【技术实现步骤摘要】
防结垢排气管道
本技术属于机械
,涉及一种防结垢排气管道。
技术介绍
半导体生产过程中会产生高温废气,通过管道将上述高温废气引导至过滤处理处,然后再向外界排放纯净空气。现有的管道通常为单一的整体结构,使用一段时间后管道内很容易积垢。
技术实现思路
本技术的目的是针对现有技术存在的上述问题,提供一种稳定性高且能有效防止管道结垢的防结垢排气管道。本技术的目的可通过下列技术方案来实现:一种防结垢排气管道,包括呈管状的本体,其特征在于,还包括呈筒状的且位于本体内的连接筒,上述连接筒内端与本体之间具有弹簧,连接筒外端具有与本体内侧相接触的刮刀,上述弹簧的两端分别作用在本体和连接筒上。本防结垢排气管道在使用过程中,连接筒受到废气的推挤能克服弹簧弹簧,由于废气的流速不稳定,连接筒来回往复的移动过程中通过其上的刮刀能将本体内侧的结垢稳定的刮除。当然,防结垢排气管道不使用时,在弹簧的弹力作用下处于初始位置。一旦防结垢排气管道使用后,弹簧会大幅度收缩。可以看出,防结垢排气管道在使用和不使用两个状态之间切换时,刮刀会大幅度往复移动,最终通过刮刀将本体内的结垢刮除。在上述的防结垢排气管 ...
【技术保护点】
一种防结垢排气管道,包括呈管状的本体,其特征在于,还包括呈筒状的且位于本体内的连接筒,上述连接筒内端与本体之间具有弹簧,连接筒外端具有与本体内侧相接触的刮刀,上述弹簧的两端分别作用在本体和连接筒上。
【技术特征摘要】
1.一种防结垢排气管道,包括呈管状的本体,其特征在于,还包括呈筒状的且位于本体内的连接筒,上述连接筒内端与本体之间具有弹簧,连接筒外端具有与本体内侧相接触的刮刀,上述弹簧的两端分别作用在本体和连接筒上。2.根据权利要求1所述的防结垢排气管道,其特征在于,所述本体内侧具有呈环形凸出的挡沿,上述弹簧的两端分别作用在挡沿和连接筒上。3.根据权利要求2所述的防结垢排气管道,其特征在于,所述连接筒上具有凹入的弹簧孔,上述弹簧的其中一端位于弹簧孔处。4.根据权利要求3所述的防结垢排气管道,其特征在于,上述的弹簧和弹簧孔形成一弹性单元,所述弹性单元的数量至少为三个且沿本体中心周向分布。...
【专利技术属性】
技术研发人员:蔡聪正,
申请(专利权)人:嘉善天和半导体制程排气工业有限公司,
类型:新型
国别省市:浙江,33
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