一种颗粒防水膜电子枪蒸镀的方法技术

本发明专利技术公开了一种颗粒防水膜电子枪蒸镀的方法，所述具体蒸镀方法如下：（a）准备防水膜坩埚和电子枪，将防水膜颗粒放入防水膜坩埚的凹槽内，用电子枪镀膜，（b）调整膜系中电子枪参数，将能量大小调整，制作多个防水膜，（c）观察对比制作成的各个防水膜，进行摩擦实验对比，直至找到一组专用于镀制防水膜的镀膜参数，（d）将电子枪蒸发镀膜制备的防水膜与阻蒸镀膜制备的防水膜性能进行对比。本发明专利技术可以减少设备改造方面的支出，可以通过修改内部参数即可达到镀制防水膜的效果，可以节约添加阻蒸系统所需要的成本，使用电子枪蒸发方式制备可以省去保养阻蒸系统所需要的时间。

A method of evaporation of particle waterproof membrane by electron gun

The invention discloses a method for evaporation plating of a particle waterproof membrane electron gun. The specific steam plating method is as follows: (a) preparing a waterproof membrane crucible and an electronic gun, placing the waterproof membrane particles in the groove of the waterproof membrane crucible, using an electronic gun to film and adjusting the parameters of the electron gun in the film system, adjusting the energy size and making multiple waterproofing. The membrane, (c) observed and contrasted all the waterproof membranes made, and compared the friction experiments until a group of coating parameters used for the coating were found. (d) the waterproof film prepared by the evaporation coating of the electronic gun was compared with the waterproof film prepared by the steamed coating. The invention can reduce the cost of the equipment modification, and can achieve the effect of the plating waterproof film by modifying the internal parameters. It can save the cost needed to add the steaming system, and the preparation of the evaporation mode by the electronic gun can save the time needed for the maintenance and steaming system.

【技术实现步骤摘要】
一种颗粒防水膜电子枪蒸镀的方法
本专利技术涉及防水膜加工领域，特别涉及一种颗粒防水膜电子枪蒸镀的方法。
技术介绍
一般在镀制AF时，是采用电阻蒸发的方式。将颗粒防水膜放置于钼舟或其他类型的阻蒸坩埚上，通过通入电流，使得阻蒸坩埚加热放置于其中的颗粒防水膜，达到使AS药液蒸发的效果。常用的钼舟镀制防水膜时，是将钼舟两端与电极连接，将防水膜颗粒放置于中间后通入直流电源来使钼舟加热防水膜；一般镀AS前需要镀一层SIO2（防水膜需与SIO2结合以增加附着力），而光学镀膜中通常采用的蒸发方式是电子枪蒸发，故在镀制光学薄膜后如需加镀一层AS需要额外加入一套阻蒸装置。由于防水膜材料为一种有机材料，其在真空环境中不稳定，故在镀膜过程中无法准确计算防水膜具体厚度，从而导致钼舟的蒸发能量不稳定，另外阻蒸坩埚是一种消耗品，在使用一段时间后，其电极连接处会发黑，且由于在镀制防水膜前还需要镀制一层SIO2，故，钼舟上会有膜层积累，时间久后就会影响防水膜的蒸镀效果。因此，专利技术一种颗粒防水膜电子枪蒸镀的方法来解决上述问题很有必要。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种颗粒防水膜电子枪蒸镀的方法，以解决上述背景本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种颗粒防水膜电子枪蒸镀的方法，其特征在于：所述具体蒸镀方法如下：（a）准备防水膜坩埚（1）和电子枪，将防水膜颗粒放入防水膜坩埚（1）的凹槽（2）内，用电子枪镀膜；（b）调整膜系中电子枪参数，将能量大小调整，制作多个防水膜；（c）观察对比制作成的各个防水膜，进行摩擦实验对比，直至找到一组专用于镀制防水膜的镀膜参数；（d）将电子枪蒸发镀膜制备的防水膜与阻蒸镀膜制备的防水膜性能进行对比：分别取电子枪蒸发镀膜制备的防水膜和阻蒸镀膜制备的防水膜各三组，分别对六组防水膜摩擦实验前后数据对比。

【技术特征摘要】
1.一种颗粒防水膜电子枪蒸镀的方法，其特征在于：所述具体蒸镀方法如下：（a）准备防水膜坩埚（1）和电子枪，将防水膜颗粒放入防水膜坩埚（1）的凹槽（2）内，用电子枪镀膜；（b）调整膜系中电子枪参数，将能量大小调整，制作多个防水膜；（c）观察对比制作成的各个防水膜，进行摩擦实验对比，直至找到一组专用于镀制防水膜的镀膜参数；（d）将电子枪蒸发镀膜制备的防水膜与阻蒸镀膜制备的防水膜性能进行对比：分别取电子枪蒸发镀膜制备的防水膜和阻蒸镀膜制...

【专利技术属性】
技术研发人员：王家林，郑伟，任凯平，
申请(专利权)人：江西水晶光电有限公司，
类型：发明
国别省市：江西,36