一种高效量盘尺制造技术

本实用新型专利技术提供了一种高效量盘尺，它包括量盘尺和校准工装，量盘尺包括中心旋转轴、支撑杆、移动手柄、调节螺母、磁性底座和百分表，支撑杆分为上支撑杆、中支撑杆和下支撑杆，其中上支撑杆和下支撑杆采用“弓”字型结构、中支撑杆采用“一”字形结构，上、中、下支撑杆首端使用中心旋转轴衔接，尾端设有移动手柄，每个支撑杆与水平面平行，并均匀分布若干个内螺纹孔，采用磁性底座配合内螺纹孔固定百分表，并且磁性底座与支撑杆间设有调节螺母。本实用新型专利技术可有效地保证量盘尺的校准精度，并且可以增加测量过程中的有效数据，减少测量误差，提高测量效率和准确性。

【技术实现步骤摘要】
一种高效量盘尺
本技术属于衬底晶圆加工
，具体涉及一种用于测量研磨盘、铜抛盘和抛光盘等圆盘TTV数值的量盘尺结构和校准该量盘尺的校准工装。
技术介绍
近几年来，集成电路芯片封装技术向更小型化、更高密度、更高性能、更多功能的方向发展，导致衬底晶圆片的直径在逐步增大，对应的晶圆片厚度也在微量减少。晶圆片的减薄能够减小芯片封装体积，提高机械性能和电气性能，改善芯片的散热效果，有助于开发堆叠式芯片的封装方法，用于生产小型、轻便且功能强大的电子设备。在晶圆减薄过程中，晶圆表面质量要求很高，其中TTV（TotalThicknessVariation），也就是晶圆内总厚度偏差直接影响后续封装工艺和芯片的最终质量。晶圆减薄一般采用研磨、铜抛和化学机械抛光等方法去除厚度余量，为保证加工后晶圆的TTV数值，测量以及修正研磨盘、铜盘和抛光盘的TTV数值变得尤为重要，因此设计一种高效量盘尺是十分必要的。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种针对现有技术对晶圆高质量的要求，能够增大测量精准性和使用寿命，便于使用、保管和携带的高效量盘尺。本技术的目的是这样实现的：它包括量盘尺和校准工装，量盘尺包括中心旋转轴、支撑杆、移动手柄、调节螺母、磁性底座和百分表，校准工装包括水平圆面和支架。（1）支撑杆：包括上支撑杆、中支撑杆和下支撑杆，其中上支撑杆和下支撑杆采用“弓”字型结构、中支撑杆采用“一”字形结构，每个支撑杆与水平面平行，并均匀分布若干个内螺纹孔；支撑杆的长度与被测圆盘半径比为1:（0.8-1.2）；（2）中心旋转轴：上、中、下支撑杆首端使用中心旋转轴衔接，上、中、下支撑杆可绕其旋转；（3）移动手柄：该结构设置于支撑杆的尾端，下表面与支撑杆下表面保持水平一致；（4）调节螺母：设置于支撑杆与磁性底座间，用于调节磁性底座与支撑框间距离；（5）百分表：采用磁性底座固定于支撑杆上，数量为3-5个。量盘尺校准工装包括如下结构：（1）水平圆面：为圆形硬质合金板，水平圆面直径与量盘尺支撑杆长度比为1：（1.5-2）。（2）支架：为硬质合金圆环，使用柱脚与水平圆盘连接。本技术还有这样一些特征：（1）量盘尺的支撑杆使用不易变形的材料，如钛合金、碳纤维、钢等。（2）校准工装的水平圆面直径和支架圆环外圆直径比为1:1。（3）校准工装的水平圆面与支架圆环使用柱脚连接，柱脚高度略小于量盘尺上支撑杆下表面到所连接百分表指针归零时顶针的垂直距离。量盘尺用于测量前需要使用校准工具校准，首先校准各支撑杆上的百分表，将上支撑杆首端下表面和移动手柄的下表面放置在校准工装支架的上表面，保证百分表的顶针与校准工装的水平圆面接触，手动调节螺母，保证上支撑杆的各百分表示数相同，重复上述步骤调节中支撑杆和下支撑杆上的百分表；然后调节量盘尺的上、中、下支撑杆间夹角，将整个量盘尺放入校准工装内，微动调节螺母，保证所有百分表示数相同，量盘尺校准结束。测量时，将量盘尺放在被测圆盘上，保证一个支撑杆位置不动，不断旋转另外两个支撑杆进行测量，边旋转支撑杆边记录百分表示数，最终得到被测圆盘的TTV数值，根据需求进行修盘。