基板处理系统、基板处理装置的文件管理方法及程序制造方法及图纸

一种至少包含处理基板的基板处理装置以及管理所述基板处理装置的管理装置的结构，基板处理装置当受理了确定成为基准的基板处理装置的装置确定信息以及指定规定的装置文件的文件信息的输入时，向管理装置发送请求电文，该请求电文包含第一识别符、表示成为基准的基板处理装置的第一装置信息以及与规定的装置文件关联的第一数据信息；管理装置将请求电文传送至成为基准的基板处理装置，成为基准的基板处理装置处理接收到的请求电文，向管理装置发送响应电文，该响应电文包含第二识别符和响应第一数据信息的第二数据信息；管理装置将响应电文传送至基板处理装置；基板处理装置处理响应电文，取得并保存第二数据信息。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】基板处理系统、基板处理装置的文件管理方法及程序
本专利技术涉及具有与用于处理基板的基板处理装置及该基板处理装置连接的管理装置的基板处理系统、基板处理装置的文件管理方法及程序。
技术介绍
用于处理基板的基板处理装置通常保持有包括定义了处理条件及处理步骤的工艺配方文件的各种装置文件。另外，管理装置(以下，也称为管理系统)一直以一对多的方式与多个基板处理装置连接，并能够处理基板处理装置的信息和装置文件。通常，半导体装置制造商(设备制造商)的用户(以下，简称为用户)运用该管理系统来管理工艺配方文件(以下，也称为生产配方)等的装置文件。另一方面，半导体制造装置制造商的工程师(以下，也称为维护员)曾使用USB(UniversalSerialBus：通用串行总线)存储器等外部记录介质来实施装置文件的管理(例如，向其他装置复制装置文件)，但是，最近不仅限制在半导体工厂内使用外部记录介质，而且为了提高工作效率，维护员也利用管理系统来管理装置文件。如此，在半导体制造领域中，运用管理装置(以下，也称为管理系统)来谋求工作效率的提高。例如，在专利文献1中公开有一种汇总比较多个装置的文件来修正差异的技术。另外，在专利文献2中公开了如下的技术：预先创建根据用途的文件组(将多个文件归纳而成的文件)，并汇总比较多个基板处理装置的文件组。然而，在多个用户或维护员使用一台管理系统的情况下，大多数情况下用户优先，在这种情况下，也会产生维护员无法使用管理系统而导致工作效率变差这样的问题。现有技术文献专利文献专利文献1:WO2014-189045号公报专利文献2:日本特开2014-039013号公报
技术实现思路
本专利技术的目的在于，提供一种能够进行基板处理装置间的装置文件的管理的结构。根据本专利技术的一实施方式，提供一种至少包含多个基板处理装置和用于管理所述基板处理装置的管理装置的结构，所述基板处理装置若受理了确定成为基准的基板处理装置的信息和指定规定的装置文件的文件信息，则向所述管理装置发送请求数据，所述请求数据包含表示成为所述基准的基板处理装置的第一装置信息以及与所述规定的装置文件关联的第一数据信息；所述管理装置将接收到的所述请求数据发送至成为所述基准的基板处理装置；成为所述基准的基板处理装置以接收到的所述请求数据为基础，创建包含响应所述第一数据信息的第二数据信息在内的响应数据，将该创建的响应数据发送至所述管理装置；所述管理装置将接收到的所述响应数据发送至所述基板处理装置，所述基板处理装置从所述响应数据中取得所述第二数据信息。专利技术效果根据本专利技术的结构，能够进行基板处理装置之间的装置文件的管理。附图说明图1是本专利技术的实施方式中优选使用的具有管理装置的基板处理系统的概略结构图。图2是本专利技术的实施方式中优选使用的基板处理装置及管理装置的结构框图。图3是本专利技术的实施方式中优选使用的基板处理装置的立体透视图。图4是本专利技术的实施方式中优选使用的基板处理装置的侧面透视图。