可调节误差质量流量计的测试装置及测试方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了可调节误差质量流量计的测试装置，包括电连接被测可调节误差质量流量计并将可调节误差质量流量计输出的“起始信号”和“终止信号”形成两路脉冲信号的信号处理电路和与信号处理电路电连接并将两路脉冲信号进行A/D转换，计算出“起始信号”和“终止信号”的周期和相位差相关参数，并通过可调节误差质量流量计相关K系数来测算出流量，把测试结果在人机界面显示出来的工控机；本发明专利技术还公开了可调节误差质量流量计的测试方法；本发明专利技术结构简单、操作方便、测试方法精度高，自动化程度高。

Testing device and testing method of adjustable error mass flowmeter

The invention discloses a testing device for an adjustable error mass flowmeter, including an electrical connection that can be measured by a measured error mass flowmeter, a signal processing circuit that forms a two pulse signal with a \starting signal\ and a \termination signal\ output by an adjustable error mass flowmeter, and electrically connected to a signal processing circuit and two pulses of pulse. The signal is converted by A/D, and the relative parameters of the period and phase difference between the \starting signal\ and the \termination signal\ are calculated, and the flow is calculated by adjusting the relative K coefficient of the error mass flowmeter, and the test results are displayed in the human computer interface. The invention also opens the test of the adjustable error mass flowmeter. The method has the advantages of simple structure, convenient operation, high accuracy and high automation degree.

【技术实现步骤摘要】
可调节误差质量流量计的测试装置及测试方法
本专利技术涉及可调节误差质量流量计的测试装置，本专利技术还涉及可调节误差质量流量计的测试方法。
技术介绍
随着现代科学技术的发展，相继出现了一些直接测量流体质量的质量流量计(MFC)。质量流量计能快速响应精密控制流体的质量流量，重复性好,已广泛应用于半导体生产设备中，可调节误差质量流量计是其中的一种，可调节误差质量流量计是一种高精度的流量传感器，它输出的两路信号“起始信号”和“终止信号”周期T精度为0.1ms，电压峰峰值VP-P精度为1mv；相位差ΔT(ms)精度为0.001ms。现有的测试方法利用通用示波器采集信号，由测试人员读取这些信号波形的幅值、周期，并肉眼观察、测算相位差等参数，从而判断出流量传感器是否合格。现有测试技术及方法的不足之处在于：1.完全靠人工操作示波器及读取示波器相关参数，其数据精度差，实际测量误差较大。2.传统的测试方式效率低下。测试人员检测时，在对产品加放油和读取示波器上各种波形和参数的同时，又要进行数据记录，并通过流量计具体K系数来测算流量，判定传感器是否合格，操作流程较为复杂繁琐。
技术实现思路
为解决现有技术存在的本文档来自技高网...

【技术保护点】
可调节误差质量流量计的测试装置，其特征在于：包括电连接被测可调节误差质量流量计并将可调节误差质量流量计输出的“起始信号”和“终止信号”产生的正弦波信号进行整流、滤波，经过整流滤波输出原始波形并且在后级通过运放放大、比较处理形成两路幅值分别为5±0.5 Vpp的脉冲信号的信号处理电路；以及与所述的信号处理电路电连接并将两路脉冲信号进行A/D转换，计算出“起始信号”和“终止信号”的周期和相位差相关参数，并通过可调节误差质量流量计相关K系数来测算出流量，把测试结果在人机界面显示出来的工控机。

【技术特征摘要】
1.可调节误差质量流量计的测试装置，其特征在于：包括电连接被测可调节误差质量流量计并将可调节误差质量流量计输出的“起始信号”和“终止信号”产生的正弦波信号进行整流、滤波，经过整流滤波输出原始波形并且在后级通过运放放大、比较处理形成两路幅值分别为5±0.5Vpp的脉冲信号的信号处理电路；以及与所述的信号处理电路电连接并将两路脉冲信号进行A/D转换，计算出“起始信号”和“终止信号”的周期和相位差相关参数，并通过可调节误差质量流量计相关K系数来测算出流量，把测试结果在人机界面显示出来的工控机。2.根据权利要求1所述的可调节误差质量流量计的测试装置，其特征在于：所述的工控机包括测试控制装置，所述的测试控制装置包括读取信号处理电路的数据并将采样数据送入驱动程序模块缓存区、以及根据显示滤波判断是否停止采样的信号采集模块；把采样数据存储在一维数组中并将采样数据转换为数字信号的驱动程序模块；根据数字信号的垂直增益、垂直位移、水平增益进行幅度调整、位移调整和速率调整以及参数测量的信号调节...

【专利技术属性】
技术研发人员：丁凯，王金磊，
申请(专利权)人：四川泛华航空仪表电器有限公司，
类型：发明
国别省市：四川,51