本技术的有益效果有：（1）量盘尺的支撑杆采用“弓”字型结构可有效避免支撑杆的变形，增大测量精准性和使用寿命。（2）量盘尺的支撑杆间使用中心旋转轴连接，可缩短量盘尺的长度，便于使用、保管和携带。（3）量盘尺的支撑杆可以绕中心旋转轴旋转，可测量百分表所在的整个圆周的TTV数值，提高测量速度，增大测量范围，提高数据准确性。（4）校准工装可以放置于不平整的面上进行量盘尺校准，减少外界因素影响对校准过程的影响，提高校准精度。（5）多个量盘尺可以共用一个校准工装。附图说明图1为本技术量盘尺结构示意图；图2为图1俯视图；图3-5为量盘尺的上、中、下支撑杆结构示意图；图6为校准工装结构示意图；图7为图6剖视图。具体实施方式为了使本技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图和实施例对本技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本技术，并不用于限定本技术。图1-5为量盘尺结构示意图，图6-7为校准工装结构示意图。该量盘尺包括旋转轴4、支撑杆、移动手柄5、调节螺母6、磁性底座7和百分表8。其中支撑杆分为上支撑杆1、中支撑杆2和下支撑杆3，其中上支撑杆和下支撑杆采用“弓”字型结构、中支撑杆采用“一”字形结构，上、中、下支撑杆首端使用旋转轴衔接，尾端设有移动手柄，每个支撑杆与水平面平行，并均匀分布若干个内螺纹孔9，采用磁性底座配合内螺纹孔固定百分表，并且磁性底座与支撑杆间设有调节螺母。量盘尺的校准工装包括水平圆面10和支架11，其中水平圆面为圆形硬质合金板，支架为硬质合金圆环，使用柱脚12与水平圆盘连接。以上内容是结合具体的优选实施方式对本技术所做的进一步详细说明，不能认定本技术的具体实施只限于这些说明。对于具有本技术所属领域基础知识的人员来讲，可以很容易对本技术进行变更和修改，这些变更和修改都应当视为属于本技术所提交的权利要求书确定的专利保护范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种高效量盘尺，其特征在于它包括量盘尺和校准工装，量盘尺包括中心旋转轴、支撑杆、移动手柄、调节螺母、磁性底座和百分表：支撑杆：包括上支撑杆、中支撑杆和下支撑杆，其中上支撑杆和下支撑杆采用“弓”字型结构、中支撑杆采用“一”字形结构，每个支撑杆与水平面平行，并均匀分布若干个内螺纹孔；支撑杆的长度与被测圆盘半径比为1:（0.8‑1.2）；中心旋转轴：上支撑杆、中支撑杆、下支撑杆首端使用中心旋转轴衔接，上支撑杆、中支撑杆、下支撑杆可绕其旋转；移动手柄：该结构设置于支撑杆的尾端，下表面与支撑杆下表面保持水平一致；调节螺母：设置于支撑杆与磁性底座间，用于调节磁性底座与支撑框间距离；百分表：采用磁性底座固定于支撑杆上，数量为3‑5个；校准工装包括如下结构：水平圆面：为圆形硬质合金板，水平圆面直径与量盘尺支撑杆长度比为1：（1.5‑2）；支架：为硬质合金圆环，使用柱脚与水平圆盘连接。

【技术特征摘要】
1.一种高效量盘尺，其特征在于它包括量盘尺和校准工装，量盘尺包括中心旋转轴、支撑杆、移动手柄、调节螺母、磁性底座和百分表：支撑杆：包括上支撑杆、中支撑杆和下支撑杆，其中上支撑杆和下支撑杆采用“弓”字型结构、中支撑杆采用“一”字形结构，每个支撑杆与水平面平行，并均匀分布若干个内螺纹孔；支撑杆的长度与被测圆盘半径比为1:（0.8-1.2）；中心旋转轴：上支撑杆、中支撑杆、下支撑杆首端使用中心旋转轴衔接，上支撑杆、中支撑杆、下支撑杆可绕其旋转；移动手柄：该结构设置于支撑杆的尾端，下表面与支撑杆下表面保持水平一致；调节螺母：设置...

【专利技术属性】
技术研发人员：左洪波，杨鑫宏，李铁，
申请(专利权)人：哈尔滨秋冠光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：黑龙江,23