【技术实现步骤摘要】
电容器装置及其制造方法本申请是申请日为2015年6月25日、申请号为201510357899.7的专利技术专利申请“电容器装置及其制造方法”的分案申请。
本公开涉及一种电子组件,更具体地讲,涉及一种薄膜式电容器元件及其制造方法。
技术介绍
通常,使用陶瓷材料的电子组件(例如,电容器元件、电感元件、压电元件、变阻器、热敏电阻等)包括:主体,由陶瓷材料形成;内部电极,形成在主体中;外部端子,安装在陶瓷主体的表面上,以连接到内部电极。在这些电子组件中,电容器元件具有这样的结构:具有正(+)极的内部电极和具有负(-)极的内部电极被设置为彼此相对,同时具有正(+)极的内部电极与具有负(-)极的内部电极之间具有至少一个介电层,内部电极的端部暴露于主体的外部,以连接到外部端子。电容器元件被广泛地用作移动通信装置(例如,计算机、PDA、蜂窝电话等)的组件。随着电子产品最近实现高性能,需要电容器元件小型化并具有大容量。为此,提出了一种通过使用半导体的薄膜工艺来沉积介电层和内部电极的制造方法。这里,在沉积用于形成内部电极的金属材料之后,通过光刻工艺和蚀刻工艺执行图案化工艺。在这种情况 ...
【技术保护点】
一种电容器装置,包括:主体部,包括第一过孔、第二过孔以及层压在主体部中的多个介电层;多个第一内部电极层,设置在所述多个介电层上并通过第二过孔彼此连接;多个第二内部电极层,设置在所述多个介电层上并通过第一过孔彼此连接,其中,第一过孔的一个端部和第二过孔的一个端部在层压方向上位于同一层中,第一过孔的另一个端部和第二过孔的另一个端部在所述层压方向上位于同一层中。
【技术特征摘要】
2014.06.25 KR 10-2014-00783671.一种电容器装置,包括:主体部,包括第一过孔、第二过孔以及层压在主体部中的多个介电层;多个第一内部电极层,设置在所述多个介电层上并通过第二过孔彼此连接;多个第二内部电极层,设置在所述多个介电层上并通过第一过孔彼此连接,其中,第一过孔的一个端部和第二过孔的一个端部在层压方向上位于同一层中,第一过孔的另一个端部和第二过孔的另一个端部在所述层压方向上位于同一层中。2.根据权利要求1所述的电容器装置,其中,第一过孔和第二过孔贯穿主体部。3.根据权利要求1所述的电容器装置,其中,第一内部电极层包括第一绝缘区域,第二内部电极层包括第二绝缘区域。4.根据权利要求3所述的电容器装置,其中,第一绝缘区域为第一槽,第二绝缘区域为第二槽。5.根据权利要求3所述的电容器装置,其中,第一过孔形成在第一绝缘区域中并且贯穿所述多个第二内部电极层和所述多个介电层,第二过孔形成在第二绝缘区域中并且贯穿所述多个第一内部电极层和所述多个介电层。6.根据权利要求3所述的电容器装置,其中,第一绝缘区域和第二绝缘区域被设置为彼此不重叠。7.根据权利要求3所述的电容器装置,其中,第一绝缘区域设置在所述多个第一内部电极层的边缘上。8.根据权利要求3所述的电容器装置,其中,第二绝缘区域设置在所述多个第二内部电极层的边缘上。9.根据权利要求3所述的电容器装置,其中,第一绝缘区域和第二绝缘区域被设置为彼此相对。10.根据权利要求9所述的电容器装置,其中,第一绝缘区域和第二绝缘区域沿水平方向或沿竖直方向彼此对称。11.根据权利要求9所述的电容器装置,其中,第一绝缘区域和第二绝缘区域沿对角线方向彼此对称。12.根据权利要求3所述的电容器装置,其中,第一绝缘区域和第二绝缘区域形成为具有四边形形状、三角形形状和圆形形状中的至少一种。13.根据权利要求3所述的电容器装置,其中,第一绝缘区域的面积具有在第一绝缘区域的面积比第一过孔的水平截面面积大的范围内的最小值,第二绝缘...
【专利技术属性】
技术研发人员:林钟凤,李海峻,金斗永,金昶勋,
申请(专利权)人:三星电机株式会社,
类型:发明
国别省市:韩国,KR
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