屏上的压力检测装置，压力检测装置用于将弹性膜片微小的形变转化为压力参数显示在耐高温显示屏上，该压力检测装置采用市场上成熟的压力检测及相关电路，以达到最佳的检测精度，由由于采用现有技术，在这里不予赘述。作为优选，所述压力检测装置外围设置有塑胶安装件，压力检测装置通过塑胶安装件安装在壳体的安装空腔内，采用塑胶安装件对压力检测装置进行固定，可以降低振动和冲击对压力检测装置的影响，还可以减少外在环境对压力检测装置内部电路的干扰，提高工作过程的稳定性。作为优选，所述弹性膜片、探头以及壳体均由金属材料制成，采用金属材料可以在高温下正常运行，而且金属材料耐磨损可以提高整体结构的使用寿命。作为优选，所述内衬由特氟龙材料制成，由于内衬要长期接触待测介质，容易腐蚀，采用特氟龙材料可以明显提高内衬的耐腐蚀性，进而提高整体结构的使用寿命。与现有技术相比，本技术的有益之处是：采用特氟龙材料制作的内衬，耐腐蚀；压力检测装置通过塑胶安装件安装在壳体的安装空腔内，耐振动、耐冲击；采用金属制成的弹性膜片、探头以及壳体，耐磨损，工作温度范围宽；测量综合精度高、运行长期稳定。附图说明下面结合附图对本技术进一步说明。图1是本技术的整体结构图；图2是A处局部放大图。图中：1、陶瓷芯体；2、金锗合金膜层；3、弹性膜片；4、壳体；41、探头；42、端盖；5、内衬；6、压力感应芯片；7、测试空腔；8、耐高温显示屏；9、安装空腔；91、压力检测装置；10、塑胶安装件。具体实施方式下面将结合附图对本技术的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。在本技术的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“竖直”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，还可以是两个元件内部的连通，对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。如图1和图2所示，本技术涉及的高精度小型压力传感器，具有壳体4，壳体4的上下两端分别设置有端盖41和探头42，在壳体4内部设有内衬5，在内衬5中部设有陶瓷芯体1，陶瓷芯体1下方连接有压力感应芯片6，压力感应芯片6下方设置有弹性膜片3，该弹性膜片3具有金锗合金膜层2，压力感应芯片6下侧与金锗合金膜层2相抵触，陶瓷芯体1上方与内衬及端盖共同构成安装腔体9，在安装腔体9内设置有用于将弹性膜片3的微小形变转化为压强参数的压力检测装置91，该压力检测装置91是将微小的形变转化为电信号，在市场上已有成熟产品，只需根据实际需要选用即可，在壳体4外侧还设有连接在压力检测装置91上用于显示压强参数的耐高温显示屏8，探头41、内衬5及弹性膜片3共同构成测试空腔7。优选的，安装空腔9内设置有用于固定压力检测装置91的塑胶安装件10，采用塑胶安装件对压力检测装置进行固定，可以降低振动和冲击对压力检测装置的影响，还可以减少外在环境对压力检测装置内部电路的干扰，提高工作过程的稳定性。优选的，所述弹性膜片3、探头41以及壳体4均由金属材料制成，采用金属材料可以在高温下正常运行，而且金属材料耐磨损可以提高整体结构的使用寿命，内衬5由特氟龙材料制成，由于内衬要长期接触待测介质，容易腐蚀，采用特氟龙材料可以明显提高内衬的耐腐蚀性，进而提高整体结构的使用寿命。优选的，所述端盖42与壳体4之间采用过盈配合的方式安装，采用过盈配合的方式取代以往的焊接封装方式，结构简单，安装方便。需要强调的是：以上仅是本技术的较佳实施例而已，并非对本技术作任何形式上的限制，凡是依据本技术的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰，均仍属于本技术技术方案的范围内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种高精度小型压力传感器，其特征在于：其包括依次设置的陶瓷芯体（1）、金锗合金膜层（2）、弹性膜片（3）以及容纳三者的壳体（4），所述壳体（4）上下两端分别固定有探头（41）和端盖（42），所述壳体（4）内部设置有内衬（5），所述陶瓷芯体（1）与金锗合金膜层（2）之间设有压力感应芯片（6），所述弹性膜片（3）、探头（41）与壳体（4）共同构成测试空腔（7），压力感应芯片（6）连接有设置在壳体（4）表面用于显示介质压强的耐高温显示屏（8），所述陶瓷芯体（1）、端盖（42）和壳体（4）构成安装空腔（9）。

【技术特征摘要】
1.一种高精度小型压力传感器，其特征在于：其包括依次设置的陶瓷芯体（1）、金锗合金膜层（2）、弹性膜片（3）以及容纳三者的壳体（4），所述壳体（4）上下两端分别固定有探头（41）和端盖（42），所述壳体（4）内部设置有内衬（5），所述陶瓷芯体（1）与金锗合金膜层（2）之间设有压力感应芯片（6），所述弹性膜片（3）、探头（41）与壳体（4）共同构成测试空腔（7），压力感应芯片（6）连接有设置在壳体（4）表面用于显示介质压强的耐高温显示屏（8），所述陶瓷芯体（1）、端盖（42）和壳体（4）构成安装空腔（9）。2.根据权利要求1所述的高精度小型压力传感器，其特征在于：所述端盖（42）与壳...

【专利技术属性】
技术研发人员：熊旺，宋涛，贾传强，崔黎丽，吴为，
申请(专利权)人：苏州市尚科产品检测中心，
类型：新型
国别省市：江苏,32