图5是本专利技术的实施方式中优选使用的基板处理装置所具有的处理炉的纵向剖视图。图6是本专利技术的实施方式中优选使用的基板处理装置间经由管理装置进行通信所使用的电文的图示例。图7是本专利技术的实施方式中优选使用的管理装置所具有的电文管理表的图示例。图8是本专利技术的实施方式中优选使用的基板处理装置间的通信所使用的处理时序的图示例。图9是本专利技术的实施方式中优选使用的基板处理装置的操作画面的图示例。图10是本专利技术的实施方式中优选使用的管理装置与基板处理装置之间的通信所使用的电文的图示例。图11是本专利技术的实施方式中优选使用的管理装置与基板处理装置之间的数据处理的顺序的图示例。图12是本专利技术的实施方式中优选使用的管理装置与基板处理装置之间的通信所使用的电文的图示例。图13是本专利技术的实施方式中优选使用的管理装置与基板处理装置之间的数据处理的时序的图示例。图14是本专利技术的比较例中使用的管理装置与基板处理装置之间的数据处理的时序的图示例。图15是本专利技术的另一实施方式中优选使用的基板处理装置间的通信所使用的电文的图示例。具体实施方式(1)基板处理系统的结构首先，针对本专利技术的一实施方式的基板处理系统的结构，使用图1进行说明。如图1所示，本实施方式的基板处理系统具有至少一台基板处理装置100以及以可进行数据交换的方式与基板处理装置100连接的管理装置500。基板处理装置100与管理装置500之间通过例如局域网(LAN：LocalAreaNetwork)或广域网(WAN：WideAreaNetwork)等网络400连接。(2)基板处理装置的结构接下来，针对本实施方式的基板处理装置100的结构，主要参照图3和图4进行说明。此外，本实施方式的基板处理装置100被构成为例如对晶片等基板进行氧化、扩散处理、成膜处理等的纵型的装置。如图3和图4所示，本实施方式的基板处理装置100具有被构成为耐压容器的壳体111。在壳体111的正面壁111a的正面前方，以能够进行维护的方式设置有作为开口部的正面维护口103。在正面维护口103上设有用于开闭正面维护口103的正面维护门104。为了将作为由硅(Si)等构成的基板的晶片200向壳体111内外搬运，使用盒110作为用于收纳多个晶片200的晶片载体(基板收容器)。在壳体111的正面壁111a以连通壳体111内外的方式开设有盒搬入搬出口(基板收容器搬入搬出口)112。盒搬入搬出口112由前挡板(基板收容器搬入搬出口开闭机构)113开闭。在盒搬入搬出口112的正面下方侧设置有装载端口(基板收容器交接台)114。盒110构成为，通过工序内搬运装置搬运，被载置于装载端口114上并进行对准。在壳体111内的装载端口114的附近设置有盒搬运装置(基板收容器搬运装置)118。在壳体111内的比盒搬运装置118更深处，在壳体111内的前后方向上的大致中央部的上方设置有旋转式盒架(基板收容器载置架)105。盒搬运装置118由能够在保持盒110的状态下升降的盒升降机(基板收容器升降机构)118a和作为搬运机构的盒搬运机构(基板收容器搬运机构)118b构成。盒搬运装置118通过盒升降机118a和盒搬运机构118b的连续动作，在装载端口114、旋转式盒架105和盒开启器121之间相互搬运盒110。在旋转式盒架105上保管着多个盒110。旋转式盒架105具有垂直立设且在水平面内间歇旋转的支柱116和被支柱116在上中下层的各位置呈放射状地支承的多张架板(基板收容器载置台)117。多张架板117构成为以各自载置多个盒110的状态来保持盒110。在壳体111内的下部，在壳体111内的从前后方向上的大致中央部到后端的整个范围内设有副壳体119。在副壳体119的正面壁119a上，以在垂直方向上呈上下两层排列的方式设有用于将晶片200向副壳体119内外搬运的一对晶片搬入搬出口(基板搬入搬出口)120。