【技术实现步骤摘要】
抗静电阻燃的废气排污管道
本技术属于机械
,涉及一种抗静电阻燃的废气排污管道。
技术介绍
半导体制作过程中会产生大量的废气,该废气易燃烧,因此,上述废气需要管道对其进行疏导至过滤处理处。现有的管道通常直接采用耐火材料制成,其成本比较高。而且质量重。
技术实现思路
本技术的目的是针对现有技术存在的上述问题,提供一种结构紧凑且稳定性高的抗静电阻燃的废气排污管道。本技术的目的可通过下列技术方案来实现:一种抗静电阻燃的废气排污管道,包括呈管状的本体,其特征在于,还包括一呈管状的内管,所述内管上具有若干与其垂直设置的连接管,上述内管位于本体内且与本体同轴线设置,上述连接管与内管内部相联通,还包括底漆层、阻燃层和抗静电填料,上述底漆层将内管包覆,上述抗静电填料位于连接管内,上述阻燃层位于底漆层外侧。内管有两个作用:其一、用于增加底漆层强度;其二、内管上的连接管用于对抗静电填料进行定位。可以看出,本管道在内管作用下有效的提高了其强度和稳定性,同时,位于连接管处的抗静电填料有能有效增加整个管道的抗静电性能。底漆层采用的是橡胶醇酸底漆。阻燃层采用的是聚四氟乙烯材料。在上述的抗静电阻燃的废气排污管道中,所述连接管包括位于内管外侧的外连接管和位于内管内侧的内连接管,上述内连接管与外连接管相通。这样的结构能使内管距离本体内侧一定距离,保证底漆层稳定的将内管包覆。在上述的抗静电阻燃的废气排污管道中,所述内连接管与内管为一体式结构。在上述的抗静电阻燃的废气排污管道中,所述外连接管与内管为一体式结构。在上述的抗静电阻燃的废气排污管道中,所述抗静电填料为阴离子抗静电剂。在上述的抗静电阻 ...
【技术保护点】
一种抗静电阻燃的废气排污管道,包括呈管状的本体,其特征在于,还包括一呈管状的内管,所述内管上具有若干与其垂直设置的连接管,上述内管位于本体内且与本体同轴线设置,上述连接管与内管内部相联通,还包括底漆层、阻燃层和抗静电填料,上述底漆层将内管包覆,上述抗静电填料位于连接管内,上述阻燃层位于底漆层外侧。
【技术特征摘要】
1.一种抗静电阻燃的废气排污管道,包括呈管状的本体,其特征在于,还包括一呈管状的内管,所述内管上具有若干与其垂直设置的连接管,上述内管位于本体内且与本体同轴线设置,上述连接管与内管内部相联通,还包括底漆层、阻燃层和抗静电填料,上述底漆层将内管包覆,上述抗静电填料位于连接管内,上述阻燃层位于底漆层外侧。2.根据权利要求1所述的抗静电阻燃的废气排污管道,其特征在于,所述连接管包括位于内管外侧的外连接管和位于内管内侧的内连接管,上述内连接管与外连接管相通。3.根据权利要求2所述的抗静电阻燃的废气排污管道,其特征在于,所述内连接管与内管为一体式结构。4.根据权利要求2所述的抗静电阻燃的废气排污管道,其特征在于,所述外连接管与内管为一体式结构。5.根据权利要求2...
【专利技术属性】
技术研发人员:蔡聪正,
申请(专利权)人:嘉善天和半导体制程排气工业有限公司,
类型:新型
国别省市:浙江,33
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