一种拉晶平肩检测装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种拉晶平肩检测装置，包括：定位板及测量尺，定位板包括：板体、通孔和卡口；板体为矩形且竖直布置；通孔设置在板体上，通孔中心位置距离板体长度方向的底边边缘的距离为E；卡口设于通孔中心位置的上方，卡口在板体长边方向上距离通孔中心的距离为F；测量尺一端适配连接卡口。本实用新型专利技术提供的一种拉晶平肩检测装置用在拉晶平肩检测过程中，减小了测量误差，缩短了放肩时长，降低了原料损耗，提高了拉晶体的生产效率。

【技术实现步骤摘要】
一种拉晶平肩检测装置
本技术涉及拉晶
，更具体的说是涉及一种拉晶平肩检测装置。
技术介绍
单晶硅属于立方晶系，金刚石结构，是一种性能优良的半导体材料，广泛应用于红外光谱频率光学元件、红外及r射线探测器、集成电路、太阳能电池等。在拉晶工艺过程中，放肩工序至关重要，放肩温度严重影响了拉晶的成品率，然而现有技术在拉晶平肩检测过程中，一般靠人眼观察判断，误差大，检测不可靠，并且会造成拉晶过程放肩时间长，用料多，严重影响了拉晶的生产效率。因此，如何提供一种能够精确测量拉晶平肩的检测装置是本领域技术人员亟需解决的问题。
技术实现思路
有鉴于此，本技术提供了一种拉晶平肩检测装置，减小了测量误差，缩短了放肩时长，降低了原料损耗，提高了拉晶的生产效率。为了实现上述目的，本技术采用如下技术方案：一种拉晶平肩检测装置，包括：定位板及测量尺，定位板包括：板体、通孔和卡口；板体为矩形且竖直布置；通孔设置在板体上，通孔中心位置距离板体长度方向的底边边缘的距离为E；卡口设于通孔中心位置的上方，卡口在板体长边方向上距离通孔中心的距离为F；测量尺一端适配连接卡口。优选地，定位板为四氟板或金属板。优选地，测量尺采用钢材或塑料制成，测量尺上设置有刻度线，最小刻度精确至0.01mm。优选地，测量尺为直尺或伸缩尺。优选地，测量尺与板体垂直布置，其上端面靠近卡口的位置设置第一水平仪，第一水平仪为气泡水平仪。优选地，定位板顶端安装有第二水平仪。优选地，卡口与测量尺可拆卸连接或固定连接。优选地，定位板的长L宽W高H为399×149×9-401×161×11，单位为毫米。优选地，通孔直径为50±0.5mm。优选地，板体底边距离通孔中心距离E为80±0.5mm；通孔中心距离卡口距离F为125±1mm。经由上述的技术方案可知，与现有技术相比，本技术公开提供了一种拉晶平肩检测装置，通过竖直设置的定位板与水平布置的测量尺的配合，能够准确的测量出拉晶过程中的拉晶体的平肩长度，减小了测量误差，降低了原料的损耗，缩短了放肩时长，进而提高了拉晶的生产效率。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据提供的附图获得其他的附图。图1附图为本技术提供的一种拉晶平肩测量工具整体的结构示意图；图2附图为本技术提供的一种拉晶平肩测量工具定位板的结构示意图。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。本技术实施例公开了一种拉晶平肩检测装置，减小了测量误差，缩短了放肩时长，降低了原料损耗，提高了拉晶的生产效率。本技术提供的一种拉晶平肩检测装置，参见附图1和2，包括：定位板1及测量尺2，定位板1包括：板体11、通孔12和卡口13；板体11为矩形且竖直布置；通孔12设置在板体11上，通孔12中心位置距离板体11长度方向的底边111边缘的距离为E；卡口13设于通孔12中心位置的上方，卡口13在板体11长边方向上距离通孔12中心的距离为F；测量尺2一端适配连接卡口13。本技术公开提供了一种拉晶平肩检测装置，通过定位板1与测量尺2的配合，能够准确的测量出拉晶的平肩长度，减小了测量误差，降低了原料的损耗，缩短了放肩时长，进而提高了拉晶的生产效率。其中，底边111为板体11第一短边；上部112为板体11底边以上的平面。有利的，定位板1为四氟板或金属板；其中，四氟板可以采用模压板或车削板，模压板由聚四氟乙烯树脂在常温下用模压法成型，再经烧结、冷却制成；车削板由聚四氟乙烯树脂经压坯、烧结、旋切而成；金属板可以采用铝合金板或不锈钢板。更有利的通孔12边沿圆周方向上设置1.5-3mmX30-45°倒角，便于进入拉晶平肩位置测量。有利的，测量尺2采用钢材或塑料制成，测量尺2上设置有刻度线，最小刻度精确至0.01mm；刻度尺精度的设置便于精确测量拉晶平肩的长度精度，有利于拉晶的生产。更有利的，测量尺2为直尺或伸缩尺；其中，伸缩尺是指能够收缩进入卡口，方便检测工具的放置及携带，并能够减少占用空间。