The invention discloses a scraping and wiping device for a coating machine, including a wiping base, a driving motor used to drive a wiper base in a barrier room, a drive motor and a wiping base to be connected through a connecting rod. The barrier chamber includes a capacitive area for a drive motor, and a scraper base. The barrier area is connected with the holding area, and the barrier area will be wiped away from the working area and the storage area where the base is located. The invention also discloses a coating machine. The coating machine and its wiping device can enhance the isolation effect, effectively avoid the splash of light resistance to the driving source, so as to ensure the wiping effect and the normal operation of the equipment; the structure is simple, the transmission is safe and reliable, and the maintenance and maintenance are convenient.
【技术实现步骤摘要】
一种涂布机及其刮拭装置
本专利技术涉及显示面板制造领域,尤其涉及一种涂布机及其刮拭装置。
技术介绍
现有技术TFTLCD行业中,涂布机是不可或缺的一个设备,涂布机将光阻均匀的涂布基板上,从而进行后续的光阻曝光,显影等制程,完成光罩图像的转刻。其中:涂布机吐出光阻的机构被称为口金,口金由高精密加工的材质构成。口金的清洁度对涂布的良率影响重大,口金的光阻残留直接影响涂布的效果,清洁度不够易造成产品的返工或报废,影响良品率。现在主流的涂布机厂商的刮拭结构,主要存在如下技术缺陷:进行涂布的工作区域直接暴露于口金吐出光阻的区域,大量光阻飞溅至驱动源,易造成刮拭异常和驱动作动异常。
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题在于,提供一种涂布机及其刮拭装置,增强隔离效果,有效避免光阻飞溅至驱动源,从而保证刮拭效果和设备正常作业;结构精简,传动安全可靠,便于维修和维护。为了解决上述技术问题,本专利技术实施例提供了一种用于涂布机的刮拭装置,刮拭基座;设置在阻隔室中的用以对刮拭基座进行驱动的驱动马达,驱动马达和刮拭基座通过连接杆进行连接,其中:阻隔室包括:用以装设驱动马达的容置区;设在刮拭基座和容置区之间的阻隔区,阻隔区与容置区相连通,阻隔区将刮拭基座所在的工作区和容置区隔离。其中,连接杆呈Z字形。其中,容置区具有与阻隔区相连的第一开口,阻隔区设有与工作区相连的第二开口,连接杆设在第一开口和第二开口之间的阻隔区内。其中,连接杆包括:设置在第二开口位置的与刮拭基座相连的第一连杆;设置在第一开口位置的与驱动马达相连的第二连杆;以及分别与第一连杆和第二连杆相连的第三连杆,其中:驱动马 ...
【技术保护点】
一种用于涂布机的刮拭装置,其特征在于,包括:刮拭基座;设置在阻隔室中的用以对所述刮拭基座进行驱动的驱动马达,所述驱动马达和所述刮拭基座通过连接杆进行连接,其中:所述阻隔室包括:用以装设所述驱动马达的容置区;设在所述刮拭基座和所述容置区之间的阻隔区,所述阻隔区与所述容置区相连通,所述阻隔区将刮拭基座所在的工作区和所述容置区隔离。
【技术特征摘要】
1.一种用于涂布机的刮拭装置,其特征在于,包括:刮拭基座;设置在阻隔室中的用以对所述刮拭基座进行驱动的驱动马达,所述驱动马达和所述刮拭基座通过连接杆进行连接,其中:所述阻隔室包括:用以装设所述驱动马达的容置区;设在所述刮拭基座和所述容置区之间的阻隔区,所述阻隔区与所述容置区相连通,所述阻隔区将刮拭基座所在的工作区和所述容置区隔离。2.如权利要求1所述的用于涂布机的刮拭装置,其特征在于,所述连接杆呈Z字形。3.如权利要求1所述的用于涂布机的刮拭装置,其特征在于,所述容置区具有与所述阻隔区相连的第一开口,所述阻隔区设有与所述工作区相连的第二开口,所述连接杆设在所述第一开口和所述第二开口之间的所述阻隔区内。4.如权利要求3所述的用于涂布机的刮拭装置,其特征在于,所述连接杆呈Z字形。5.如权利要求3或4所述的用于涂布机的刮拭装置,其特征在于,所述连接杆包括:设...
【专利技术属性】
技术研发人员:何文超,
申请(专利权)人:深圳市华星光电半导体显示技术有限公司,
类型:发明
国别省市:广东,44
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