【技术实现步骤摘要】
本技术涉及金属材料的镀覆设备，特别是真空镀膜设备。在真空镀膜技术中，无论是溅射法或离子镀法，都需要靶材，用什么靶材，就获得什么材料的薄膜或这种材料的化合物薄膜，因此，若获得合金薄膜或该合金化合物薄膜，就需要用合金靶材。目前，对于多元成分靶材，包括金属与非金属靶材，有以下几种组成方式1.多元成分共熔一体，但有时很难熔炼；2.多元成分的粉末冶金，但使用中容易热裂；3.机械拼靶，此种靶的组成方式多以扇形组合为主，即把不同组元的材料，以扇形面积组合，用扇形面积比控制各组元材料成分比，此种靶加工难度大，而且不易控制成分，并只能采用间接冷却，由于每组元单体面积较大，在某些镀膜工艺中，成分不均匀，都影响了成膜质量，故在应用上有很大局限性。本技术的目的在于避免上述现有技术的不足之处而提供一种易加工、组分比例的组成方式灵活、成膜质量较高的一种新型组合靶。该技术的目的可通过如下的措施达到用主要组元为基材制备靶块，在此靶块上可灵活地填充一种或多种其他组元而形成填充式组合靶。下面通过附图及实施例作进一步详述附图说明图1为本技术的结构示意图。图2为图1的俯视图。图3为按扇形面积组成的机械拼靶示意图。图1、2给出了该组合靶的结构示意图。由图可见，在基材(1)上有填充元素(2)，该填充元素可为一种或多种，填充元素可均匀分布或非均匀分布，也可区域分布，因此组成方式较为灵活，组分比例好控制，且好加工，由于可直接冷却，因此成膜质量也较高。图3给出按扇形面积组成的机械拼靶，(1)为A组元，(2)为B组元，由图可见，这种各扇形组元，即不好加工又难以对接，且只能间接冷却，都影响了成膜质量。本...
【技术保护点】
一种用于金属材料镀覆设备的多元素填充式组合靶，其特征在于在主要组元为基材（１）制备的靶块上，有填充元素（２），该填充元素（２）可为一种或多种其他组元材料，填充元素可均匀分布或非均匀分布，也可区域分布。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：吴北新，王仁，杨光耀，张云汉，王福柱，
申请(专利权)人：北京钢铁学院分院，航空航天工业部第五研究院第五一一研究所，
类型：实用新型
国别省市：11[中国|北京]
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