根据本技术提供的一种拉晶平肩检测装置，测量尺2顶部靠近卡口13位置上设置第一水平仪，第一水平仪为气泡水平仪，其测量精度为0.01mm/m，测量平面度偏差<0.03-0.05，保证测量尺2处于水平位置，进一步保证了测量平肩的准确性。有利的，定位板1顶面嵌有第二水平仪3；第二水平仪3采用塑料材质，其测量精度为0.01mm/m，测量平面度偏差<0.03-0.05，保证定位板1处于垂直位置，为精确测量测量平肩尺寸进一步起到了保证作用。本技术提供的一种拉晶平肩检测装置，卡口13与测量尺2可拆卸连接或固定连接；其中，测量尺2靠近卡口13的一端为刻度0端，这一端卡接于卡口13上，或直接固定或焊接在卡口13上，保证测量尺2与定位板1的固定，为测量拉晶平肩的检测提供前提保障。有利的，参见附图1和2，定位板1的长L宽W高H为399×149×9-401×161×11，单位为毫米；其中，定位板1的长L为定位板最长边的长度，宽W为定位板1短边的长度，高H为定位板1的厚度。9、根据权利要求1-6任一项的一种拉晶平肩检测装置，其特征在于，通孔12直径为50±0.5mm；适合现在主要生产的单晶的规格，但是定位板1的主体尺寸及通孔12的直径尺寸可以根据不同的产品规格调整适合的尺寸范围。更有利的，板体11底边距离通孔12中心距离E为80±0.5mm；通孔12中心距离卡口13距离F为125±1mm；其中，通孔12距离板体11两侧长边距离均为75±2mm附图2中L的边，使板体11定位后，与拉晶的平肩处于同一水平面上，对于平肩的检测更精确。本技术提供的一种拉晶检测工具，定位板1的长宽高尺寸，通孔12直径尺寸及通孔12位于定位板1的位置尺寸根据不同规格的拉晶体尺寸可调节。本技术上述一种拉晶检测装置可以通过以下方法测量，具体包括如下步骤：S1：将拉晶体处于水平清洁位置；S2：将检测工具通孔套接与拉晶体的晶尖部位；S3：调平：定位板上的水平仪和测量尺上水平仪均处于水平状态；S4：测量拉晶平肩长度尺寸；S5：记录数据；S6：重复测量拉晶平肩长度尺寸；S7：记录数据取平均值。以上操作可以两个人一同完成。综上所述，本技术提供的一种拉晶平肩检测装置，提高了平肩的检测的准确度，在拉晶生产过程中，减小了测量误差，降低了原料损耗，拉晶用时短，进而提高了拉晶的生产效率。本说明书中各个实施例采用递进的方式描述，每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处，各个实施例之间相同相似部分互相参见即可。对于实施例公开的装置而言，由于其与实施例公开的方法相对应，所以描述的比较简单，相关之处参见方法部分说明即可。对所公开的实施例的上述说明，使本领域专本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种拉晶平肩检测装置，其特征在于，包括：定位板(1)及测量尺(2)，所述定位板(1)包括：板体(11)、通孔(12)和卡口(13)；所述板体(11)为矩形且竖直布置；所述通孔(12)设置在所述板体(11)上，所述通孔(12)中心位置距离所述板体(11)长度方向的底边(111)边缘的距离为E；所述卡口(13)设于所述通孔(12)中心位置的上方，所述卡口(13)在所述板体(11)长边方向上距离所述通孔(12)中心的距离为F；所述测量尺(2)一端适配连接所述卡口(13)。

【技术特征摘要】
1.一种拉晶平肩检测装置，其特征在于，包括：定位板(1)及测量尺(2)，所述定位板(1)包括：板体(11)、通孔(12)和卡口(13)；所述板体(11)为矩形且竖直布置；所述通孔(12)设置在所述板体(11)上，所述通孔(12)中心位置距离所述板体(11)长度方向的底边(111)边缘的距离为E；所述卡口(13)设于所述通孔(12)中心位置的上方，所述卡口(13)在所述板体(11)长边方向上距离所述通孔(12)中心的距离为F；所述测量尺(2)一端适配连接所述卡口(13)。2.根据权利要求1所述的一种拉晶平肩检测装置，其特征在于，所述定位板(1)为四氟板或金属板。3.根据权利要求1所述的一种拉晶平肩检测装置，其特征在于，所述测量尺(2)采用钢材或塑料制成，所述测量尺(2)上设置有刻度线，最小刻度精确至0.01mm。4.根据权利要求3所述的一种拉晶平肩检测装置，其特征在于，所述测量尺(2)为直尺或伸缩尺。5.根据权利要求4所述的一...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴涛，杨建勇，李春辉，李松安，王玉龙，
申请(专利权)人：宁晋晶兴电子材料有限公司，
类型：新型
国别省市：河北,13