在上下层的晶片搬入搬出口120各自设置有盒开启器(基板收容器盖体开闭机构)121。各盒开启器121具有用于载置盒110的一对载置台122和用于装卸盒110的盖(盖体)的盖装卸机构(盖体装卸机构)123。盒开启器121通过用盖装卸机构123对在载置台122上载置的盒110的盖进行装卸，来开闭盒110的晶片出入口。在副壳体119内构成有本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基板处理系统，所述基板处理系统至少包含多个基板处理装置和管理所述基板处理装置的管理装置，所述基板处理系统的特征在于，所述基板处理装置若受理了确定成为基准的基板处理装置的信息和指定规定的装置文件的文件信息，则向所述管理装置发送请求数据，所述请求数据包含表示成为所述基准的基板处理装置的第一装置信息以及与所述规定的装置文件关联的第一数据信息，所述管理装置将接收到的所述请求数据发送至成为所述基准的基板处理装置，成为所述基准的基板处理装置以接收到的所述请求数据为基础，创建包含响应所述第一数据信息的第二数据信息的响应数据，将该创建的响应数据发送至所述管理装置，所述管理装置将接收到的所述响应数据发送至所述基板处理装置，所述基板处理装置从所述响应数据中取得所述第二数据信息。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种基板处理系统，所述基板处理系统至少包含多个基板处理装置和管理所述基板处理装置的管理装置，所述基板处理系统的特征在于，所述基板处理装置若受理了确定成为基准的基板处理装置的信息和指定规定的装置文件的文件信息，则向所述管理装置发送请求数据，所述请求数据包含表示成为所述基准的基板处理装置的第一装置信息以及与所述规定的装置文件关联的第一数据信息，所述管理装置将接收到的所述请求数据发送至成为所述基准的基板处理装置，成为所述基准的基板处理装置以接收到的所述请求数据为基础，创建包含响应所述第一数据信息的第二数据信息的响应数据，将该创建的响应数据发送至所述管理装置，所述管理装置将接收到的所述响应数据发送至所述基板处理装置，所述基板处理装置从所述响应数据中取得所述第二数据信息。2.如权利要求1所述的基板处理系统，其特征在于，所述管理装置还具有装置对应列表，所述装置对应列表具有预先登记的基板处理装置的固有信息，所述基板处理装置向所述管理装置发送请求所述装置对应列表的数据，所述管理装置将所述装置对应列表作为响应所述基板处理装置的数据而发送至所述基板处理装置。3.如权利要求1所述的基板处理系统，其特征在于，所述管理装置还具有：具有预先登记的基板处理装置的固有信息的装置对应列表；和作为项目而分别包括项目编号、所述第一装置信息、表示所述基板处理装置的第二装置信息以及识别符的电文管理表；所述管理装置处理从所述基板处理装置接收到的所述请求数据，与所述装置对应列表对照来推断出所述第二装置信息，并将所述第二装置信息登记于所述电文管理表。4.如权利要求1所述的基板处理系统，其特征在于，所述管理装置构成为，当从所述基板处理装置接收到所述请求数据时，处理所述第一装置信息，不处理所述第一数据信息。5.如权利要求3所述的基板处理系统，其特征在于，所述管理装置构成为，基于所述第一装置信息，将从所述基板处理装置接收到的所述请求数据转发至成为所述基准的基板处理装置。6.如权利要求3所述的基板处理系统，其特征在于，所述管理装置处理从成为所述基准的基板处理装置接收到的响应数据，与所述电文管理表对照，将所述响应数据转发至所述基板处理装置，并且删除所述电文管理表的信息。7.如权利要求1所述的基板处理系统，其特征在于，与所述管理装置连接的所述基板处理装置具有...

【专利技术属性】
技术研发人员：山本一良，上田修，浅井一秀，
申请(专利权)人：株式会社日立国际电气，
类型：发明
国别省市：日本,JP