一种片上集成可调带宽微波滤波器制造技术

本发明专利技术公开了一种片上集成可调带宽微波滤波器，涉及光电器件技术领域。该片上集成可调带宽微波滤波器包括：低折射率衬底层，以及形成于所述低折射率衬底层之上且通过光波导相连的光输入端、高速电光调制器、可调带宽滤波器、1×2分束器、高速光电探测器、光输出端。其中，可调带宽滤波器用于微波信号的滤波，并通过改变耦合波导与谐振腔的耦合系数，实现带宽可调。本发明专利技术能解决现有技术微波滤波器带宽不可调的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种片上集成可调带宽微波滤波器
本专利技术涉及光电器件
，具体来讲是一种片上集成可调带宽微波滤波器。
技术介绍
近年来，由于光通信与微波通信的快速融合，光电技术的迅速发展以及“微波光子学”这一概念的提出，微波光子滤波器作为其中的一个方向，也开始蓬勃发展，并呈现出前所未有的发展潜力和应用前景。微波光子滤波器是在光域中实现对微波信号进行处理的重要器件，其具有很好的调谐性和很高的品质因子(Q)，这些都是传统的电子技术难以实现的。目前，微波光子滤波器大多是使用光纤链路将多个离散的光学元件连接起来实现的，从而导致该滤波器系统体积庞大，昂贵而且功耗较大。随着集成光学的快速发展，片上集成微波光子滤波器也得到了一定的研究。但是，片上集成微波光子滤波器仍然存在一个问题：该片上集成微波光子滤波器难以实现滤波器的带宽可调。
技术实现思路
针对现有技术中存在的缺陷，本专利技术的目的在于提供一种片上集成可调带宽微波滤波器，以解决现有技术微波滤波器带宽不可调的问题。为了解决上述技术问题，本专利技术采取的技术方案是：提供一种片上集成可调带宽微波滤波器，包括：低折射率衬底层，以及形成于所述低折射率衬底层之上且通过本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种片上集成可调带宽微波滤波器，其特征在于，该片上集成可调带宽微波滤波器包括：低折射率衬底层，以及形成于所述低折射率衬底层之上且通过光波导相连的光输入端、高速电光调制器、可调带宽滤波器、1×2分束器、高速光电探测器、光输出端；所述可调带宽滤波器用于微波信号的滤波，并通过改变耦合波导与谐振腔的耦合系数，实现带宽可调。

【技术特征摘要】
1.一种片上集成可调带宽微波滤波器，其特征在于，该片上集成可调带宽微波滤波器包括：低折射率衬底层，以及形成于所述低折射率衬底层之上且通过光波导相连的光输入端、高速电光调制器、可调带宽滤波器、1×2分束器、高速光电探测器、光输出端；所述可调带宽滤波器用于微波信号的滤波，并通过改变耦合波导与谐振腔的耦合系数，实现带宽可调。2.如权利要求1所述的片上集成可调带宽微波滤波器，其特征在于：所述可调带宽滤波器的谐振腔区域设置有一组电极，用于调节谐振腔的中心频率。3.如权利要求1所述的片上集成可调带宽微波滤波器，其特征在于：所述光输出端与外部的光谱仪连接，实现对光谱信号的监测。4.如权利要求1所述的片上集成可调带宽微波滤波器，其特征在于：该片上集成可调带宽微波滤波器根据使用的高速电光调制器的不同，可实现可调带宽带通微波滤波器或可调带宽带阻微波滤波器。5.如权利要求1所述的片上集成可调带宽微波滤波器，其特征在于：所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：张宇光，胡晓，肖希，陈代高，王磊，冯朋，李淼峰，余少华，
申请(专利权)人：武汉邮电科学研究院，
类型：发明
国别省市：湖北,42