具有耐铝液腐蚀复合陶瓷涂层的内加热蒸发篮的制备方法技术

本发明专利技术公开了一种具有耐铝液腐蚀复合陶瓷涂层的内加热蒸发篮制备方法，属于真空镀膜技术领域。所述钨丝蒸发篮的表面采用热喷涂技术喷涂制备0.8mm~1.5mm复合结构Al2O3‑8YSZ耐侵蚀层。氧化铝和钇稳定氧化锆粉末以10~55wt%Al2O3：90~45wt%8YSZ称重混合，再经球磨干燥作为喷涂材料。该喷涂材料中Al2O3的掺入对YSZ有增强增韧效果不易开裂，并且形成致密、低孔隙的Al2O3/8YSZ喷涂层，具有优良的耐腐蚀性和高温力学性能，能够显著延长盛装熔融金属的钨丝蒸发篮的服役寿命，作为一种内加热式坩埚可长久、广泛应用于真空蒸镀金属薄膜技术领域，具有十分重要的工程应用价值。

Method for preparing internal heating evaporation basket with aluminum liquid corrosion resistant composite ceramic coating

The invention discloses a method for preparing an internal heating evaporation basket with an aluminum liquid corrosion resistant composite ceramic coating, which belongs to the technical field of vacuum coating. The surface of the tungsten evaporation basket is sprayed with thermal spraying technology to prepare 0.8mm~1.5mm composite structure Al2O3 8YSZ corrosion resistant layer. Alumina and yttria stabilized zirconia powders were mixed with 10~55wt%Al2O3:90~45wt%8YSZ and then dried by ball milling as spraying materials. The addition of Al2O3 in the spraying material is not easy to crack in the toughening and toughening effect of YSZ, and forms a compact and low pore Al2O3/8YSZ spraying layer. It has excellent corrosion resistance and high temperature mechanical properties. It can significantly prolong the service life of the tungsten evaporation basket filled with molten metal. As an internal heating crucible, it can be long and widely used as a kind of internal heating crucible. It is widely applied in vacuum evaporation metal film technology field, and has very important engineering application value.

【技术实现步骤摘要】
具有耐铝液腐蚀复合陶瓷涂层的内加热蒸发篮的制备方法
本专利技术涉及真空镀膜
，尤其涉及一种具有耐铝液腐蚀复合陶瓷涂层的内加热蒸发篮的制备方法。
技术介绍
电阻加热式蒸发源因其结构简单、安装方便、价格低廉等特点，广泛应用于真空镀膜领域，常用于真空蒸镀包装材料、电容器金属化镀膜、显示屏镀层、烫金镀层、防伪标志镀层、反光镀层以及纸张、纺织品镀铝等，主要蒸镀膜料是铝丝铜银金等。作为盛装低熔点金属膜材（如铝丝、铝片、铝颗粒、铜丝、银丝等）的一种装置，其具有耐高温、耐金属熔体侵蚀性能，在高真空下条件下导电发热，主要通过电阻发热使膜材熔化蒸发沉积到基底上，是各种电阻真空热蒸发镀膜设备中最易损耗的零部件，也是影响镀膜质量、生产效率及制造成本的关键。尤其随着未来铝制品需求量的不断增长，对盛装铝液的容器材料的性能提出了更高的要求。电阻加热式蒸发源通常选用高熔点、低蒸汽压、化学和机械性能稳定的难熔金属如钨绞丝、钼丝、钽丝制成金属质蒸发篮。实际应用中，金属质蒸发篮加热后会变脆而易折断，尤其于高真空下与高温熔融金属（比如Ni，Al）相浸润而发生合金化，降低整个材料的熔点导致金属质蒸发篮使用寿命近乎一次性本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种具有耐铝液腐蚀复合陶瓷涂层的内加热蒸发篮的制备方法，其特征在于：具体包括以下步骤：（1）机加工：采用长度10cm、线径1mm的高纯度钨丝绕制成线圈顶部直径15mm、高15mm的单股锥形丝状蒸发篮作为基体材料；（2）基体表面处理：对步骤（1）机加工后的待喷涂钨丝蒸发篮表面用碳化硅砂纸进行粗打磨，然后浸入NaOH溶液作除油处理，并对不施喷部位进行表面包覆处理，最后再进行喷砂粗化；（3）配料混合球磨：取等离子致密化球形8YSZ粉末和烧结破碎Al2O3粉末，按质量百分比Al2O38YSZ=10~55%：45~90%称重混合，再加入10~30wt%的酒精，装入球磨机球磨，球磨速度150~200rpm...

【技术特征摘要】
1.一种具有耐铝液腐蚀复合陶瓷涂层的内加热蒸发篮的制备方法，其特征在于：具体包括以下步骤：（1）机加工：采用长度10cm、线径1mm的高纯度钨丝绕制成线圈顶部直径15mm、高15mm的单股锥形丝状蒸发篮作为基体材料；（2）基体表面处理：对步骤（1）机加工后的待喷涂钨丝蒸发篮表面用碳化硅砂纸进行粗打磨，然后浸入NaOH溶液作除油处理，并对不施喷部位进行表面包覆处理，最后再进行喷砂粗化；（3）配料混合球磨：取等离子致密化球形8YSZ粉末和烧结破碎Al2O3粉末，按质量百分比Al2O38YSZ=10~55%：45~90%称重混合，再加入10~30wt%的酒精，装入球磨机球磨，球磨速度150~200rpm，球磨时间6~12h；（4）粉料干燥：球磨完成后将混合均匀悬浮液在80℃~100℃下干燥1~2h得到喂料粉末；（5）热喷涂陶瓷层：采用热喷涂技术将步骤（4）所得混合均匀的喂料粉末喷涂在步骤（2）处理后的蒸发篮表面，形成厚度为0.8~1.5mm的耐铝液腐蚀复合陶瓷涂层。2.根据权利要求1所述的具有耐铝液腐蚀复合陶瓷涂层的内加热蒸发篮的制备方法，其特征在于：在步骤（2）中，所述的NaOH溶液浓度为50-70g...

【专利技术属性】
技术研发人员：李强，郑钦龙，何柯，
申请(专利权)人：福州大学，
类型：发明
国别省市：福建,35