The invention provides an automatic feeding system and a feeding method. The filling is carried through the inlet to the crucible, and the crucible is swayed through the upper and lower movements of the hydraulic cylinder in the filling process, so that the material filled in the crucible is distributed evenly. Further, the readings of the symmetrical weight of the monitoring device are monitored to control the packing process, and if the packing process is completed, the feeding port is closed, the crucible is controlled and / or the plurality of feed ports are relative moving so that the crucible is located at the next feeding port and continues to fill the filler in the crucible. The automatic feeding system and feeding method provided by the invention can avoid the problem of breaking the crucible caused by improper operation and easily contaminating the metal with the material filled.
【技术实现步骤摘要】
自动进料系统及进料方法
本专利技术涉及晶圆制造
,特别涉及一种自动进料系统及进料方法。
技术介绍
单晶硅拉晶炉所使用的坩埚单次装填多晶硅的重量在300KG左右,并且所装填的多晶硅为高纯度多晶硅,常见的多晶硅根据尺寸可分为:小型多晶硅、中型多晶硅和大型多晶硅。为了增加坩埚内部的空间利用率,往往需要按照一定规则人工将多晶硅置入坩埚内部,一般将中型多晶硅置于底部,大型多晶硅置于中间,小型多晶硅置于顶部,并且在坩埚内放置均匀,再对坩埚进行加热融化其内部的单晶硅。如将大型多晶硅置于顶部,在对其进行融化的过程中,中型多晶硅和小型多晶硅会率先溶解成液体,大型多晶硅由于尺寸较大将最后被溶解,因此会从坩埚顶部直接落至坩埚底部,造成坩埚破裂。而目前采取的人工装填多晶硅的方式主要面临如下几个问题:根据操作人员熟程度不同,坩埚的空间利用率不同,若装填不致密,将导致空间利用率下降;在装填多晶硅的过程中,易发生误操作使多晶硅掉落至坩埚底部造成坩埚破裂;若操作不当,多晶硅容易被钠、钾等杂质金属污染。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种自动进料系统及进料方法,以解决现有的人工填料方式容易发生误操作,使所填料掉落至坩埚底部造成坩埚破裂以及容易被杂质金属污染的问题。为解决上述技术问题,本专利技术提供一种自动进料系统,包括称重称、坩埚以及多个进料口;其中,所述坩埚设置于所述称重称上;所述称重称和所述多个进料口之间能够相对移动,以使所述多个进料口分时对位于设置在所述称重称上的所述坩埚。可选的,在所述自动进料系统中,还包括监控装置,用于监测所述称重称的读数并控制所述称重称和/或所述多个进 ...
【技术保护点】
一种自动进料系统,其特征在于,所述自动进料系统包括:称重称、坩埚以及多个进料口;其中,所述坩埚设置于所述称重称上;所述称重称和所述多个进料口之间能够相对移动,以使所述多个进料口分时对位于设置在所述称重称上的所述坩埚。
【技术特征摘要】
1.一种自动进料系统,其特征在于,所述自动进料系统包括:称重称、坩埚以及多个进料口;其中,所述坩埚设置于所述称重称上;所述称重称和所述多个进料口之间能够相对移动,以使所述多个进料口分时对位于设置在所述称重称上的所述坩埚。2.如权利要求1所述的自动进料系统,其特征在于,所述自动进料系统还包括监控装置,用于监测所述称重称的读数并控制所述称重称和/或所述多个进料口的相对移动。3.如权利要求2所述的自动进料系统,其特征在于,所述称重称和/或所述多个进料口是通过传送装置进行相对移动。4.如权利要求1所述的自动进料系统,其特征在于,所述坩埚是通过衬锅设置于所述称重称上。5.如权利要求4所述的自动进料系统,其特征在于,所述衬锅和所述称重称之间用弹性装置连接。6.如权利要求5所述的自动进料系统,其特征在于,所述弹性装置为弹簧和多个液压缸。7.如权利要求6所述的自动进料系统,其特征在于,所述多个液压缸...
【专利技术属性】
技术研发人员:汪燕,刘源,
申请(专利权)人:上海新昇半导体科技有限公司,
类型:发明
国别省市:上海,31
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